一种单晶生产炉制造技术

本发明专利技术公开了一种单晶生产炉，所属单晶生产设备领域，提供一种快速生产单晶体的一炉多棒式的单晶生产炉。炉体内设置石墨坩埚，石墨坩埚内部设置石英坩埚，石墨坩埚外部设置加热装置，炉体底部设置移动导轨，石墨坩埚设置在所述的移动导轨上，所述炉体侧壁设置有炉门，所述的移动导轨通向所述的炉门；石英坩埚上部设置有隔离装置，隔离装置由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体，圆柱状隔离体上下相通，圆柱状隔离体呈蜂窝状圆形排列，炉体顶部设置有送气管，炉体内部的送气管末端连接有圆形喷头，炉体底部设置有排气管，排气管上连接有开关阀。其主要用途是快速生产单晶硅材料。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶生产炉
本专利技术属于单晶生产设备领域，特别涉及一种单晶生产炉。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。专利号为CN106149047A的单晶炉包括炉体，炉体内部设有石墨坩埚，石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有侧部加热器，还包括氩气管，氩气管上设置有流量控制阀。通过在氩气管上设置有流量控制阀，可以随着单晶硅拉制的不断进行，在保证晶棒不被氧化的前提下，通过调节流量控制阀，逐渐减小氩气的供应量，从而节约氩气，同时，氩气的供应量减小还避免了氩气进入单晶炉后再从抽气孔中排除的过程中带走大量的热量，实现节能减排，在石墨坩埚的底部设置有底部加热器，是为了加速多晶硅原料的融化，缩短原料的融化时间，可以大大提高生产效率。但是在生产单晶硅时需要对石英坩埚内整体的多晶硅材料进行反应生产，效率低下，不利于大规模生产。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，根据上述
技术介绍
所描述的技术问题，提供一种快速生产单晶体的一炉多棒式的单晶生产炉。本专利技术采用的技术方案是，一种单晶生产炉，包括炉体、石墨坩埚、石英坩埚、隔离装置、送气管，所述炉体内设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚内部设置有石英坩埚，所述石墨坩埚与石英坩埚紧密相连，所述石墨坩埚外部设置有加热装置，所述加热装置与所述的石墨坩埚紧密相连，所述加热装置均匀的贴合在所述的石墨坩埚外壁，所述炉体底部设置有移动导轨，所述石墨坩埚设置在所述的移动导轨上，所述炉体侧壁设置有炉门，所述的移动导轨通向所述的炉门；所述石英坩埚上部设置有隔离装置，所述隔离装置的横截面尺寸与所述石英坩埚的横截面尺寸相同，所述隔离装置由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体，所述圆柱状隔离体上下相通，所述圆柱状隔离体呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置的高度高于所述石英坩埚的高度，所述隔离装置的顶部连接有拉升装置，所述拉升装置包括多组固定铁链、电动机，所述电动机连接有转动辊，所述的多组固定铁链一端均匀连接在所述的隔离装置，另一端链接在所属的转动辊上；所述炉体顶部设置有送气管，所述炉体外部的送气管连接有惰性气体生产设备，所述炉体内部的送气管末端连接有圆形喷头，所述炉体底部设置有排气管，所述排气管上连接有开关阀。进一步的，所述石墨坩埚底部设置有支架，所述支架上设置有移动滚轮，所述移动滚轮设置在所述移动导轨内，所述移动滚轮连接有电机，所述电机可带动移动滚轮进行转动在移动导轨上移动。进一步的，所述炉体内壁四周设置有反射层，所述炉体外壁设置有保温层。进一步的，所述炉体底部设置有支座，所述支座与地面连接有地脚固定架。进一步的，所述送气管上设置有流量控制阀、控制开关。本专利技术与现有技术相比，具有以下的有益效果，所述隔离装置的横截面尺寸与所述石英坩埚的横截面尺寸相同，所述隔离装置由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体，所述圆柱状隔离体上下相通，所述圆柱状隔离体呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置的高度高于所述石英坩埚的高度，所述隔离装置由电动机带动进入所述的石英坩埚中，将加热的多晶硅进行分离，分离成彼此分离的小格，每个圆柱状隔离体均可在通入惰性气体的情况下生成独立的单晶棒，可以加速单晶体的生成速度；所述炉体底部设置有移动导轨，所述石墨坩埚设置在所述的移动导轨上，所述炉体侧壁设置有炉门，所述的移动导轨通向所述的炉门，所述的石墨坩埚、石英坩埚通过移动导轨通出，进行填料。综上所述，本专利技术具有快速生产单晶体的优点。附图说明图1是本专利技术一种单晶生产炉的结构剖面示意图；图2是所述移动导轨的结构示意图。图中：01、炉体02、石墨坩埚03、石英坩埚04、隔离装置05、送气管06、加热装置07、移动导轨08、流量控制阀09、炉门10、控制开关11、圆柱状隔离体12、固定铁链13、电动机14、转动辊15、圆形喷头16、排气管17、开关阀18、移动滚轮19、电机20、反射层21、保温层22、地脚固定架。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。结合图1、图2对本专利技术的技术方案进行说明，一种单晶生产炉，包括炉体(01)、石墨坩埚(02)、石英坩埚(03)、隔离装置(04)、送气管(05)，所述炉体(01)内设置有石墨坩埚(02)，所述石墨坩埚(02)内部设置有石英坩埚(03)，所述石墨坩埚(02)与石英坩埚(03)紧密相连，所述石墨坩埚(02)外部设置有加热装置(06)，所述加热装置(06)与所述的石墨坩埚(02)紧密相连，所述加热装置(06)均匀的贴合在所述的石墨坩埚(02)外壁，所述炉体(01)底部设置有移动导轨(07)，所述石墨坩埚(02)设置在所述的移动导轨(07)上，所述炉体(01)侧壁设置有炉门(09)，所述的移动导轨(07)通向所述的炉门(09)；所述石英坩埚(03)上部设置有隔离装置(04)，所述隔离装置(04)的横截面尺寸与所述石英坩埚(03)的横截面尺寸相同，所述隔离装置(04)由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体(11)，所述圆柱状隔离体(11)上下相通，所述圆柱状隔离体(11)呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置(04)的高度高于所述石英坩埚(03)的高度，所述隔离装置(04)的顶部连接有拉升装置，所述拉升装置包括多组固定铁链(12)、电动机(13)，所述电动机(13)连接有转动辊(14)，所述的多组固定铁链(12)一端均匀连接在所述的隔离装置(04)，另一端链接在所属的转动辊(14)上；所述炉体(01)顶部设置有送气管(05)，所述炉体(01)外部的送气管(05)连接有惰性气体生产设备，所述炉体(01)内部的送气管(05)末端连接有圆形喷头(15)，所述炉体(01)底部设置有排气管(16)，所述排气管(16)上连接有开关阀(17)。进一步的，所述石墨坩埚(02)底部设置有支架，所述支架上设置有移动滚轮(18)，所述移动滚轮(18)设置在所述移动导轨(07)内，所述移动滚轮(18)连接有电机(19)，所述电机(19)可带动移动滚轮(18)进行转动在移动导轨(07)上移动。进一步的，所述炉体(01)内壁四周设置有反射层(20)，所述炉体(01)外壁设置有保温层(21)。进一步的，所述炉体(01)底部设置有支座，所述支座与地面连接有地脚固定架(22)。进一步的，所述送气管(05)上设置有流量控制阀(08)、控制开关(10)。结合图1、图2对本专利技术的有益效果进行说明，所述隔离装置(04)的横截面尺寸与所述石英坩埚(03)的横截面尺寸相同，所述隔离装置(04)由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体(11)，所述圆柱状隔离体(11)上下相通，所述圆柱状隔离体(11)呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置(04)的高度高于所述石英坩埚(03)的高度，所述隔离装置(04)由电动机(13)带动进入所述的石英坩埚(03)中，将加热的多晶硅进行分离，分离成彼此分离的小格，每个圆柱状隔离体(11)均可在通入惰性气体的情况下生成独立的单晶棒，可以加速单本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶生产炉，其特征在于：包括炉体(01)、石墨坩埚(02)、石英坩埚(03)、隔离装置(04)、送气管(05)，所述炉体(01)内设置有石墨坩埚(02)，所述石墨坩埚(02)内部设置有石英坩埚(03)，所述石墨坩埚(02)与石英坩埚(03)紧密相连，所述石墨坩埚(02)外部设置有加热装置(06)，所述加热装置(06)与所述的石墨坩埚(02)紧密相连，所述加热装置(06)均匀的贴合在所述的石墨坩埚(02)外壁，所述炉体(01)底部设置有移动导轨(07)，所述石墨坩埚(02)设置在所述的移动导轨(07)上，所述炉体(01)侧壁设置有炉门(09)，所述的移动导轨(07)通向所述的炉门(09)；所述石英坩埚(03)上部设置有隔离装置(04)，所述隔离装置(04)的横截面尺寸与所述石英坩埚(03)的横截面尺寸相同，所述隔离装置(04)由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体(11)，所述圆柱状隔离体(11)上下相通，所述圆柱状隔离体(11)呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置(04)的高度高于所述石英坩埚(03)的高度，所述隔离装置(04)的顶部连接有拉升装置，所述拉升装置包括多组固定铁链(12)、电动机(13)，所述电动机(13)连接有转动辊(14)，所述的多组固定铁链(12)一端均匀连接在所述的隔离装置(04)，另一端链接在所属的转动辊(14)上；所述炉体(01)顶部设置有送气管(05)，所述炉体(01)外部的送气管(05)连接有惰性气体生产设备，所述炉体(01)内部的送气管(05)末端连接有圆形喷头(15)，所述炉体(01)底部设置有排气管(16)，所述排气管(16)上连接有开关阀(17)。...

【技术特征摘要】
1.一种单晶生产炉，其特征在于：包括炉体(01)、石墨坩埚(02)、石英坩埚(03)、隔离装置(04)、送气管(05)，所述炉体(01)内设置有石墨坩埚(02)，所述石墨坩埚(02)内部设置有石英坩埚(03)，所述石墨坩埚(02)与石英坩埚(03)紧密相连，所述石墨坩埚(02)外部设置有加热装置(06)，所述加热装置(06)与所述的石墨坩埚(02)紧密相连，所述加热装置(06)均匀的贴合在所述的石墨坩埚(02)外壁，所述炉体(01)底部设置有移动导轨(07)，所述石墨坩埚(02)设置在所述的移动导轨(07)上，所述炉体(01)侧壁设置有炉门(09)，所述的移动导轨(07)通向所述的炉门(09)；所述石英坩埚(03)上部设置有隔离装置(04)，所述隔离装置(04)的横截面尺寸与所述石英坩埚(03)的横截面尺寸相同，所述隔离装置(04)由隔板分割成均匀排列的小的圆柱状隔离体(11)，所述圆柱状隔离体(11)上下相通，所述圆柱状隔离体(11)呈蜂窝状圆形排列，所述隔离装置(04)的高度高于所述石英坩埚(03)的高度，所述隔离装置(04)的顶部连接有拉升装置，所述拉升装置包括多组固定铁链(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘大元，唐珊珊，刘坤，张鹏飞，张健，
申请(专利权)人：山东大海新能源发展有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37