COA型阵列基板制造技术

本发明专利技术提供一种COA型阵列基板，通过将色阻单元的外边缘的全部或者一部分设于所述第一金属层和/或第二金属层上，一方面能够利用第一金属层和/或第二金属层起到垫高作用，减小所述COA阵列基板在色阻单元的外边缘位置处的地形段差，从而在对透明导电层进行图案化时，能够降低涂布于色阻单元外边缘位置的光刻胶的厚度，使其易于通过曝光显影去除掉；另外，所述第一金属层与第二金属层均具有反射特性，能够提升曝光效果，使涂布于所述色阻单元外边缘位置的光刻胶被充分曝光，并通过显影去除；本发明专利技术的COA型阵列基板通过以上两方面的效果来消除或者减少位于色阻单元外边缘的金属氧化物残留，避免出现像素电极的电信号无法控制的情况。

COA type array substrate

The present invention provides an COA type array substrate, by which all or part of the outer edge of the color resistance unit is placed on the first metal layer and / or second metal layer, on the one hand, the first metal layer and / or the second metal layer can be used as a cushion to reduce the outer edge position of the COA array substrate at the color resistance unit. The topography is poor so that the thickness of the photoresist coated on the outer edge of the color resistance unit can be reduced when the transparent conductive layer is patterned, so that it can be easily removed by exposure development; in addition, the first metal layer and the second metal layer have reflection characteristics, which can improve the exposure effect, so that the coating is coated. The photoresist on the outer edge of the resistance unit is fully exposed and removed by development; the COA array substrate of the present invention eliminates or reduces metal oxide residues located at the outer edge of the color resistance unit by the effect of the above two aspects, so as to avoid the uncontrollable signal of the pixel electrode.

【技术实现步骤摘要】
COA型阵列基板
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种COA型阵列基板。
技术介绍
液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕和笔记本电脑屏幕等。现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组(Backlightmodule)。传统的液晶面板的结构是由一彩色滤光片基板(ColorFilter)、一薄膜晶体管阵列基板(ThinFilmTransistorArraySubstrate，TFTArraySubstrate)以及一配置于两基板间的液晶层(LiquidCrystalLayer)所构成，其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。COA(ColorFilteronArray)技术是将彩色滤光层制备在阵列基板上的技术，以形成COA型阵列基板。由于COA结构的液晶显示面板不存在彩色滤光片基板与薄膜晶体管阵列基板的对位问题，因此可以降低液晶显示面板制备过程中对盒制程的难度，避免了对盒时的误差，进而提高生产良率，提升面板品质。COA型阵列基板中的图形化电极主要包括第一金属层(M1)、第二金属层(M2)、透明导电层(ITO)，在同层的分离电极图案之间，通常需要保持安全距离以防止出现短接/短路(short)，所述安全距离视尺寸分辨率等而定，一般为5μm左右，然而，即便采取了一定的技术手段，现有的COA型阵列基板中还是会经常发生电极图形化残留的问题(Issue)，这种情况更常见于透明导电层(ITO)中。图1为现有的COA型阵列基板的剖视示意图，图2为现有的COA型阵列基板中的透明导电层与彩色色阻层在水平方向的相对位置关系示意图，图3为现有的COA型阵列基板的俯视示意图；如图1至图3所示，所述COA型阵列基板包括衬底基板100、设于所述衬底基板100上的TFT层200、设于所述TFT层200上的彩色色阻层300、设于所述彩色色阻层300上的透明导电层400；所述透明导电层400包括间隔设置且呈阵列排布的数个像素电极410、位于数个像素电极410的间隔区域500且与所述数个像素电极410不相连的第一遮光公共电极420，所述COA型阵列基板与具有整面公共电极的CF基板对组形成液晶面板后，所述液晶面板显示画面时，所述第一遮光公共电极420上的电位与所述CF基板上的整面公共电极的电位相同，因此位于第一遮光公共电极420的位置的液晶分子两侧的电压为零，该区域的液晶分子不会发生转动，使得该区域一直维持暗态，从而避免像素间隔区域500漏光。所述数个像素电极410之间的间隔区域500包括垂直交叉排列的数条水平间隔区域510与数条竖直间隔区域520，所述第一遮光公共电极420包括垂直交叉排列的数条横向电极4210与数条纵向电极4220，所述数条横向电极4210分别位于数条水平间隔区域510内，所述数条纵向电极4220分别位于数条竖直间隔区域520内；所述彩色色阻层300包括间隔设置的数个色阻单元310，所述数个色阻单元310分别与数个像素电极410上下对应，且所述数个色阻单元310的外边缘分别超出所述数个像素电极410的外边缘，由于色阻单元310的厚度较大，因此所述COA型阵列基板上对应于色阻单元310外边缘的位置容易出现较大的地形段差，因此在所述彩色色阻层300上制作金属氧化物材料的透明导电层400时，光刻胶容易在对应于色阻单元310外边缘的位置沉积形成厚膜，经过曝光显影也无法将其去除(即曝光不完全)，导致光刻胶下方的金属氧化物无法被蚀刻去除，最终在像素电极410的侧边出现金属氧化物残留线600，当所述金属氧化物残留线600连接所述像素电极410与所述第一遮光公共电极420中的横向电极4210时，就会出现像素电极410的电信号无法控制的情况。如图3所示，所述TFT层200包括第一金属层2130，所述第一金属层2130包括沿像素电极410周边设置的框形电极21310，所述框形电极21310设于所述色阻单元310的内侧，即所述色阻单元310的外边缘超出所述框形电极21310的外边缘，如此会提高所述色阻单元310的外边缘的Taper角，使得所述色阻单元310外边缘的金属氧化物残留的情况更加严重，因此有必要采取一种方法以解决该技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种COA型阵列基板，不会出现像素电极的电信号无法控制的情况。为实现上述目的，本专利技术提供一种COA型阵列基板，包括衬底基板、设于所述衬底基板上的TFT层、设于所述TFT层上的彩色色阻层、设于所述彩色色阻层上的透明导电层；所述透明导电层包括间隔设置且呈阵列排布的数个像素电极、位于数个像素电极的间隔区域内且与所述数个像素电极不相连的第一遮光公共电极；所述彩色色阻层包括间隔设置的数个色阻单元，所述数个色阻单元分别与数个像素电极上下对应，且所述数个色阻单元的外边缘分别超出所述数个像素电极的外边缘；所述TFT层包括设于所述衬底基板上的第一金属层、设于所述第一金属层上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的有源层、设于所述有源层上的第二金属层、设于所述第二金属层上的钝化层；所述第一金属层包括栅极、扫描线、第二遮光公共电极，所述第二金属层包括源极、漏极、数据线；所述第二遮光公共电极包括沿像素电极周边设置的框形电极；所述色阻单元的外边缘的全部或者一部分位于所述第一金属层和/或第二金属层上。所述数个像素电极之间的间隔区域包括垂直交叉排列的数条水平间隔区域与数条竖直间隔区域，所述第一遮光公共电极包括垂直交叉排列的数条横向电极与数条纵向电极，所述数条横向电极分别位于数条水平间隔区域内，所述数条纵向电极分别位于数条竖直间隔区域内；所述COA型阵列基板与具有整面公共电极的CF基板对组形成液晶面板后，所述液晶面板显示画面时，所述第一遮光公共电极上的电位与所述CF基板上的整面公共电极的电位相同。所述COA型阵列基板与具有整面公共电极的CF基板对组形成液晶面板后，所述COA型阵列基板中的第一遮光公共电极与所述CF基板上的整面公共电极电性相连。所述扫描线与数据线相互垂直，所述横向电极平行于所述数据线，所述像素电极与色阻单元均为矩形，所述像素电极与色阻单元均具有平行于所述数据线的相对两边以及平行于所述扫描线的相对两边。在平行于扫描线的方向上，所述色阻单元的宽度大于相邻的两条横向电极之间的间隔距离。在平行于扫描线的方向上，所述框形电极的外边缘超出所述色阻单元的外边缘，使得所述色阻单元的外边缘中平行于扫描线的部分位于所述第一金属层上。在平行于扫描线的方向上，所述框形电极还包括突出于所述框形电极的外边缘的数个凸起部，所述凸起部靠近扫描线一侧的外边缘超出所述色阻单元的外边缘，使得所述色阻单元的外边缘中位于所述数个凸起部上方的部分位于所述第一金属层上。在平行于扫描线的方向上，所述色阻单元的外边缘具有凹陷部，所述凹陷部包括底边，所述凹陷部的底边位于所述框形电极上，从而使得所述色阻单元的凹陷部处的外边缘位于所述第一金属层上。所述第二金属层包括在平行于扫描线的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种COA型阵列基板，其特征在于，包括衬底基板(10)、设于所述衬底基板(10)上的TFT层(20)、设于所述TFT层(20)上的彩色色阻层(30)、设于所述彩色色阻层(30)上的透明导电层(40)；所述透明导电层(40)包括间隔设置且呈阵列排布的数个像素电极(41)、位于数个像素电极(41)的间隔区域(50)内且与所述数个像素电极(41)不相连的第一遮光公共电极(42)；所述彩色色阻层(30)包括间隔设置的数个色阻单元(31)，所述数个色阻单元(31)分别与数个像素电极(41)上下对应，且所述数个色阻单元(31)的外边缘分别超出所述数个像素电极(41)的外边缘；所述TFT层(20)包括设于所述衬底基板(10)上的第一金属层(21)、设于所述第一金属层(21)上的栅极绝缘层(22)、设于所述栅极绝缘层(22)上的有源层(23)、设于所述有源层(23)上的第二金属层(24)、设于所述第二金属层(24)上的钝化层(25)；所述第一金属层(21)包括栅极(211)、扫描线(212)、第二遮光公共电极(213)，所述第二金属层(24)包括源极(241)、漏极(242)、数据线(243)；所述第二遮光公共电极(213)包括沿像素电极(41)周边设置的框形电极(2131)；所述色阻单元(31)的外边缘的全部或者一部分位于所述第一金属层(21)和/或第二金属层(24)上。...

【技术特征摘要】
1.一种COA型阵列基板，其特征在于，包括衬底基板(10)、设于所述衬底基板(10)上的TFT层(20)、设于所述TFT层(20)上的彩色色阻层(30)、设于所述彩色色阻层(30)上的透明导电层(40)；所述透明导电层(40)包括间隔设置且呈阵列排布的数个像素电极(41)、位于数个像素电极(41)的间隔区域(50)内且与所述数个像素电极(41)不相连的第一遮光公共电极(42)；所述彩色色阻层(30)包括间隔设置的数个色阻单元(31)，所述数个色阻单元(31)分别与数个像素电极(41)上下对应，且所述数个色阻单元(31)的外边缘分别超出所述数个像素电极(41)的外边缘；所述TFT层(20)包括设于所述衬底基板(10)上的第一金属层(21)、设于所述第一金属层(21)上的栅极绝缘层(22)、设于所述栅极绝缘层(22)上的有源层(23)、设于所述有源层(23)上的第二金属层(24)、设于所述第二金属层(24)上的钝化层(25)；所述第一金属层(21)包括栅极(211)、扫描线(212)、第二遮光公共电极(213)，所述第二金属层(24)包括源极(241)、漏极(242)、数据线(243)；所述第二遮光公共电极(213)包括沿像素电极(41)周边设置的框形电极(2131)；所述色阻单元(31)的外边缘的全部或者一部分位于所述第一金属层(21)和/或第二金属层(24)上。2.如权利要求1所述的COA型阵列基板，其特征在于，所述数个像素电极(41)之间的间隔区域(50)包括垂直交叉排列的数条水平间隔区域(51)与数条竖直间隔区域(52)，所述第一遮光公共电极(42)包括垂直交叉排列的数条横向电极(421)与数条纵向电极(422)，所述数条横向电极(421)分别位于数条水平间隔区域(51)内，所述数条纵向电极(422)分别位于数条竖直间隔区域(52)内；所述COA型阵列基板与具有整面公共电极的CF基板对组形成液晶面板后，所述液晶面板显示画面时，所述第一遮光公共电极(42)上的电位与所述CF基板上的整面公共电极的电位相同。3.如权利要求2所述的COA型阵列基板，其特征在于，所述COA型阵列基板与具有整面公共电极的CF基板对组形成液晶面板后，所述COA型阵列基板中的第一遮光公共电极(42)与所述CF基板上的整面公共电极电性相连。4.如权利要求1所述的COA型阵列基板，其特征在于，所述扫描线(212)与数据线(243)相互垂直，所述横向电极(421)平行于所述数据线(243)，所述像素电极(41)与色阻单元(31)均为矩形，所述像素...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹武，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44