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一种硅片插片用硅片缓冲装置制造方法及图纸
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下载一种硅片插片用硅片缓冲装置的技术资料
文档序号:31128515
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本实用新型公开了一种硅片插片用硅片缓冲装置,属于硅片插片机领域,包括硅片盒,硅片盒上设有放置槽,放置槽的底部通过压缩弹簧安装有缓冲垫,通过缓冲垫和压缩弹簧,对放置进放置槽内的硅片插片进行缓冲,同时将重力下落的冲击力转化为压缩弹簧的弹性形变力...
该专利属于中赣新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中赣新能源股份有限公司授权不得商用。
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