具偏移歧管的内部清洗喷洒器制造技术

本发明专利技术提供一种用于衬底容器的清洗塔组合件。所述组合件可包含用于安装到衬底容器的底板的清洗接口本体，所述清洗接口本体包含基座部分及顶部部分。所述基座部分可包含基本上管状基座侧壁且所述顶部部分可具有定位于所述基座部分的顶部边缘上的顶部侧壁。所述顶部部分可包含用于通过所述底板中的后部入口安装的入口喷嘴。所述入口喷嘴可具有从所述顶部侧壁向上延伸且界定所述入口喷嘴的内部的基本上管状侧壁。所述基座部分及所述顶部侧壁可界定安置成连接到所述基座部分及所述入口喷嘴的偏移导管部分，所述基座部分及所述入口喷嘴经由所述偏移导管部分流体连通。

Internal cleaning sprinkler with offset manifold

The invention provides a cleaning tower assembly for a substrate container. The assembly can include a cleaning interface body for mounting to the bottom plate of the substrate container, and the cleaning interface body comprises a base part and a top part. The base portion may include a substantially tubular base sidewall and the top portion may have a top sidewall positioned on the top edge of the base portion. The top portion may include an inlet nozzle for mounting through the rear entrance of the bottom plate. The inlet nozzle may have a substantially tubular sidewall extending from the top side wall and defining the interior of the inlet nozzle. The base portion and the top side wall can be defined as an offset catheter part connected to the base portion and the inlet nozzle, and the base portion and the inlet nozzle are partially connected via the offset catheter.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具偏移歧管的内部清洗喷洒器
本专利技术大体上涉及用于微环境的清洗系统，且更特定来说涉及用于衬底容器的喷洒器塔。相关申请案本申请案要求2015年9月4日申请的第62/214,464号美国专利申请案及2015年12月4日申请的第62/263,194号美国专利申请案的较早申请日的权利，所述专利申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
技术介绍
在从衬底容器插入或移除衬底期间，灰尘痕迹、气体杂质或增加的湿度可引入到衬底容器中，从而负面地影响驻留晶片的产物良率。对应地，对在衬底处置期间控制这些容器内的环境以达成或维持高清洁度水平的需求在不断增加。在一些例项中，使用通过入口端口注入到衬底容器的内部中以使所述容器内的空气通过出口端口离开的惰性气体来清洗衬底容器内的微环境。已设计将清洗气体递送到所述容器中的系统及方法以提供所述容器内的改良的环境。随着前开式统一晶片盒(FOUP)的开发，载体制造商引入底部清洗端口以使用清洁干燥空气(CDA)或惰性清洗来实现内部环境的清洗。在FOUP壳的内部底面下方引入这些清洗模块。