真空蒸镀用加热装置制造方法及图纸

技术编号:1801240 阅读:177 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术的技术课题在于提供一种提高蒸镀材料的操作便利性、且通过改善白热丝与蒸镀材料的接触状况来进行更好的蒸镀的新型的真空蒸镀用加热装置。真空蒸镀用白热丝(1)的特征在于,其通过在熔融作用部(22)的上方沿长度方向连续地设置蒸镀材料(W)的安置部(23)来形成,且该安置部(23)形成为使蒸镀材料(W)从上方导入的形状,另一方面,所述蒸镀材料(W)呈弯曲形状,从而与真空蒸镀用白热丝(1)保持宽松卡合状态地安置在安置部(23)上,可使蒸镀材料(W)相对于真空蒸镀用白热丝(1)的设置容易地进行,且使熔融作用部(23)对蒸镀材料(W)的热传递高效地进行。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过真空蒸镀对树脂制品、金属制品等进行镀铝等的真 空蒸镀用加热装置。
技术介绍
将被加工材料和作为蒸镀材料的铝片等收纳在真空室中,使蒸镀材料加 热蒸发并在被加工材料上形成铝覆盖层的真空蒸镀的手法一直被广泛地使 用。在此过程中,为减少蒸镀材料的损失且以高效率在被加工材料上形成覆 膜状的镀层等,进行了各种改良。例如, 一种对现有的铝等蒸镀材料与加热用 的白热丝的相互的形状进行改造,从而有效地进行蒸镀材料的熔解、蒸发的装 置已为公众所知(例如,参照专利文献l)。专利文献1:日本专利特开2001 — 220662作为此类技术改良中的一环,本专利技术的技术课题在于提供一种提高蒸镀材 料的操作便利性、且通过改善白热丝与蒸镀材料的接触状况来进行更好的蒸镀 的新型的真空蒸镀用加热装置
技术实现思路
技术方案1所述的真空蒸镀用加热装置,将蒸镀材料保持在因通电而被 加热的白热丝上,使该蒸镀材料加热蒸发而在被加工材料上形成蒸镀覆膜, 其特征在于,所述白热丝通过在熔融作用部的上方沿长度方向连续地设置 蒸镀材料的安置部来形成,且该安置部形成为使蒸镀材料从上方导入的形 状,另一方面,所述蒸镀材料呈弯曲形状,从而与白热丝保持宽松卡合状 态地安置在安置部上。利用该专利技术,可使蒸镀材料相对于白热丝的设置容易地进行,且使熔融作用部对蒸镀材料的热传递高效地进行。技术方案2所述的真空蒸镀用加热装置,在具有上述要件的基础上,其特征在于,所述白热丝由多根线材搓合而成。利用该专利技术,可使被熔融的蒸发材料遍布熔融作用部全域,从而能很好地使蒸镀材料蒸发。技术方案3所述的真空蒸镀用加热装置,在具有上述要件的基础上,其特征在于,所述白热丝上巻装有巻绕线。利用该专利技术,可使被熔融的蒸镀材料更圆滑地遍布至熔融作用部全域。 技术方案4所述的真空蒸镀用加热装置,在具有上述要件的基础上,其特征在于,所述蒸镀材料为螺旋形状。利用该专利技术,能使熔融作用部与蒸发材料可靠地进行宽松卡合。 技术方案5所述的真空蒸镀用加热装置,在具有上述要件的基础上,其特征在于,所述蒸镀材料由多根线材搓合而成。利用该专利技术,可促进对蒸发材料整体的热传递,使熔融圆滑地进行。 上述各项技术方案所述的专利技术的结构可作为解决上述技术问题的方法。 若使用本专利技术,可提高蒸镀材料的操作便利性、且通过改善白热丝与蒸镀材料的接触状况来进行更好的蒸镀。附图说明图1 (a)是表示将本专利技术的真空蒸镀用加热装置作为构成要素的真空蒸镀装置的框架纵向剖视图,(b)是表示真空蒸镀用加热装置的立体图。图2 (a)是表示真空蒸镀用白热丝及蒸镀材料的立体图,(b)是将蒸 镀材料保持在真空蒸镀用白热丝上的状态局部放大加以图示的立体图。图3 (a)是表示真空蒸镀用白热丝及蒸镀材料的侧视图,(b)是表示 使蒸镀材料保持在真空蒸镀用白热丝上的状态的侧视图。图4 (a)是表示真空蒸镀用白热丝的俯视图,(b)是表示使蒸镀材料 保持在真空蒸镀用白热丝上的状态的俯视图。图5是表示蒸镀材料的其它形状的例子的侧视图。图6 (a)是表示使蒸镀材料保持在构成本专利技术的真空蒸镀用加热装置的 真空蒸镀用白热丝上的状态的主视图,(b)是表示棒状的蒸镀材料的保持状 态的主视图。(符号说明)1真空蒸镀用白热丝2白热丝本体3巻绕材料5蒸镀装置21通电端22熔融作用部23安置部31巻绕材料(盘绕状)50室本体50A加工室51电极杆52白热丝架53固定螺钉55工作台M蒸镀材料W被加工材料具体实施方式以下,根据图示的实施例对本专利技术的最佳实施方式进行说明。