一种新型PECVD石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片、多个快拆杆，石墨舟片上开设有若干开孔，不同石墨舟片上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道；快拆杆包括有陶瓷管、连接杆、第一压片、第二压片、锁紧扳块，陶瓷管穿设于穿设通道内，连接杆穿插在陶瓷管的通孔内，连接杆的一端连接第一压片，连接杆的另一端贯穿第二压片后与锁紧扳块铰接，锁紧扳块设有锁紧部、解锁部，锁紧部的侧面与铰接点的最长直线距离大于解锁部的侧面与铰接点的最长直线距离。与现有技术相比，本实用新型专利技术简化石墨舟片之间的拆装过程，节省时间。

【技术实现步骤摘要】
一种新型PECVD石墨舟
本技术涉及太阳能硅片生产设备领域，尤其涉及一种新型PECVD石墨舟。
技术介绍
石墨舟由多片石墨舟片构成，目前石墨舟片之间通过端部带有螺纹的陶瓷棒连接，并在陶瓷棒的端部加上螺母进行固定。在安装与拆卸时，均要采用工具把陶瓷棒两端的螺母拧下来，过程繁琐，浪费较多时间。本技术的目地是简化石墨舟片之间的拆装过程，节省时间。
技术实现思路
本技术为解决现有的技术缺陷，提供了一种新型PECVD石墨舟，其能能简化石墨舟片之间的连接过程，节省时间。其具体的技术方案如下：本技术公开一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片、多个快拆杆，石墨舟片上开设有若干开孔，不同石墨舟片上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道；快拆杆包括有陶瓷管、连接杆、第一压片、第二压片、锁紧扳块，陶瓷管穿设于穿设通道内，陶瓷管的长度等于或长于穿设通道的长度，陶瓷管内设有通孔，通孔沿陶瓷管的轴向设置、贯穿陶瓷管的端部；连接杆穿插于通孔内，连接杆的一端连接第一压片，连接杆的另一端伸出通孔外、贯穿第二压片；第一压片、第二压片的面积均大于穿设通道的端口面积；锁紧扳块设于第二压片远离陶瓷管的一侧，锁紧扳块与连接杆的端部铰接；锁紧扳块与连接杆铰接的一端设有锁紧部、解锁部，锁紧部的侧面与铰接点的最长直线距离大于解锁部的侧面与铰接点的最长直线距离。进一步地，第一压板及第二压板上均设有凹槽，连接杆的端部设于凹槽内。进一步地，凹槽内设有弹性件，弹性件正对于连接杆的端面侧壁。进一步地，第一压片与连接杆的端部之间通过第一弹簧连接，第一弹簧设于凹槽内。进一步地，第二压片与锁紧扳块之间设有隔板，隔板与第二压片之间设有第二弹簧，连接杆的端部穿过隔板、与锁紧扳块铰接。进一步地，锁紧部及解锁部的表面均为平面，解锁部与周围的部位之间弧形过渡，锁紧部位与周围的部位之间弧形过渡。进一步地，相邻石墨舟片之间设有陶瓷环，陶瓷环套设于连接杆上。本技术的有益效果：本技术用快拆杆代替了端部带螺纹的陶瓷棒，简化石墨舟片之间的拆装过程，节省时间。附图说明图1为本技术实施例的石墨舟片侧面结构示意图；图2为本技术实施例的石墨舟片剖面结构示意图；图3为本技术实施例没有隔板的快拆杆的结构示意图；图4为本技术实施例有隔板的快拆杆的结构示意图。图中标注：石墨舟片100，穿设通道101，快拆杆200，陶瓷管201，第一压片202，第二压片203，锁紧扳块204，锁紧部205，解锁部206，连接杆207，凹槽208，弹性件209，第一弹簧210，通孔220，隔板230，第二弹簧240，陶瓷环300。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。下面通过具体实施方式结合附图对本技术作进一步详细说明。请参阅附图1-4。本技术公开一种新型PECVD石墨舟，如图1及图2所示，包括有多个石墨舟片100、多个快拆杆(200)200，石墨舟片100上开设有若干圆形的开孔，不同石墨舟片100上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道101；如图3及图4所示，快拆杆(200)200包括有陶瓷管201、连接杆207、第一压片202、第二压片203、锁紧扳块204，陶瓷管201穿设于穿设通道101内，陶瓷管201的长度等于或长于穿设通道101的长度，以方便进行锁紧过程。陶瓷管201内设有通孔230，通孔230沿陶瓷管201的轴向设置、贯穿陶瓷管201的端部；连接杆207穿插于通孔230内，连接杆207的一端连接第一压片202，连接杆207的另一端伸出通孔230外、贯穿第二压片203；第一压片202、第二压片203的面积均大于穿设通道101的端口面积，以便压紧石墨舟片100；锁紧扳块204设于第二压片203远离陶瓷管201的一侧，锁紧扳块204与连接杆207的端部铰接；锁紧扳块204与连接杆207铰接的一端设有锁紧部205、解锁部206，锁紧扳块204的另一端为弧形的用于扳动锁紧扳块204的把手。其中，锁紧部205的侧面与铰接点的最长直线距离大于解锁部206的侧面与铰接点的最长直线距离，当锁紧部205与第二压片203接触时，锁紧扳块204拉扯第一连接杆207，从而使第一压片202与第二压片203之间的距离呈缩小的趋势，增加对石墨舟片100的压合力度，达到锁紧效果；当解锁部206与第二压片203接触时，锁紧扳块204拉扯第一连接杆207的力度减小或消失，第一压片202与第二压片203的相对的压合力度变小，减小对石墨舟片100的压合力度，达到解锁效果，不需借用工具，直接通过人工扳动锁紧扳块204来实现锁紧或解锁，简化拆卸与安装过程，节省时间。进一步地，第一压板及第二压板上均设有圆环状的凹槽208，连接杆207的端部与凹槽208配合，可起到固定第一压板与第二压板位置的作用，避免第一压板与第二压板在压合的过程中发生错位，损坏石墨舟片100。进一步地，凹槽208内设有弹性件209，弹性件209正对于连接杆207的端面侧壁，弹性件209不仅能缓冲消减第一压片202及第二压片203对石墨舟片100的压合力度，防止压合力度过大损坏石墨舟片100，还在快拆杆(200)200处于锁紧状态时能起到增加锁紧效果的作用。进一步地，如图3所示，第一压片202与连接杆207的端部之间通过第一弹簧210连接，第一弹簧210设于凹槽208内。这能使第一压片202与第二压片203对石墨舟片100的压合力变为柔性可变化的力，避免压合力度刚性变化，损坏石墨舟片100。进一步地，为了避免第一压片202与第二压片203的压合力度刚性变化，还有另外一种方案：如图4所示，第二压片203与锁紧扳块204之间设有隔板230，隔板230与第二压片203之间设有第二弹簧240，连接杆207的端部穿过隔板230后再与锁紧扳块204铰接。进一步地，锁紧部205及解锁部206的表面均为平面，这样可以增加锁紧扳块204与第二压片203之间的接触面，增加锁紧扳块204在锁紧或解锁的状态下的稳定性。解锁部206与周围的部位之间弧形过渡，锁紧部205位与周围的部位之间弧形过渡，这可以增加锁紧扳块204在变换状态时的简易性。进一步地，相邻石墨舟片100之间设有陶瓷环300，陶瓷环300套设于连接杆207上，各陶瓷环300的轴向长度相等，这可以使相邻石墨舟片100之间的间隔相等，也能使石墨舟片100之间的压力更均匀，压合效果好。以上内容是结合具体的实施方式对本技术所作的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只局限于这些说明。对于本技术所属
的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片(100)、多个快拆杆(200)，所述石墨舟片(100)上开设有若干开孔，不同所述石墨舟片(100)上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道(101)；所述快拆杆(200)包括有陶瓷管(201)、连接杆(207)、第一压片(202)、第二压片(203)、锁紧扳块(204)，所述陶瓷管(201)穿设于所述穿设通道(101)内，所述陶瓷管(201)的长度等于或长于所述穿设通道(101)的长度，所述陶瓷管(201)内设有通孔(220)，所述通孔(220)沿所述陶瓷管(201)的轴向设置、贯穿所述陶瓷管(201)的端部；所述连接杆(207)穿插于所述通孔(220)内，所述连接杆(207)的一端连接第一压片(202)，所述连接杆(207)的另一端伸出所述通孔(220)外、贯穿所述第二压片(203)；所述第一压片(202)、所述第二压片(203)的面积均大于所述穿设通道(101)的端口面积；所述锁紧扳块(204)设于所述第二压片(203)远离所述陶瓷管(201)的一侧，所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)的端部铰接；所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)铰接的一端设有锁紧部(205)、解锁部(206)，所述锁紧部(205)的侧面与铰接点的最长直线距离大于所述解锁部(206)的侧面与铰接点的最长直线距离。...

【技术特征摘要】
1.一种新型PECVD石墨舟，包括有多个石墨舟片(100)、多个快拆杆(200)，所述石墨舟片(100)上开设有若干开孔，不同所述石墨舟片(100)上的开孔逐一对齐、组合成穿设通道(101)；所述快拆杆(200)包括有陶瓷管(201)、连接杆(207)、第一压片(202)、第二压片(203)、锁紧扳块(204)，所述陶瓷管(201)穿设于所述穿设通道(101)内，所述陶瓷管(201)的长度等于或长于所述穿设通道(101)的长度，所述陶瓷管(201)内设有通孔(220)，所述通孔(220)沿所述陶瓷管(201)的轴向设置、贯穿所述陶瓷管(201)的端部；所述连接杆(207)穿插于所述通孔(220)内，所述连接杆(207)的一端连接第一压片(202)，所述连接杆(207)的另一端伸出所述通孔(220)外、贯穿所述第二压片(203)；所述第一压片(202)、所述第二压片(203)的面积均大于所述穿设通道(101)的端口面积；所述锁紧扳块(204)设于所述第二压片(203)远离所述陶瓷管(201)的一侧，所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)的端部铰接；所述锁紧扳块(204)与所述连接杆(207)铰接的一端设有锁紧部(205)、解锁部(206)，所述锁紧部(205)的侧面与铰接点的最长直线距离大...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶荣文，褚玉宝，沈欢，肖仲，刘俊，
申请(专利权)人：中赣新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36