当引入清洗喷洒器时，将明白：如果喷洒器轴向组装到清洗接口，那么喷洒器将不仅干扰晶片处置排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于衬底容器的清洗塔组合件，所述清洗塔组合件包括：清洗接口本体，其用于安装到衬底容器的底板，所述清洗接口本体包含：基座部分，其具有从底部边缘向上延伸到顶部边缘的基本上管状基座侧壁，所述底部边缘界定用于接达到所述基座部分的内部的第一孔隙，所述第一孔隙是围绕第一轴线同心；及顶部部分，其连接到所述基座部分，所述顶部部分包含定位于所述基座部分的所述顶部边缘上的顶部侧壁，所述顶部部分包含经配置用于通过所述衬底容器的所述底板中的入口安装的入口喷嘴，所述入口喷嘴具有从所述顶部侧壁向上延伸到喷嘴边缘的基本上管状喷嘴侧壁，所述喷嘴边缘界定用于接达到所述入口喷嘴的内部的第二孔隙，所述第二孔隙是围绕基本上平行于...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.04 US 62/214,464;2015.12.04 US 62/263,1941.一种用于衬底容器的清洗塔组合件，所述清洗塔组合件包括：清洗接口本体，其用于安装到衬底容器的底板，所述清洗接口本体包含：基座部分，其具有从底部边缘向上延伸到顶部边缘的基本上管状基座侧壁，所述底部边缘界定用于接达到所述基座部分的内部的第一孔隙，所述第一孔隙是围绕第一轴线同心；及顶部部分，其连接到所述基座部分，所述顶部部分包含定位于所述基座部分的所述顶部边缘上的顶部侧壁，所述顶部部分包含经配置用于通过所述衬底容器的所述底板中的入口安装的入口喷嘴，所述入口喷嘴具有从所述顶部侧壁向上延伸到喷嘴边缘的基本上管状喷嘴侧壁，所述喷嘴边缘界定用于接达到所述入口喷嘴的内部的第二孔隙，所述第二孔隙是围绕基本上平行于所述第一轴线且定位于所述第一轴线后部的第二轴线同心，其中所述顶部侧壁与所述基座部分配合以界定安置在所述第一孔隙与所述入口喷嘴之间的偏移导管部分，所述基座部分及所述入口喷嘴经由所述偏移导管部分流体连通。2.根据权利要求1所述的清洗塔组合件，其进一步包括：喷洒器部分，其界定沿喷洒器轴线延伸到所述喷洒器部分中的喷洒器通道，所述喷洒器通道界定操作性地耦合到所述入口喷嘴用于所述基座部分、所述入口喷嘴与所述喷洒器部分之间的流体连通的所述喷洒器部分的底部部分处的开口。3.根据权利要求2所述的清洗塔组合件，其中所述喷嘴侧壁包含形成在所述喷嘴侧壁的外表面上的外部螺纹。4.根据权利要求3所述的清洗塔组合件，其中所述喷洒器部分包含形成在所述喷洒器部分的内表面上的内部螺纹，所述内部螺纹与所述入口喷嘴的所述外部螺纹兼容以操作性地耦合在所述喷洒器部分与所述入口喷嘴之间。5.根据权利要求2所述的清洗塔组合件，其中所述喷洒器部分包含位于所述底部部分处的加宽部分。6.根据权利要求2所述的清洗塔组合件，其中所述喷洒器部分包含多孔喷洒器侧壁。7.根据权利要求1所述的清洗塔组合件，其中所述基座部分包含安装在所述第一孔隙中以与外部流体源流体连通的垫圈及阀。8.根据权利要求1所述的清洗塔组合件，其中所述入口喷嘴是包含带倒钩部分及锥形部分的带倒钩喷嘴，所述带倒钩部分界定所述带倒钩喷嘴的外径，所述锥形部分界定邻近所述带倒钩部分的减小的外径。9.根据权利要求8所述的清洗塔组合件，其中所述喷嘴侧壁界定所述带倒钩部分与所述锥形部分之间的侧孔隙。10.根据权利要求1所述的清洗塔组合件，其中所述入口喷嘴经设定大小使得当安装到所述衬底容器的所述底板时，所述入口喷嘴向上延伸到大约容置在所述衬底容器内的第一晶片的位置。11.根据权利要求1所述的清洗塔组合件，其中所述顶部侧壁是基本上平面的。12.一种用于容置衬底的衬底容器，所述衬底容器包括：容器部分，其包含两个相对侧壁、背部侧壁、顶部侧壁及底板，所述容器部分界定用于衬底的插入及移除的所述衬底容器的前部中的开口，所述容器部分安装在输送板上；门，其经配置用于覆盖及密封由所述容器部分界定的所述开口；及清洗接口本体，其连接到所述底板，所述清洗接口本体包含：基座部分，其具有从底部边缘向上延伸到顶部边缘的基本上管状基座侧壁，所述底部边缘界定用于接达到所述基座部分的内部的第一孔隙，所述第一孔隙是围绕第一轴线同心；顶部部分，其连接到所述基座部分，所述顶部部分具有定位于所述基座部分的所述顶部边缘上的基本上平面的顶部侧壁以向上覆盖所述底部孔隙，所述顶部部分包含用于通过所述衬底容器的所述底板中的入口安装的入口喷嘴，所述入口喷嘴具有从所述顶部侧壁向上延伸到喷嘴边缘的基本上管状喷嘴侧壁，所述喷嘴边缘界定用于接达到所述入口喷嘴的内部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：K·格拉万，J·J·金，M·富勒，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国,US