感光性树脂组成物及含其的干膜光阻制造技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组成物，包含(a)不饱和单羧酸、(b)羟基氨基甲酸酯及(c)光起始剂；其可作为光阻涂料用于干膜光阻，以制造印刷电路板等电子元件。其中，该(b)羟基氨基甲酸酯具有[CC]/[NH2]为0.5至0.9特性，可提升该感光性树脂组成物用于光阻干膜的解析度、密着性，以及剥膜能力，以改善干膜光阻用在制造印刷电路及其他电子元件的制程效率和品质。

Photosensitive resin composition and the optical resistance of dry film containing it

The invention provides a photosensitive resin composition containing (a) unsaturated monocarboxylic acid, (b) hydroxyl carbamate and (c) light initiator; it can be used as an optical resistance coating for dry film photoresist to make electronic components, such as printed circuit board. Among them, the (b) hydroxyl carbamate has the characteristics of [CC]/[NH2] 0.5 to 0.9, which can improve the resolution, tightness and stripping capacity of the photosensitive resin composition for the photoresist dry film, so as to improve the process efficiency and quality of the dry film photoresist in the manufacture of printed circuit and other electronic components.

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组成物及含其的干膜光阻
本专利技术关于一种感光性树脂组成物，其可作为光阻涂料，用于干膜光阻的感光阻剂层。
技术介绍
干膜光阻可用于制备印刷电路板、引线框、电浆显示板或其他显示器的ITO电极或黑色矩阵等。比起湿膜光阻，干膜光阻具有制程时间快速、表面均匀性佳，以及膜厚薄等优点，且较利于使用在有孔的电路板。干膜光阻制备方法是将干膜光阻剂涂布到载体薄膜之上，待涂布层干燥后，再以另一层薄膜，例如聚乙烯薄膜，覆盖在该涂布层上，而形成光阻干膜。将干膜光阻用于制造印刷电路板时，会经过刷膜、压膜、曝光、显影、蚀刻，以及剥膜等步骤。惟，干膜光阻的特性会影响到曝光及显影的效果，一般而言，当干膜光阻的厚度越薄时，解析度及蚀刻均匀性愈佳；而干膜光阻的表面若太过粗糙时，则共形性(conformability)会降低，造成与其他基板之间的密着性不佳。在现今电子用品发展越来越精致化的时代，体积小的印刷电路板上，其电路的复杂度也随着提高。因此，如何能有效地将干膜光阻密着在基板，且快速剥膜无残留，以及在蚀刻时具有良好的解析度，将对其图像再现性及解析度有很大的影响。本专利技术人发现，现今虽已有使用氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物的组成物、或含有含羧基的氨基甲酸乙酯(甲基)丙烯酸酯化合物的组成物作为干膜光阻的感光性树脂组成物。然而，使用该感光性树脂组成物作为干膜光阻时，于剥膜步骤会产生出残留干膜的问题，例如有孔洞的基板，其孔洞周围会有未剥离的干膜毛边，因此剥膜的速度必须得放慢，而降低了制程效率，又因为干膜的残存，进而影响显影时的解析度。亦即，氨基甲酸酯类感光性树脂组成物的干膜光阻，往往会有剥膜，以及解析度不佳的问题。
技术实现思路
鉴于上述的问题，本专利技术提供一种感光性树脂组成物，其具有高解析度、高密着性及良好的剥离能力，在作为干膜光阻时，不会影响到制程速度，并提升其制造良率，可有效应用在印刷电路板等各种电子产品领域。即，本专利技术为一种感光性树脂组成物，包含(a)不饱和单羧酸、(b)羟基氨基甲酸酯及(c)光起始剂。于较佳实施例中，该(b)羟基氨基甲酸酯为含不饱和双键羟基氨基甲酸酯聚醚化合物，并具有如下式(I)：其中，n为0～10的整数；R1为如下式(II)～(IV)的混合：R4为C4-C12的烷基、烯基、炔基、环烷基、聚醚基团或下列式(V)：其中，m为0～5的整数，且R5为下列结构式：R2为C4-C12烷基、环烷基、芳香基、聚醚基团、烯胺基；R3-1～4彼此独立相同或不同，为氢、C4-C12烷基、烯基、环烷基、芳香基、聚醚基团，其中至少含一(甲基)丙烯酸酯基的含不饱和双键基团。于较佳实施例中，该(b)羟基氨基甲酸酯具有[CC]/[NH2]介于0.5～0.9。于较佳实施例中，该(b)羟基氨基甲酸酯具有[CC]/[NH2]介于0.5～0.75。于较佳实施例中，该(b)羟基氨基甲酸酯具有[EPOXY]/[AHEW]介于0.35～1。于较佳实施例中，该感光性树脂组成物进一步包含一溶剂。于较佳实施例中，该溶剂为一或多种选自由醇类、醚类及酮类所组成的群组。于较佳实施例中，相对于100质量分该(a)不饱和单羧酸，该(b)羟基氨基甲酸酯为5～50质量分。于较佳实施例中，该感光性树脂组成物用于作为光阻涂料。本专利技术的另一目的在于提供一种干膜光阻，包含盖膜层、如上述任一项的感光性树脂组成物所形成的感光阻剂层，以及隔膜层。本专利技术的另一目的在于提供一种羟基氨基甲酸酯聚醚化合物，具有如下式(I)的结构：其中，n为0～10的整数；R1为如下式(II)～(IV)的混合：R4为C4-C12的烷基、烯基、炔基、环烷基、聚醚基团或下列式(V)：其中，m为0～5的整数，且R5为下列结构式：R2为C4-C12烷基、环烷基、芳香基、聚醚基团、烯胺基；R3-1～4彼此独立相同或不同，为氢、C4-C12烷基、烯基、环烷基、芳香基、聚醚基团，其中至少含一(甲基)丙烯酸酯基的含不饱和双键基团。具体实施方式本专利技术提供一种感光性树脂组成物，包含(a)不饱和单羧酸、(b)羟基氨基甲酸酯及(c)光起始剂。上述的(a)不饱和单羧酸包含分子结构中具有烯基不饱和键及羧基的不饱和单羧酸化合物，例如(甲基)丙烯酸、丁烯酸、4-戊烯酸、5-己烯酸、己二烯酸、6-庚烯酸、α-溴(甲基)丙烯酸、α-溴(甲基)丙烯酸、β-呋喃(甲基)丙烯酸、β-苯乙烯(甲基)丙烯酸、马来酸、富马酸、肉桂酸、α-氰基-肉桂酸、衣康酸、巴豆酸等，其中较佳的实施例为(甲基)丙烯酸。上述的(b)羟基氨基甲酸酯为含不饱和双键羟基氨基甲酸酯化合物，并具有如下式(I)：其中，n为0～10的整数；R1为如下式(II)～(IV)的混合：(IV)；R4为C4-C12的烷基、烯基、炔基、环烷基、聚醚基团或下列式(V)：其中，m为0～5的整数，且R5为下列结构式：R2为C4-C12烷基、环烷基、芳香基、聚醚基团、烯胺基；R3-1～4彼此独立相同或不同，为氢、C4-C12烷基、烯基、环烷基、芳香基、聚醚基团，其中至少含一(甲基)丙烯酸酯基的含不饱和双键基团。上述R4及R2的C4-C12烷基包含直链或支链烷基，例如正丁基、异丁基、叔丁基、戊基、异戊基等。上述R4的烯基包含有取代或无取代的烯基，例如乙烯基、1-丙烯基、2-丙烯基或具有取代基的烯基，例如1-甲基乙烯基、1-丁烯基、2-丁烯基、3-丁烯基、1-甲基-1-丙烯基、2-甲基-1-丙烯基、1-甲基-2-丙烯基、2-甲基-2-丙烯基、1-戊烯基、2-戊烯基、3-戊烯基、4-戊烯基、1-甲基-1-丁烯基、2-甲基-1-丁烯基、3-甲基-1-丁烯基、1-甲基-2-丁烯基、2-甲基-2-丁烯基、3-甲基-2-丁烯基、1-甲基-3-丁烯基、2-甲基-3-丁烯基、3-甲基-3-丁烯基、1,1-二甲基-2-丙烯基、1,2-二甲基丙烯基、1-乙基-1-丙烯基、1-乙基-2-丙烯基，1-己烯基、2-己烯基、3-己烯基、4-己烯基、5-己烯基等。上述R4的炔基包含有取代或无取代的炔基，例如乙炔基，1-丙炔基、2-丙炔基、1-丁炔基、3-丁炔基、1-甲基-2-丙炔基、1-戊炔基、2-戊炔基、3-戊炔基、1-甲基-2-丁炔基、1-甲基-3-丁炔基、2-甲基-3-丁炔基、3-甲基-1-丁炔基、1,1-二甲基-2-丙炔基、1-乙基-2-丙炔基、1-己炔基、2-己炔基、3-己炔基、4-己炔基或5-己炔基等。上述R4及R2的环烷基包含有取代或无取代的环烷基，包含环戊基、环己基、环庚基或环辛基等。上述R2的芳香基包含有取代或无取代的芳香基，例如苯基、1-萘基、2-萘基或具有取代基的芳香基，例如2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、2-乙基苯基、3-乙基苯基、4-乙基苯基、芐基、1-苯基乙基、2-苯基乙基、3-苯基丙基、1-苯基丁基、2-苯基丁基、3-苯基丁基或4-苯基丁基等。上述R2的烯胺基可为但不限于二乙基三胺(diethylenetriamine)基团。上述R4及R2的聚醚基团可为-O-(R6-O)m-R7-、-R7-O-(R6-O)m-或-R7-O-(R6-O)m-R7-的聚醚基，其中，R6及R7为相同或不同直链或支链的、饱和或不饱和的、有取代或无取代的脂族二价烃基，m为1以上，具体实例如选自由环氧乙烷、环氧丙烷及环氧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组成物，包含(a)不饱和单羧酸、(b)羟基氨基甲酸酯及(c)光起始剂。

【技术特征摘要】
2016.10.28 TW 1051350941.一种感光性树脂组成物，包含(a)不饱和单羧酸、(b)羟基氨基甲酸酯及(c)光起始剂。2.如权利要求1的感光性树脂组成物，其特征在于，该(b)羟基氨基甲酸酯为含不饱和双键的羟基氨基甲酸酯聚醚化合物，并具有如下式(I)：其中，n为0～10的整数；R1为如下式(II)～(IV)的混合：R4为C4-C12烷基、烯基、炔基、环烷基、聚醚基团或下列式(V)：其中，m为0～5的整数，且R5为下列结构式：R2为C4-C12烷基、环烷基、芳香基、聚醚基团、烯胺基；R3-1～4彼此独立相同或不同，为氢、C4-C12烷基、烯基、环烷基、芳香基、聚醚基团，其中至少含一(甲基)丙烯酸酯基的含不饱和双键基团。3.如权利要求1或2的感光性树脂组成物，其特征在于，该(b)羟基氨基甲酸酯具有[CC]/[NH2]介于0.5～0.9。4.如权利要求3的感光性树脂组成物，其特征在于，该(b)羟基氨基甲酸酯具有[CC]/[NH2]介于0.5～0.75。5.如权利要求1或2的感光性树脂组成物，其特征在于，该(b)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈嘉祈，吴允中，杜安邦，黄坤源，
申请(专利权)人：长春人造树脂厂股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71