The utility model discloses a device for polishing the edge of a sapphire sheet, including an adsorption device, a pressing device and an ultrasonic vibration device. The adsorption device includes a vacuum sucker, a rotating rod and a motor. The pressing device includes a rotating switch, a connecting rod and a circular press disc. It consists of ultrasonic emitter, transducer, frequency conversion rod, liquid - volume device and container box. There are polishing liquid in the liquid - volume device. The ultrasonic vibration device is placed on the lifting platform and the lifting platform is placed on the worktable. The utility model sucks one end of sapphire thin slice tightly through a vacuum sucker in an adsorption device, and the other end holds the sapphire thin slice by the circular press disc in the pressing device, and starts the lifting platform to immerse the sapphire thin slice into the liquid container with a polishing liquid, and drive the polishing by controlling the ultrasonic vibration and the rotation of the motor. The polishing and chamfering of sapphire thin edges are carried out by the movement of the liquid and sapphire flakes respectively.
【技术实现步骤摘要】
一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置
本技术涉及硬脆性材料抛光加工领域,具体是涉及一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置。
技术介绍
蓝宝石主要成分为Al2O3,作为一种典型的硬脆性材料,它具有硬度高,熔点高,透光性好,化学性能稳定等众多优点,广泛应用于机械、光学,航空航天等领域。但由于其硬度高,脆性大等特点,机械加工相对困难,尤其是对于蓝宝石衬底片的精密加工更加复杂。国内批量化生产的蓝宝石衬底片工艺过程中,破裂及塌边比例约占总数的6%,而国外对其工艺过程一直处于保密状态,所以改善蓝宝石薄片加工质量一直是一个研究热点。蓝宝石衬底片加工流程从晶棒开始一般包括定向、切片、研磨、倒角、抛光、清洗和品检等步骤。其中的倒角和抛光工序目的分别是将晶片边缘修整成圆弧状,改善薄片边缘的机械强度,避免应力集中造成缺陷,同时改善晶片的粗糙度,达到指定晶级精度。但是在传统的倒角过程中,机械倒角难免会给蓝宝石薄片带来新的损伤且倒角过程中大都单面倒角,薄片两端倒角量难以保证一致,同时耗时费力。
技术实现思路
本技术提供了一种结构简单、操作方便的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,能够提高加工效率和避免加工损伤。本技术专利采用的技术方案是:一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置;所述的吸附装置包括真空吸盘、旋转杆和电机;所述的压紧装置包括旋转开关、连接杆和圆形压盘;所述的超声振动装置包括超声波发射器、换能器、变频杆、容液器和容器箱;所述的容液器内盛放有抛光液,超声振动装置设于升降台上,升降台置于工作台上。所述的吸附装置中的电机放置并固定于固定台 ...
【技术保护点】
一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置;所述的吸附装置包括真空吸盘、旋转杆和电机;所述的压紧装置包括旋转开关、连接杆和圆形压盘;所述的超声振动装置包括超声波发射器、换能器、变频杆、容液器和容器箱;所述的容液器内盛放有抛光液,超声振动装置设于升降台上,升降台置于工作台上。
【技术特征摘要】
1.一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,包括吸附装置、压紧装置和超声振动装置;所述的吸附装置包括真空吸盘、旋转杆和电机;所述的压紧装置包括旋转开关、连接杆和圆形压盘;所述的超声振动装置包括超声波发射器、换能器、变频杆、容液器和容器箱;所述的容液器内盛放有抛光液,超声振动装置设于升降台上,升降台置于工作台上。2.根据权利要求1所述的一种对蓝宝石薄片边缘进行抛光倒角的装置,其特征在于:所述的吸附装置中的电机放置并固定于固定台上,所述的固定台位于工作台的右上方,所述的旋转杆的右端与所述的电机相联,所述的旋转杆的左...
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