细线宽多振镜头激光刻蚀机制造技术

本发明专利技术的目的是提供一种细线宽多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F‑θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F‑θ透镜组安装在二维振镜头下部，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合后并排安装相邻的激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合之间的距离为F‑θ透镜组刻蚀的幅面宽度两倍及以上的整数倍。本发明专利技术的细线宽多振镜头激光刻蚀机，加工速度快，生产效率高。

Thin line wide multi vibration lens laser etching machine

The aim of the invention is to provide a fine line wide multi vibration lens laser etching machine, including a frame, a control system, a computer system, a laser generator, an adsorption platform, a two-dimensional lens, a X, a Y axis linear motion platform and a F lens group. The control system, the computer system and the excitation generator are installed on the frame, and the laser is sent. The laser head of the generator, the two-dimensional lens and the F lens group are installed above the adsorption platform. The laser outlet of the laser generator is concentric on the laser hole of the two-dimensional lens, and the F lens group is installed in the lower part of the two-dimensional lens, and the laser head, the two-dimensional lens and the F lens group combination of the multi piece laser generator are combined. The distance between the laser head, the two-dimensional lens and the F lens group of the adjacent laser generator is two times the width of the amplitude of the etching of the F lens group and the integer times more than that of the laser generator. The laser etching machine with a thin wire width and multi vibration lens has the advantages of fast processing speed and high production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
细线宽多振镜头激光刻蚀机
本专利技术涉及一种激光刻蚀设备，特别是涉及细线宽多振镜头激光刻蚀机。
技术介绍
用于刻蚀显示触摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的银浆激光刻蚀设备的光路多采用二维振镜头和F-θ透镜组组合，二维振镜头安装在机架或X、Y直线运动平台上，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部。为了保证ITO薄膜和银浆的刻蚀宽度和线性精度，激光刻蚀设备都选择刻蚀幅面比较小的F-θ透镜，这样，一张ITO薄膜或银浆膜往往要多次拼接加工，工作过程中，辅助时间长，生产效率低。专利号为2012200038147的多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台和F-θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器、二维振镜头和F-θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装。此多振镜头激本文档来自技高网...

【技术保护点】
细线宽多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F‑θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F‑θ透镜组安装在二维振镜头下部，X、Y轴直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器、二维振镜头和F‑θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合后并排安装，其特征在于：相邻的激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜组组合之间的距离为F‑θ透镜组刻蚀的幅面宽度两倍及以上的整...

【技术特征摘要】
1.细线宽多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F-θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，X、Y轴直线运动平台...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，袁聪，方小春，汪伟，
申请(专利权)人：武汉吉事达科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42