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本压电元件具有基板、形成于上述基板上的下部电极、形成于上述下部电极上的压电膜以及形成于上述压电膜上的上部电极，上述上部电极形成在实施了平坦化处理的面。...
该专利属于三美电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三美电机株式会社授权不得商用。

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