感光性组合物及固化膜的形成方法技术

本发明专利技术涉及感光性组合物及固化膜的形成方法。本发明专利技术的课题在于提供感光性组合物中的异物产生被抑制、且能良好地解析微细的图案的感光性组合物、和使用了该感光性组合物的固化膜的形成方法。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、和溶剂(S)的感光性组合物中配合胺(E)，组合使用肟酯化合物(C1)和肟酯化合物以外的化合物(C2)作为光聚合引发剂(C)，并且使感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。

The forming method of photosensitive composition and curing film

The invention relates to a photosensitive composition and a method for forming a cured film. The present invention is to provide a photoreceptor composition for the production of a foreign body in a photosensitive composition, which can be suppressed, and can well analyze a fine pattern, and a method for forming a curing film using the photosensitive composition. In the photosensitive composition containing alkali soluble resin (A), photopolymerization compound (B), photopolymerization initiator (C), and solvent (S), the combination of oxime compound (C1) and oxime compound (C2) is used as a photopolymerization initiator (C), and the amount of chloride ion in the photosensitive composition is 1000 mass PP. M below.

【技术实现步骤摘要】
感光性组合物及固化膜的形成方法
本专利技术涉及感光性组合物及固化膜的形成方法。
技术介绍
液晶显示装置这样的显示装置中，要求绝缘膜这样的材料必须使从背光源这样的光源发出的光高效地透过。因此，为了形成绝缘膜，需求能形成透明性优异的膜的材料。这样的透明绝缘膜通常在基板上被图案化。作为形成已图案化的透明绝缘膜的方法，例如，已知使用了下述负型感光性组合物的方法，所述负型感光性组合物包含具有氧杂环丁烷环的碱溶性树脂、聚合性多官能化合物、和α-氨基烷基苯酮(α-aminoalkylphenone)系的光聚合引发剂(参见专利文献1。)。另外，近年来，随着液晶显示器的生产台数的增多，滤色片(colorfilter)的生产量也相应增多，从更进一步提高生产率的观点考虑，迫切需要能以低曝光量形成图案的高敏感度的感光性组合物。然而，滤色片中包含的各种功能性膜中含有着色剂。感光性组合物中含有着色剂时，若使用专利文献1中记载的α-氨基烷基苯酮系的光聚合引发剂，则存在不易得到足够高的敏感度的问题。在这种情况下，作为高敏感度的感光性组合物，本申请人提出了包含特定结构的肟酯化合物作为光聚合引发剂的感光性组合物(参见专利文献2及3。)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-173678号公报专利文献2：日本特开2012-189996号公报专利文献3：日本特开2012-189997号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，对于包含肟酯化合物作为光聚合引发剂的感光性组合物而言，虽然敏感度良好，但另一方面，存在下述问题：容易在感光性组合物中产生异物，或者，在显影时难以解析微细的图案。本专利技术是鉴于以上的情况而作出的，目的在于提供感光性组合物中的异物产生被抑制、且能良好地解析微细的图案的感光性组合物、和使用了该感光性组合物的固化膜的形成方法。用于解决课题的手段本申请的专利技术人发现，通过在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、和溶剂(S)的感光性组合物中配合胺(E)，组合使用肟酯化合物(C1)和肟酯化合物以外的化合物(C2)作为光聚合引发剂(C)，并且使感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下，由此能解决上述的课题，从而完成了本专利技术。具体而言，本专利技术提供以下方案。本专利技术的第1方式是一种感光性组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、溶剂(S)、和胺(E)，光聚合引发剂(C)包含肟酯化合物(C1)和肟酯化合物以外的化合物(C2)，感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。本专利技术的第2方式是一种固化膜的形成方法，其包括下述工序：将第1方式涉及的感光性组合物涂布于基板上而形成涂布膜的工序；和将涂布膜曝光的工序。专利技术的效果通过本专利技术，可提供感光性组合物中的异物产生被抑制、且能良好地解析微细的图案的感光性组合物、和使用了该感光性组合物的固化膜的形成方法。具体实施方式《感光性组合物》感光性组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、溶剂(S)、和胺(E)。光聚合引发剂(C)包含肟酯化合物(C1)和肟酯化合物以外的化合物(C2)。另外，感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。氯化物离子量可按照以下的方法，利用离子色谱法测定。(离子色谱法测定条件)柱：IonPacAS17-C(ThermoScientificDionex公司制)洗脱液：水与乙腈的混合溶液注入量：1μL以往已知的包含肟酯化合物(C1)的感光性组合物含有主要来自肟酯化合物(C1)的氯化物离子。因此，以往的感光性组合物中的氯化物离子的含量常常较多、即超过1000质量ppm。因此，本申请的专利技术人进行了研究，结果发现，感光性组合物的高氯化物离子量与感光性组合物中的异物的产生有关。另外，仅包含肟酯化合物(C1)作为光聚合引发剂(C)的感光性组合物虽然敏感度良好，但另一方面，在曝光后的显影时，难以解析微细的图案。本申请的专利技术人也对此点进行了研究，结果发现，对于光聚合引发剂(C)，通过将肟酯化合物(C1)与肟酯化合物(C1)以外的化合物并用，由此，使用感光性组合物时能解析微细的图案。如上所述，对于上述的感光性组合物而言，感光性组合物中的异物产生被抑制，并且能良好地解析微细的图案。以下，对感光性组合物中包含的必需成分或任选成分进行说明。＜碱溶性树脂(A)＞碱溶性树脂是指：利用树脂浓度为20质量％的树脂溶液(溶剂：丙二醇单甲基醚乙酸酯)在基板上形成膜厚为1μm的树脂膜、将其在浓度为0.05质量％的KOH水溶液中浸渍1分钟时，膜厚被溶解了0.01μm以上的树脂。作为碱溶性树脂(A)的优选例，可举出具有Cardo结构的树脂(A1)。通过使用含有具有Cardo结构的树脂(A1)作为碱溶性树脂(A)的感光性组合物，容易形成耐热性、机械特性、耐溶剂性、耐化学药品性等优异且均衡性良好的固化膜。作为具有Cardo结构的树脂(A1)，没有特别限制，可使用现有已知的树脂。其中，优选下述式(a-1)表示的树脂。[化学式1]上述式(a-1)中，Xa表示下述式(a-2)表示的基团。[化学式2]上述式(a-2)中，Ra1各自独立地表示氢原子、碳原子数为1以上6以下的烃基、或卤素原子，Ra2各自独立地表示氢原子或甲基，Wa表示单键或下述式(a-3)表示的基团。[化学式3]另外，上述式(a-1)中，Ya表示从二羧酸酐中除去酸酐基(-CO-O-CO-)而得到的残基。作为二羧酸酐的例子，可举出马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢邻苯二甲酸酐、六氢邻苯二甲酸酐、甲基内亚甲基四氢邻苯二甲酸酐、氯菌酸酐(ChlorendicAnhydride)、甲基四氢邻苯二甲酸酐、戊二酸酐等。另外，上述式(a-1)中，Za表示从四羧酸二酐中除去2个酸酐基而得到的残基。作为四羧酸二酐的例子，可举出均苯四甲酸二酐、二苯甲酮四甲酸二酐、联苯四甲酸二酐、二苯基醚四甲酸二酐等。另外，上述式(a-1)中，m表示0以上20以下的整数。具有Cardo结构的树脂(A1)的重均分子量(Mw：利用凝胶渗透色谱法(GPC)按照聚苯乙烯换算得到的测定值。本说明书中相同。)优选为1000以上40000以下，更优选为2000以上30000以下。通过为上述的范围，不仅可得到良好的显影性，而且可得到充分的耐热性、膜强度。从容易形成机械强度、与基板的密合性优异的膜的方面考虑，至少聚合有不饱和羧酸(a1)的共聚物(A2)也可作为碱溶性树脂(A)而合适地使用。作为不饱和羧酸(a1)，可举出(甲基)丙烯酸、巴豆酸等单羧酸；马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等二羧酸；这些二羧酸的酐；等等。这些中，从共聚反应性、得到的树脂的碱溶性、获得容易性等方面考虑，优选为(甲基)丙烯酸及马来酸酐。这些不饱和羧酸(a1)可单独使用或组合2种以上而使用。共聚物(A2)可以是不饱和羧酸(a1)与含有脂环式环氧基的不饱和化合物(a2)的共聚物。作为含有脂环式环氧基的不饱和化合物(a2)，只要是具有脂环式环氧基的不饱和化合物，就没有特别限制。构成脂环式环氧基的脂环式基团可以是单环，也可以是多环。作为单环的脂环式基团，可举出环戊基、环己基等。另外，作为多环的脂环式基团，可举出降冰片基本文档来自技高网...

【技术保护点】
感光性组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、溶剂(S)、和胺(E)，其中，所述光聚合引发剂(C)包含肟酯化合物(C1)、和所述肟酯化合物以外的化合物(C2)，所述感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。

【技术特征摘要】
2016.10.24 JP 2016-2080901.感光性组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)、溶剂(S)、和胺(E)，其中，所述光聚合引发剂(C)包含肟酯化合物(C1)、和所述肟酯化合物以外的化合物(C2)，所述感光性组合物中的氯化物离子量为1000质量ppm以下。2.如权利要求1所述的感光性组合物，所述感光性组合物还包含着色剂(D)。3.如权利要求1或2所述的感光...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口尚人，竹川昌宏，伊藤阳介，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP