振动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术所涉及的振动装置具备压电元件、振动体。压电元件具有压电素体、一对第一电极。压电素体具有互相相对的第一主面以及第二主面。一对第一电极被配置于第一主面上。振动体具有金属板、绝缘层、一对第二电极。金属板具有互相相对的第三主面以及第四主面。绝缘层被配置于第三主面上。一对第二电极被配置于绝缘层上。压电元件和振动体以第一主面和第三主面经由绝缘层相对的形式被配置。一对第二电极物理性地接触于所对应的第一电极。一对第二电极从与第三主面正交的方向看从压电元件露出，并且与绝缘层的全部的边缘分离。根据本实用新型专利技术的振动装置，能够谋求到位移量的提高。

【技术实现步骤摘要】
振动装置
本技术涉及振动装置。
技术介绍
日本特开平04-70100号公报公开了具备压电元件和振动体的振动装置。压电元件具有压电素体、一对第一电极。压电素体具有互相相对的第一主面以及第二主面。一对第一电极被配置于第一主面上。振动体具有互相相对的第三主面以及第四主面并且具有一对第二电极。一对第二电极与所对应的第一电极相电连接。压电元件和振动体以第一主面与第三主面相对的形式被配置。第二电极从与第三主面正交的方向看，从压电元件露出。就上述专利公报所记载的振动装置而言，振动体具有玻璃板，一对第二电极被配置于玻璃板上。
技术实现思路
就上述专利公报所记载的振动装置而言，振动体具有玻璃板。其结果振动体的Q值以及强度比较低且不能够指望在振动装置上的位移量会有所提高。本技术的目的就在于提供一种能够谋求到位移量提高的振动装置。本技术的一个形态所涉及的振动装置具备压电元件、振动体。压电元件具有压电素体、一对第一电极。压电素体具有互相相对的第一主面以及第二主面。一对第一电极被配置于第一主面上。振动体具有金属板、绝缘层、一对第二电极。金属板具有互相相对的第三主面以及第四主面。绝缘层被配置于第三主面上。一对第二电极被配置于绝缘层上。压电元件和振动体以第一主面和第三主面经由绝缘层相对的形式被配置。一对第二电极物理性地接触于所对应的第一电极。一对第二电极从与第三主面正交的方向看是从压电元件露出，并且与绝缘层的全部的边缘分离。就上述一个形态而言，振动体具有金属板。金属板与玻璃板相比相对具有较高的Q值以及强度。该结果就会使得振动装置的位移量有所提高。就上述一个形态而言，因为第二电极被配置于绝缘层上，所以第二电极和金属板被电绝缘。第二电极因为从与第三主面正交的方向看从绝缘层的全部的边缘分离，所以第二电极切实地与金属板相电绝缘。因此，即使是在振动体不具有玻璃板而具有金属板的情况下，金属板与第二电极的电绝缘被确保。以上所述的一个形态所涉及的电子元件也可以进一步具备接合压电元件和振动体的粘结部件。一对第一电极也可以具有物理性地接触于所对应的第二电极的多个突部。在此情况下，也可以为粘结部件被设置于多个突部之间并且接合互相对应的第一电极和第二电极。就本方式而言第一电极和第二电极是由被设置于多个突部之间的粘结部件来进行接合。因此，振动体与压电元件的接合强度被确保了。就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，一对第一电极从与第一主面正交的方向看也可以与第一主面的全部的边缘分离。在此情况下，就能够抑制第一电极接触于振动装置以外的设备所具备的导体。就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，压电元件也可以进一步具有被配置于第二主面上的第三电极。第三电极从与第二主面正交的方向看也可以与第二主面的全部的边缘分离。在此情况下，就能够抑制第三电极接触于振动装置以外的设备所具备的导体。就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，压电素体也可以进一步具有连结第一主面和第二主面的侧面。第二主面全体以及侧面全体也可以露出。在此情况下，就压电素体而言电极不露出于与振动体(第三主面)相对的第一主面以外的表面。因此，能够抑制压电元件所具有的电极接触于振动装置以外的设备所具备的导体。就以上所述的一个形态所涉及的振动装置而言，压电元件还可以进一步具有被配置于压电素体内的多个内部电极和导体。多个内部电极也可以互相相对。导体也可以电连接互相对应的内部电极和第一电极。在此情况下，就没有必要将电连接互相对应的内部电极和第一电极的导体配置于压电元件的表面。因此，就能够抑制压电元件所具有的电极(导体)电接触于振动装置以外的设备所具备的导体。本技术通过以下给出的详细说明和参照附图将会变得更加清楚，但是，这些说明和附图仅仅是为了说明本技术而举出的例子，不能被认为是对本技术的限定。以下给出的详细说明将会更加清楚地表述本技术的应用范围。但是，这些详细说明和特殊实例、以及优选实施方案，只是为了举例说明而举出的，本领域的技术人员显然能够理解本技术的各种变化和修改都在本技术的宗旨和范围内。附图说明图1是表示一个实施方式所涉及的振动装置的概略立体图。图2是压电元件的平面图。