多功能超快激光微细加工系统技术方案

本实用新型专利技术涉及多功能超快激光微细加工系统，超快激光器输出端设倍频模块，倍频模块输出端有三个波段出光口，第一波段输出光路上设第一光路传输模组，第二波段输出光路上设第二光路传输模组，其输出的光束经合束镜合为一束，合束镜输出端依次设第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置，第三波段输出光路上设第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设第四光路切换装置、第五切换装置和第六反射镜，其中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置的中心对齐，其垂直射出端光路均设光阑，光阑输出端设加工模块。实现数种组合方式的加工模式。

【技术实现步骤摘要】
多功能超快激光微细加工系统
本技术涉及一种多功能超快激光微细加工系统，属于激光加工

技术介绍
随着激光技术的发展，激光加工正在以前所未有的速度进入到传统工业的各个领域，对传统加工技术而言是一种革命性的挑战。按照激光的脉冲宽度进行分类，激光可分为连续激光、长脉冲激光，短脉冲激光和超快激光，各种脉宽的激光根据特性有不同的应用领域。其中超快激光具有“超精细”和“无热影响”的加工特点，基于超快激光的微纳加工技术，理论上实现了对加工材料的无选择性和无热影响区域，有着无可替代的优势，近年来已成为研究的热点。超快激光维纳技术将加工精度延伸至微米或纳米量级，突破光学微加工方法的精度极限。现有的超快激光加工设备一方面功能较单一，只能用于钻孔、刻蚀或切割等，且三维加工能力较弱；另一方面，根据材料的不同，需要选择不同波长的光进行加工，这就需要特定波长的激光加工设备，成本大。对于材料多样、加工方式多样的要求无法在同一设备上完成，不便于超快激光微纳加工的理论研究和应用基础研究。专利号201610408296.X公开了一种超快激光微细加工系统，通过分光器将光束分两路输出，实现了两种功能的激光加工，但这本文档来自技高网...

【技术保护点】
多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：超快激光器(A)输出端设有倍频模块(B)，倍频模块(B)输出端有三个波段的出光口，其第一波段输出光路(B1)上设有第一光路传输模组，第二波段输出光路(B2)上设有第二光路传输模组，第一光路传输模组和第二光路传输模组输出的光路上设有合束镜(F)，光束经合束镜(F)合为一束使其处于同一光路上，合束镜(F)输出端依次设有第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)，第三波段输出光路(B3)上设有第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设有第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)...

【技术特征摘要】
1.多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：超快激光器(A)输出端设有倍频模块(B)，倍频模块(B)输出端有三个波段的出光口，其第一波段输出光路(B1)上设有第一光路传输模组，第二波段输出光路(B2)上设有第二光路传输模组，第一光路传输模组和第二光路传输模组输出的光路上设有合束镜(F)，光束经合束镜(F)合为一束使其处于同一光路上，合束镜(F)输出端依次设有第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)，第三波段输出光路(B3)上设有第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设有第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)和第六反射镜(D6)，第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)和第六反射镜(D6)的中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)的中心对齐，第一光路切换装置(G1)垂直射出端光路上设有第一光阑(H1)，第二光路切换装置(G2)垂直射出端光路上设有第二光阑(H2)，第三光路切换装置(G3)垂直射出端光路上设有第三光阑(H3)，第一光阑(H1)输出端设有多光束并行加工模块(I)，第二光阑(H2)输出端设有三维扫描振镜加工模块(J)，第三光阑(H3)输出端设有钻孔加工模块(K)。2.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述超快激光器(A)为皮秒激光器或纳秒激光器。3.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第一光路传输模组包含第一偏振转换装置(C1)以及第一扩束镜(E1)，第一偏振转换装置(C1)位于第一波段输出光路(B1)上，第一扩束镜(E1)位于第一偏振转换装置(C1)的输出端。4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯爱新，杨海华，张津超，薛伟，赵莹，程好，陈欢，贾天代，刘勇，
申请(专利权)人：温州大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33