一种硅片插片用硅片缓冲装置制造方法及图纸

技术编号:31128515 阅读:36 留言:0更新日期:2021-12-01 20:19
本实用新型专利技术公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置,属于硅片插片机领域,包括硅片盒,硅片盒上设有放置槽,放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫,通过缓冲垫和压缩弹簧,对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲,同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力,在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨,大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时,冲击力对硅片插片的自身影响,通过第一气缸和第二气缸,对硅片插片进行推送集中,减少硅片盒的空间浪费,同时由于盛物板对硅片插片的推送,在送至尽头后,第一气缸先进行回收,通过圆形推板对硅片插片进行支撑,防止在第一气缸回收时,盛物板带动硅片插片一起向回收方向运动,导致硅片插片侧翻。导致硅片插片侧翻。导致硅片插片侧翻。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片插片用硅片缓冲装置


[0001]本技术涉及硅片插片机领域,更具体地说,涉及一种硅片插片用硅片缓冲装置。

技术介绍

[0002]硅片由分片机分片之后再由插片机插入放置槽中,在以前的插片过程中,没有硅片缓冲装置,使得硅片插入放置槽时容易和放置槽的内壁碰触,造成崩片、划片等情况,给硅片造成不可恢复的损害,大大降低了硅片的合格率,造成时间和财产的损失,而且放置进放置槽内后,由于放置分散,没有集中手段,导致浪费放置槽大部分空间。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中存在的问题,本技术的目的在于提供一种硅片插片用硅片缓冲装置,通过缓冲垫和压缩弹簧,对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲,同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力,在压缩弹簧反复形变过程中通过空气阻力进行消磨,大大降低硅片插片掉落放置在放置槽时,冲击力对硅片插片的自身影响,通过盛物板,在对硅片插片进行推送时,避免硅片插片接触缓冲垫并与缓冲垫产生摩擦,导致硅片插片受到摩擦产生损坏,通过第一气缸和第二气缸,对硅片插片进行推送集中,减少硅片盒的空间浪费,同时由于盛物板对硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片插片用硅片缓冲装置,包括硅片盒(1),其特征在于:所述硅片盒(1)上设有放置槽(2),所述放置槽(2)的底部通过压缩弹簧(4)安装有缓冲垫(3),所述硅片盒(1)的左侧固定安装有气缸箱(5),所述气缸箱(5)的内部下端固定安装有第一气缸(6),所述第一气缸(6)的右侧安装有第一活塞杆(7),所述第一活塞杆(7)的右侧固定安装有直板(8),所述直板(8)的底部固定安装有环形推板(9),所述直板(8)和环形推板(9)的底部固定安装有盛物板(10),所述气缸箱(5)的内部上端固定安装有第二气缸(12),所述第二气缸(12)的右侧安装有第二活塞杆(13),所述第二活塞杆(13)的右侧固定安装有圆形推板(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶挺宁
申请(专利权)人:中赣新能源股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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