The utility model, which belongs to the technical field of experimental equipment, relates to an anode bonding device, including a heating plate. The lower end of the heating plate is fixed by a bolt to install a heating temperature control system. The heating plate is electrically connected with the heating power supply of the heating plate. The heating temperature control system is electrically connected with the high voltage DC power supply and the high voltage pulse power supply, and the heating plate is respectively used. The upper end of the upper end is equipped with a data acquisition device through the bracket, and the signal output end of the data acquisition device is connected with the display device. The anode bonding device, either high voltage DC bonding or high voltage pulse bonding, can successfully bond the SOI slices with different buried oxide thickness and glass in the atmosphere, and the bonding device test shows that the bonding device does not produce a sound response to the performance of the SOI device; because the bonding device is bonded. The voltage does not change. The high voltage pulse power supply only improves the instantaneous diffusion rate of ions in the SOI depletion layer.
【技术实现步骤摘要】
一种阳极键合装置
本技术属于实验用具
,尤其涉及一种阳极键合装置。
技术介绍
直接提高键合电压能提高静电力,但受到埋氧层击穿电压的限制,静电键合的电压一般不超过1000V。T.R.Anthony认为阳极键合最好的电压方式是直流电压与交流电压同时存在,键合的静电力随交流电压的频率变化。太原理工大学孟教授等认为,高压脉冲电源能有效提高键合质量。实验发现,采用高压直流和高压脉冲的电源装置能有效提高键合效率和成功率,因为耗尽层的压降越大,氧负离子向键合面的迁移速度越快,键合时间越短。在直流电压作用下,氧负离子在键合加压的初始数秒内的迁移速率最快,而后就快速衰减。通过脉冲电压,改变电场及空间电荷区的宽度,电压增大时,由此可得空间电荷区的宽度增大,电场强度增大,氧负离子的迁移速率增大,键合速率增大。综上所述,现有技术存在的问题是:现有技术没有使用高压脉冲电源不断改变耗尽层的宽度,不能不断激励氧负离子向阳极迁移,提高键合速度。
技术实现思路
为解决现有技术存在的问题,本技术提供一种阳极键合装置。本技术为解决公知技术中存在的技术问题所采取的技术方案是:一种阳极键合装置,设置有加热板;所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统;加热板通过导线与加热电源电连接;加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接;加热板的上端通过支架安装有数据采集装置;数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接;所述数据采集装置的信号输入端与加热板通过信号线连接。进一步,所述加热温控系统包括平板式阳极和阴极螺旋式加压装置,平板式阳极通过导线连接有阳极探针电极,阴极螺旋式加压装置通过 ...
【技术保护点】
一种阳极键合装置,其特征在于,所述阳极键合装置设置有加热板;所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统;加热板通过导线与加热电源电连接;加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接;加热板的上端通过支架安装有数据采集装置;数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接;所述数据采集装置的信号输入端与加热板通过信号线连接。
【技术特征摘要】
1.一种阳极键合装置,其特征在于,所述阳极键合装置设置有加热板;所述加热板的下端通过螺栓固定安装有加热温控系统;加热板通过导线与加热电源电连接;加热温控系统通过导线分别与高压直流电源和高压脉冲电源电连接;加热板的上端通过支架安装有数据采集装置;数据采集装置的信号输出端与显示装置相连接;所述数据采集装置的信号...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑志霞,何灏泽,黄赛琴,
申请(专利权)人:莆田学院,
类型:新型
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。