脆性衬底的分断方法技术

本发明专利技术是通过使具有突起部(PP)与从突起部(PP)延伸且具有凸形状的侧部(PS)的刀尖(51)在脆性衬底(4)的一面(SF1)上，沿着从突起部(PP)朝向侧部(PS)的方向滑动，而使一面(SF1)上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线(TL)。通过使脆性衬底(4)的龟裂沿着沟槽线(TL)的至少一部分伸展而形成龟裂线(CL)。沿着龟裂线(CL)将脆性衬底(4)分断。沟槽线(TL)的形成步骤是以如下方式进行：在龟裂线(CL)的形成步骤中，龟裂线(CL)沿着沟槽线(TL)伸展的方向与形成有沟槽线(TL)的方向相同。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】脆性衬底的分断方法
本专利技术涉及一种脆性衬底的分断方法。
技术介绍
在平板显示面板或太阳电池面板等电气设备的制造中，常常需要将玻璃衬底等脆性衬底分断。首先，在衬底上形成划线，接着，沿着所述划线将衬底分断。划线可通过使用切割器对衬底进行机械加工而形成。通过使切割器在衬底上滑动或滚动，而在衬底上形成因塑性变形产生的沟槽，同时，在所述沟槽的下方形成垂直龟裂。然后，进行被称为断裂步骤的应力赋予。通过断裂步骤使龟裂在厚度方向完全行进，由此将衬底分断。将衬底分断的步骤大多是于在衬底上形成划线的步骤后紧接着进行。但是，也提出有在形成划线的步骤与断裂步骤之间进行加工衬底的步骤。所谓加工衬底的步骤例如是在衬底上设置若干部件的步骤。例如根据国际专利公开第2002/104078号的技术，在有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器的制造方法中，在安装密封盖之前，针对成为各有机EL显示器的各区域，在玻璃衬底上形成划线。因此，可避免在设置密封盖后在玻璃衬底上形成划线时成为问题的密封盖与玻璃切割器的接触。另外，例如根据国际专利公开第2003/006391号的技术，在液晶显示面板的制造方法中，将2个玻璃衬底在形成划线后贴合。由此，能够通过1次断裂步骤将2片脆性衬底同时断裂。
技术介绍
文献专利文献专利文献1：国际专利公开第2002/104078号专利文献2：国际专利公开第2003/006391号
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]所述以往的技术是在形成划线后对脆性衬底进行加工，然后通过应力赋予进行断裂步骤。这种情况意味着在对脆性衬底加工时垂直龟裂已经存在。由于所述垂直龟裂在厚度方向的进一步伸展是在加工中意外地产生，所以有可能导致加工中应为一体的脆性衬底被分断。另外，即便是在划线的形成步骤与衬底的断裂步骤之间不进行衬底加工步骤的情况下，通常也需要在划线的形成步骤后且衬底的断裂步骤前搬送或保管衬底，所以也有可能在这时衬底意外地被分断。因此，如果可通过不伴随垂直龟裂的线(换句话说，处于下述“无龟裂状态”的线)规定脆性衬底要被分断的位置，那么极其有用。另外，即便是在不需要担忧如上所述的意外分断的情况下，只要能够通过不伴随垂直龟裂的线来规定脆性衬底要被分断的位置，那么即使在所述线的形成步骤中刀尖压抵于脆性衬底的负荷更小也足够。刀尖负荷的减轻对减轻刀尖的磨耗或脆性衬底表面的损伤有用。但是，使用刀尖的滑动形成能够规定脆性衬底要被分断的位置且不伴随垂直龟裂的线的技术至今仍尚未被充分地研究。当然，通常这种不伴随垂直龟裂的线仅被认为是因对刀尖的负荷不足而引起的单纯的不良的线。本专利技术是为了解决如上问题而完成的，其目的在于提供一种能够通过不伴随垂直龟裂的线来规定脆性衬底要被分断的位置的脆性衬底的分断方法。[解决问题的技术手段]本专利技术的一形态的脆性衬底的分断方法具有以下的步骤a)～c)。a)通过使具有突起部与从突起部延伸且具有凸形状的侧部的刀尖在脆性衬底的一面上，沿着从突起部朝向侧部的方向滑动，而使一面上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线。沟槽线是以获得无龟裂状态的方式形成，该无龟裂状态是在沟槽线的下方，脆性衬底在与沟槽线交叉的方向上连续相连的状态。b)通过使脆性衬底的龟裂沿着沟槽线的至少一部分伸展而形成龟裂线。通过龟裂线，将在沟槽线的下方脆性衬底在与沟槽线交叉的方向上连续相连的状态断开。c)沿着龟裂线将脆性衬底分断。步骤a)是以在步骤b)中龟裂线沿着沟槽线伸展的方向与形成有沟槽线的方向相同的方式进行。本专利技术的另一形态的脆性衬底的分断方法具有以下的步骤a)～c)。a)通过使具有突起部与从突起部延伸且具有凸形状的侧部的刀尖在脆性衬底的一面上，沿着从侧部朝向突起部的方向滑动，而使一面上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线。沟槽线是以获得无龟裂状态的方式形成，该无龟裂状态是在沟槽线的下方，脆性衬底在与沟槽线交叉的方向上连续相连的状态。b)通过使脆性衬底的龟裂沿着沟槽线的至少一部分伸展而形成龟裂线。通过龟裂线，将在沟槽线的下方脆性衬底在与沟槽线交叉的方向上连续相连的状态断开。c)沿着龟裂线将脆性衬底分断。步骤a)是以在步骤b)中龟裂线沿着沟槽线伸展的方向与形成有沟槽线的方向相反的方式进行。[专利技术的效果]根据本专利技术，作为规定脆性衬底要被分断的位置的线，形成下方不具有龟裂的沟槽线。作为分断的直接契机所使用的龟裂线是通过在形成沟槽线后使龟裂沿着该沟槽线伸展而形成。由此，能够通过不伴随垂直龟裂的线来规定脆性衬底要被分断的位置。附图说明图1(A)是概略性表示用于本实施方式1的脆性衬底的分断方法的器具的构成的侧视图，及图1(B)是以图1(A)的箭头IB的视点概略性表示所述器具所具有的刀尖的构成的俯视图。