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本发明的目的是提供一种细线宽多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、X、Y轴直线运动平台和F‑θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F‑θ透镜...
该专利属于武汉吉事达科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉吉事达科技股份有限公司授权不得商用。

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