图3是压电元件的平面图。图4是振动体的平面图。图5是表示压电元件的截面结构的示意图。图6是表示压电元件和振动体被接合的形态的示意图。图7是表示本实施方式的变形例所涉及的振动装置的截面结构的示意图。图8是表示本实施方式的变形例所涉及的振动装置的截面结构的示意图。图9是表示本实施方式的变形例所涉及的振动装置的截面结构的示意图。图10是表示本实施方式的更进一步的变形例所涉及的振动装置的平面图。图11是表示本实施方式的更进一步的变形例所涉及的振动装置的平面图。具体实施方式以下是参照幅图并就本技术的实施方式进行详细说明。还有，在说明过程中将相同符号标注于相同要素或者具有相同功能的的要素，并省略重复的说明。首先，参照图1～图5来说明本实施方式所涉及的振动装置的结构。图1是表示本实施方式所涉及的振动装置的概略斜视图。图2以及图3是压电元件的平面图。图4是振动体的平面图。图5是表示压电元件的截面结构的示意图。振动装置1如图1所示具备压电元件10、振动体20、粘结部件30。粘结部件30接合压电元件10和振动体20。压电元件10具有压电素体11、一对第一电极12,13、多个内部电极17a,17b,18a,18b、多个垫(pad)导体7a,7b,8a,8b、第三电极14、通孔导体19。压电素体11具有多个压电体层。压电元件10具有层叠结构。多个内部电极17a,17b,18a,18b和多个压电体层被交替配置。压电素体11呈长方体形状。压电素体11具有互相相对的第一主面11a以及第二主面11b、四个侧面11c。第一主面11a呈矩形状，并具有四个边缘15a,15b,15c,15d。第二主面11b呈矩形状，并具有四个边缘16a,16b,16c,16d。各个侧面11c以连结第一主面11a和第二主面11b的形式在第一主面11a与第二主面11b相对的方向上延伸。长方体形状也包含角和棱被倒角的长方体形状、角以及棱被弄圆的长方体形状。压电素体11的形状并不限定于长方体形状。例如也可以是圆盘形状。第一主面11a与第二主面11b相对的第一方向D1为压电素体11的厚度方向。一对侧面11c相对的第二方向D2为压电素体11的长边方向。另一对侧面11c相对的第三方向D3为压电素体11的宽度方向。在压电素体11的第二方向D2上的长度例如是50mm。在压电素体11的第三方向D上的长度例如是50mm。压电素体11的在第一方向D1上的长度(压电素体11的厚度)例如是0.1mm。在本实施方式中，第一方向D1和第二方向D2以及第三方向D3互相正交。就压电素体11而言是以在第一方向D1上层叠多层压电体层的形式被构成。在本实施方式中，多层压电体层被层叠的方向与第一主面11a和第二主面11b相对的方向(第一方向D1)相一致。压电素体11是由压电陶瓷材料构成。压电陶瓷材料例如包含PZT[Pb(Zr、Ti)O3]、PT(PbTiO3)、PLZT[(Pb,La)(Zr、Ti)O3]或者钛酸钡(BaTiO3)等。各个压电体层例如是由含有以上所述的压电陶瓷材料的陶瓷坯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动装置，其特征在于：具备：压电元件，具有：具有互相相对的第一主面以及第二主面的压电素体、配置于所述第一主面上的一对第一电极；以及振动体，具有：具有互相相对的第三主面以及第四主面的金属板、配置于所述第三主面上的绝缘层、配置于所述绝缘层上的一对第二电极，所述压电元件和所述振动体以所述第一主面和所述第三主面经由所述绝缘层相对的形式被配置，所述一对第二电极物理性地接触于所对应的所述第一电极，并从与所述第三主面正交的方向看从所述压电元件露出，并且与所述绝缘层的全部的边缘分离。

【技术特征摘要】
2016.09.01 JP 2016-170866;2017.02.13 JP 2017-024421.一种振动装置，其特征在于：具备：压电元件，具有：具有互相相对的第一主面以及第二主面的压电素体、配置于所述第一主面上的一对第一电极；以及振动体，具有：具有互相相对的第三主面以及第四主面的金属板、配置于所述第三主面上的绝缘层、配置于所述绝缘层上的一对第二电极，所述压电元件和所述振动体以所述第一主面和所述第三主面经由所述绝缘层相对的形式被配置，所述一对第二电极物理性地接触于所对应的所述第一电极，并从与所述第三主面正交的方向看从所述压电元件露出，并且与所述绝缘层的全部的边缘分离。2.如权利要求1所述的振动装置，其特征在于：进一步具备接合所述压电元件和所述振动体的粘结部件，所述一对第一电极具有物理性地接触于所对应的所述第二电极的多个突部，所述粘结部件被设置于所述多个突部之间并接合互相对应的所述第一电极和所述第二电极。3.如权利要求1所述的振动装置，其特征在于：所述一对第一电极从与所述第一主面正交的方向看与所述第一主面的全部的边缘分离。4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：木嶋薰，立本一志，泷辰哉，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP