The invention discloses a method of drawing, micro nano scale graphics including: by magnetron sputtering apparatus in nanometer scale on the tip of sputtered noble metal coating layer; the metal film by magnetron sputtering on silicon wafer as substrate, sputtering apparatus, or with graphene as substrate; adsorption of photosensitive molecules on the substrate, and then on the stage; the fixation of the tip, the incident laser adjusting laser, the laser irradiation on the needle tip, the tip of the localized surface plasmons, acting on the photosensitive molecules generated by reaction stage regulation of photosensitive molecular position, shape and reaction to better control of photosensitive molecules forming micro nano scale graphics.
【技术实现步骤摘要】
一种微纳尺度的图形绘制方法
本专利技术涉及微纳加工
,特别是涉及一种微纳尺度的图形绘制方法。
技术介绍
微纳加工指的是加工尺度在微米和纳米级别范围的加工方法。微纳加工技术曾经广泛用于大规模集成电路的加工制作,使得微电子器件及相关技术和产业蓬勃兴起。目前,微纳加工技术已在特种新型器件、电子零件和电子装置、机械零件和装置、表面分析、材料改性等方面发挥日益重要的作用。相关领域中对于微纳加工技术的研究越来越多,要求越来越高,需要不断提高微纳加工可控度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种微纳尺度的图形绘制方法,整个图形绘制过程具有较好的可控性。为实现上述目的,本专利技术提供一种微纳尺度的图形绘制方法,包括:通过磁控溅射仪在纳米尺度的针尖上溅射贵金属包覆层;通过磁控溅射仪在硅片上溅射贵金属薄膜作为基底,或者以单层石墨烯作为基底;在所述基底上吸附光敏分子,然后置于载物台上;固定所述针尖,调节激光器的入射激光,使所述入射激光照射在所述针尖尖端,产生局域表面等离激元;调节所述载物台,使所述基底位于所述针尖前端,使所述光敏分子在所述局域表面等离激元的作用下生成反应物;调节所述载物台,使所述基底上被所述激光照射的位置按照预设图形移动。优选的,所述纳米尺度的针尖为扫描探针显微镜的探针的针尖。优选的,所述贵金属为金、银或铂;通过磁控溅射仪在纳米尺度的针尖上溅射贵金属包覆层包括:在溅射时所述磁控溅射仪的真空计为1.0Pa,流量计为24sccm,溅射电流为0.15mA,溅射时间为100s。优选的,通过磁控溅射仪在硅片上溅射金膜或银膜作为基底包括:溅射时真空计为1.0Pa,流 ...
【技术保护点】
一种微纳尺度的图形绘制方法,其特征在于,包括:通过磁控溅射仪在纳米尺度的针尖上溅射贵金属包覆层;通过磁控溅射仪在硅片上溅射贵金属薄膜作为基底,或者以单层石墨烯作为基底;在所述基底上吸附光敏分子,然后将所述基底置于载物台上;固定所述针尖,调节激光器发射的激光,使所述激光照射在所述针尖尖端,产生局域表面等离激元;调节所述载物台,使所述基底位于所述针尖前端,使所述光敏分子在所述局域表面等离激元的作用下生成反应物;调节所述载物台,使所述基底上被所述激光照射的位置按照预设图形移动。
【技术特征摘要】
1.一种微纳尺度的图形绘制方法,其特征在于,包括:通过磁控溅射仪在纳米尺度的针尖上溅射贵金属包覆层;通过磁控溅射仪在硅片上溅射贵金属薄膜作为基底,或者以单层石墨烯作为基底;在所述基底上吸附光敏分子,然后将所述基底置于载物台上;固定所述针尖,调节激光器发射的激光,使所述激光照射在所述针尖尖端,产生局域表面等离激元;调节所述载物台,使所述基底位于所述针尖前端,使所述光敏分子在所述局域表面等离激元的作用下生成反应物;调节所述载物台,使所述基底上被所述激光照射的位置按照预设图形移动。2.如权利要求1所述的微纳尺度的图形绘制方法,其特征在于,所述纳米尺度的针尖为扫描探针显微镜的探针的针尖,直径为20~50nm。3.如权利要求1所述的微纳尺度的图形绘制方法,其特征在于,所述贵金属为金、银或铂;通过磁控溅射仪在纳米尺度的针尖上溅射贵金属包覆层包括:在溅射时所述磁控溅射仪的真空计为1.0Pa,流量计为24sccm,溅射电流为0.15mA,溅射时间为100s。4.如权利要求1所述的微纳尺度的图形绘制方法,其特征在于,通过磁控溅射仪在硅片上溅射金膜或银膜作为基底包括:溅射时真空计为1.0Pa,流量计为24sccm,溅射电流为0.1mA,溅射时间为20s-90s。5.如权利要求1所述的微纳尺度的图形绘...
【专利技术属性】
技术研发人员:张利胜,李新娟,刘彦齐,王培杰,方炎,李志鹏,
申请(专利权)人:首都师范大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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