而且, 也可在本专利技术的技术思想的范围内对以下的实施例进行适当变更。 实施例图中,符号1表示真空蒸镀用白热丝,该真空蒸镀用白热丝1由作为主要部件的白热丝本体2和巻绕材料3构成,该白热丝本体2使用钨丝等线材, 该巻绕材料3巻绕在白热丝本体2的外侧且采用金属细线等。该真空蒸镀用白 热丝1在图1中以框架表示的蒸镀装置5内作为真空蒸镀用加热装置的构成 要素。而且,真空蒸镀用白热丝l在真空环境下被通电加热,使保持在该真空 蒸镀用白热丝1上的蒸镀材料M熔融、蒸发,从而蒸镀在配置于蒸镀装置5内 的被加工材料W的表面上来形成金属覆膜(镀层)。首先,在对真空蒸镀用白热丝1进行具体说明前,先对蒸镀装置5的概略 进行说明。该蒸镀装置5如图1所示,将筒状的室本体50的内部作为加工室 50A,其大致中央竖立形成有电极杆51。上下形成有多个分枝地从该电极杆51 分别突出有一对白热丝架52,利用固定螺钉53将真空蒸镀用白热丝1固定在该白热丝架52的前端,由此构成真空蒸镀用加热装置。在真空蒸镀用白热丝1的周边包围上述多个真空蒸镀用白热丝1地设有多组工作台55。作为该工作台55的一个示例,省略详细的说明工作台55的基部支撑在转盘状的部件上,在绕真空蒸镀用白热丝1的周边旋转的同时,进行行星运动。通过这样的动作,可使支撑在工作台55上的被加工材料W布 满被熔解、蒸发的蒸镀材料M。另外,室本体50中,通过使其外壳部件单独上升或局部分割、展开来使 位于加工室50A内的真空蒸镀用白热丝1及工作台55暴露,这些真空蒸镀用 白热丝l及工作台55可适当地进行滑动,从而使蒸镀材料M及被加工材料W 的设置容易地进行。接下来,对所述真空蒸镀用白热丝1进行更具体的说明。作为所述白热丝 本体2的一个示例,由多根钨丝单线搓合而成,其两端形成有呈例如大致 直线状的通电端21。且该通电端21间形成为向三维方向展开的熔融作用部 22,作为一个示例,如图2、 3、 4所示,形成为允许蒸发材料M从上方导 入的导入形状。具体如图6 (a)所示,形成白热丝本体2的线材在侧视图上呈V字状, 且整体如图4所示,在俯视图中以正弦曲线状展开地进行弯曲加工以形成熔融 作用部22。将熔融作用部22的上方空间作为蒸镀材料M的安置部23。另外,所述白热丝本体2本身并不限定于采用搓合线,也可由金属单线构成。在所述熔融作用部22上巻绕有盘绕状的巻绕材料3 (关于盘绕状的巻绕 材料3,在特别对其进行表示时用符号31表示)。另外,为了使熔融作用部22与蒸镀材料M的接触状况保持良好,所述两 通电端21如图3 (a)的侧视图所示,以相同的高度等级向横向突出,且最好 使通电端21的高度等级位于熔融作用部22的下端部。相对于该形状的真空蒸镀用白热丝1,如图2 (b)、图3 (b)、图4 (b) 所示,以铝线等为例形成为螺旋状来构成的蒸镀材料M以宽松卡合状态设置在 安置部23内。此时,由于烙融作用部22形成为允许蒸发材料M从上方导入的导入形状。因此如图6 (a)所示,熔融作用部22在侧视图上呈V字状展开,无论 从该熔融作用部22的上面任何部位将蒸镀材料M投入,都能够到达最下部, 与左右两端侧的熔融作用部22相互缠绕地宽松卡合,因此能够可靠地确保 较大的接触面积。因此,蒸镀材料M的投入装置不要求极高的精度。即使进行手动作业时 也无需过度的技巧。另外,蒸镀材料M通过将多根较细的线材搓合并加工为螺旋形状来提高对 各线材的热传导性,从而促进对蒸镀材料M整体的热传递,然而也可对单线进 行弯曲加工来形成蒸镀材料M。另外,蒸镀材料M的螺旋间距如图4 (b)所示,为熔融作用部22的间 距的2倍(整数倍),从而可使蒸镀材料M与熔融作用部2本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空蒸镀用加热装置,将蒸镀材料保持在因通电而被加热的白热丝上,使该蒸镀材料加热蒸发而在被加工材料上形成蒸镀覆膜,其特征在于,所述白热丝通过在熔融作用部的上方沿长度方向连续地设置蒸镀材料的安置部来形成,且该安置部形成为使蒸镀材料从上方导入的形状,另一方面,所述蒸镀材料呈弯曲形状,从而与白热丝保持宽松卡合状态地安置在安置部上。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:田中淳美
申请(专利权)人:柯斯墨A株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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