图2是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的构成的流程图。图3是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的第1步骤的俯视图。图4是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法中形成的沟槽线的构成的剖面图。图5是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法的第2步骤的俯视图。图6是概略性表示本专利技术的实施方式1的脆性衬底的分断方法中形成的龟裂线的构成的剖面图。图7是概略性表示本专利技术的实施方式1的第1变化例的脆性衬底的分断方法的第1步骤的俯视图。图8是概略性表示本专利技术的实施方式1的第1变化例的脆性衬底的分断方法的第2步骤的俯视图。图9是概略性表示本专利技术的实施方式1的第2变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图10是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法的第1步骤的俯视图。图11是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法的第2步骤的俯视图。图12是概略性表示本专利技术的实施方式2的脆性衬底的分断方法的第3步骤的俯视图。图13是概略性表示本专利技术的实施方式2的变化例的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图14是概略性表示本专利技术的实施方式3的脆性衬底的分断方法的一步骤的俯视图。图15是概略性表示本专利技术的实施方式4的脆性衬底的分断方法的第1步骤的俯视图。图16是概略性表示本专利技术的实施方式4的脆性衬底的分断方法的第2步骤的俯视图。具体实施方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。另外，在以下的附图中对相同或相当的部分标注相同的参照编号并不重复说明。＜实施方式1＞(切割器具的构成)参照图1，首先，对本实施方式的玻璃衬底4(脆性衬底)的分断方法中的沟槽线形成步骤所使用的切割器具50的构成进行说明。切割器具50具有刀尖51及刀柄52。刀尖51通过被固定在刀柄52而得以保持，所述刀柄52作为刀尖51的保持器。在刀尖51，设置有顶面SD1(第1面)、与包围顶面SD1的多个面。所述多个面包含侧面SD2(第2面)及侧面SD3(第3面)。顶面SD1、侧面SD2及SD3(第1～第3面)朝向互不相同的方向，且彼此相邻。刀尖51具有顶面SD1、侧面SD2及SD3所会合的顶点，由该顶点构成刀尖51的突起部PP。另外，侧面SD2及SD3形成构成刀尖51的侧部PS的棱线。侧部PS从突起部PP线状地延伸。另外，侧部PS如上所述为棱线，所以具有呈线状延伸的凸形状。刀尖51优选为金刚石尖头。也就是说，从硬度以及能够缩小表面粗糙度的方面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脆性衬底的分断方法，其具备a)步骤，通过使具有突起部与从所述突起部延伸且具有凸形状的侧部的刀尖在脆性衬底的一面上，沿着从所述突起部朝向所述侧部的方向滑动，而使所述一面上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线；所述沟槽线是以获得无龟裂状态的方式形成，该无龟裂状态是在所述沟槽线的下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态；还具备b)步骤，通过使所述脆性衬底的龟裂沿着所述沟槽线的至少一部分伸展而形成龟裂线；通过所述龟裂线，将在所述沟槽线的下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态断开；还具备c)步骤，沿着所述龟裂线将所述脆性衬底分断；且所述步骤a)是以在所述步骤b)中所述龟裂线沿着所述沟槽线伸展的方向与形成有所述沟槽线的方向相同的方式进行。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.29 JP 2015-1910471.一种脆性衬底的分断方法，其具备a)步骤，通过使具有突起部与从所述突起部延伸且具有凸形状的侧部的刀尖在脆性衬底的一面上，沿着从所述突起部朝向所述侧部的方向滑动，而使所述一面上产生塑性变形，由此形成具有沟槽形状的沟槽线；所述沟槽线是以获得无龟裂状态的方式形成，该无龟裂状态是在所述沟槽线的下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态；还具备b)步骤，通过使所述脆性衬底的龟裂沿着所述沟槽线的至少一部分伸展而形成龟裂线；通过所述龟裂线，将在所述沟槽线的下方所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态断开；还具备c)步骤，沿着所述龟裂线将所述脆性衬底分断；且所述步骤a)是以在所述步骤b)中所述龟裂线沿着所述沟槽线伸展的方向与形成有所述沟槽线的方向相同的方式进行。2.一种脆性衬底的分断方法，其具备a)步骤，通过使具有突起部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾山浩，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP