压电元件以及其制造方法、压电驱动器技术

本压电元件具有基板、形成于上述基板上的下部电极、形成于上述下部电极上的压电膜以及形成于上述压电膜上的上部电极，上述上部电极形成在实施了平坦化处理的面。

Piezoelectric element and its manufacturing method, piezoelectric actuator

The piezoelectric element has a substrate, a lower electrode formed on the above substrate, a piezoelectric film formed on the lower electrode, and an upper electrode formed on the piezoelectric film. The above above electrode is formed to carry out the planarization processing surface.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电元件以及其制造方法、压电驱动器
本专利技术涉及压电元件以及其制造方法、压电驱动器。
技术介绍
一直以来，已知有利用了若对压电膜施加电压则变形的现象的压电元件。压电元件例如具备压电膜和以夹着压电膜的方式设置的一对电极，通过对一对电极施加驱动电压，从而使压电膜位移。关于这样的压电元件，一直在试验制作压电性良好的压电膜的方法(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2003－273694号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在压电元件中，制作压电性良好的压电膜是很重要的，但是确保充分的绝缘耐压也很重要。但是，上述的文献未提及绝缘耐压。本专利技术鉴于上述的点而做成，以提供能够提高绝缘耐压的压电元件为课题。用于解决课题的方案本压电元件的宗旨为，具有基板(31)、形成于上述基板(31)上的下部电极(32)、形成于上述下部电极(32)上的压电膜(33)以及形成于上述压电膜(33)上的上部电极(34)，上述上部电极(34)形成在实施了平坦化处理的面。此外，上述括号内的参照符号是为了容易进行理解而添加的，只是一例，并非限定于图示的方案。专利技术的效果根据公开的技术，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件，其特征在于，具有：基板；形成于上述基板上的下部电极；形成于上述下部电极上的压电膜；以及形成于上述压电膜上的上部电极，上述上部电极形成在实施了平坦化处理的面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.24 JP 2015-1865651.一种压电元件，其特征在于，具有：基板；形成于上述基板上的下部电极；形成于上述下部电极上的压电膜；以及形成于上述压电膜上的上部电极，上述上部电极形成在实施了平坦化处理的面。2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，实施了上述平坦化处理的面是上述压电膜的上表面。3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于，实施了上述平坦化处理的面是形成了保护膜而得到的面，上述保护膜形成于上述压电膜与上述上部电极之间。4.一种压电驱动器，其特征在于，具备权利要求1所述的压电元件。5.一种压电元件的制造方法，其特征在于，具备：在基板上形成下部电极的工序；在上述下部电极上形成压电膜的工序；对上述压电膜实施平坦化处理的工序...

【专利技术属性】
技术研发人员：秋山典之，中村明，
申请(专利权)人：三美电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP