The utility model discloses a graphite heat field for N type single crystal growth, including the main body of the graphite heat field, the base of the heat field and the heat preservation tube. The bottom end of the main body of the graphite heat field is installed with a heat field base, and the heat field is installed on both sides of the top of the base of the heat field, and the heater is installed inside the heat preservation barrel. By providing a first graphite heat field, a second graphite heat field and a sliding strip A, the utility model can easily open the main body of the graphite heat field without affecting the connection room, improve the function and convenience of the graphite heat field, and facilitate a more convenient cleaning of the heat field inside the graphite, by setting a fixed buckle A and a fixed buckle B, It is convenient to fix the graphite heat field on the bracket. It is not fixed in the bolt and a series of fixed ways, and it is convenient to disassemble. It improves the function and convenience of the graphite heat field. It is beneficial to the more convenient connection and installation support. It is more practical and suitable for extensive popularization and use.
【技术实现步骤摘要】
一种N型单晶生长用石墨热场
本技术涉及一种石墨热场,特别涉及一种N型单晶生长用石墨热场。
技术介绍
目前在单晶硅的生产当中单晶硅生长炉是必不可少的一样生产工具,在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场,石墨热场一般由保温筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚组成,石墨热场在使用完成后都要清理内部残留的渗硅以及氧化物,但是现有的石墨热场不仅在清理时很不便捷,而且保温性能不是太好,因此,我们提出一种N型单晶生长用石墨热场。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种N型单晶生长用石墨热场,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体、热场底座和保温筒,所述石墨热场主体内部底端安装有热场底座,所述热场底座顶部左右两端均安装有保温筒,所述保温筒内部安装有加热器,所述加热器内部安装有石墨坩埚,所述石墨坩埚内部安装有石英坩埚,所述石英坩埚底部安装有坩埚轴,所述石英坩埚内部安装有单晶棒,所述单晶棒顶部连接有籽晶,所述籽晶外侧安装有连接室。进一步的,所述连接室底部设有环形滑槽。进一步的,所述石墨热场主体分为第一石墨热场和第二石墨热场。进一步的,所述第一石墨热场顶部连接有滑动条A,所述第二石墨热场顶部连接有滑动条B。进一步的,所述石墨热场主体左右两侧分别安装有固定扣A和固定扣B。进一步的,所述石墨坩埚表面、石英坩埚表面、保温筒表面和加热器表面均涂有保温涂层。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:通过设有第一石墨热场、第二石墨热场和滑动条A,可以在不影响连接室的前提下便捷的打开石墨热场主体,提高了石墨热场的功能性和便捷性,有利 ...
【技术保护点】
一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体(1)、热场底座(2)和保温筒(3),其特征在于:所述石墨热场主体(1)内部底端安装有热场底座(2),所述热场底座(2)顶部左右两端均安装有保温筒(3),所述保温筒(3)内部安装有加热器(4),所述加热器(4)内部安装有石墨坩埚(5),所述石墨坩埚(5)内部安装有石英坩埚(6),所述石英坩埚(6)底部安装有坩埚轴(7),所述石英坩埚(6)内部安装有单晶棒(8),所述单晶棒(8)顶部连接有籽晶(9),所述籽晶(9)外侧安装有连接室(10)。
【技术特征摘要】
1.一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体(1)、热场底座(2)和保温筒(3),其特征在于:所述石墨热场主体(1)内部底端安装有热场底座(2),所述热场底座(2)顶部左右两端均安装有保温筒(3),所述保温筒(3)内部安装有加热器(4),所述加热器(4)内部安装有石墨坩埚(5),所述石墨坩埚(5)内部安装有石英坩埚(6),所述石英坩埚(6)底部安装有坩埚轴(7),所述石英坩埚(6)内部安装有单晶棒(8),所述单晶棒(8)顶部连接有籽晶(9),所述籽晶(9)外侧安装有连接室(10)。2.根据权利要求1所述的N型单晶生长用石墨热场,其特征在于:所述连接室(10)底部设有环形滑槽(...
【专利技术属性】
技术研发人员:张忠安,张忠华,凌继贝,
申请(专利权)人:江西豪安能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江西,36
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