下载一种单晶生产炉的技术资料

文档序号:18282346

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本发明公开了一种单晶生产炉,所属单晶生产设备领域,提供一种快速生产单晶体的一炉多棒式的单晶生产炉。炉体内设置石墨坩埚,石墨坩埚内部设置石英坩埚,石墨坩埚外部设置加热装置,炉体底部设置移动导轨,石墨坩埚设置在所述的移动导轨上,所述炉体侧壁设置...
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