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脆性衬底的分断方法技术
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文档序号:18172930
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本发明是通过使具有突起部(PP)与从突起部(PP)延伸且具有凸形状的侧部(PS)的刀尖(51)在脆性衬底(4)的一面(SF1)上,沿着从突起部(PP)朝向侧部(PS)的方向滑动,而使一面(SF1)上产生塑性变形,由此形成具有沟槽形状的沟槽线...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。
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