一种N型单晶生长用石墨热场制造技术

技术编号:17936213 阅读:122 留言:0更新日期:2018-05-15 17:33
本实用新型专利技术公开了一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体、热场底座和保温筒,所述石墨热场主体内部底端安装有热场底座,所述热场底座顶部左右两端均安装有保温筒,所述保温筒内部安装有加热器。本实用新型专利技术通过设有第一石墨热场、第二石墨热场和滑动条A,可以在不影响连接室的前提下便捷的打开石墨热场主体,提高了石墨热场的功能性和便捷性,有利于更为便捷的清理石墨热场内部,通过设有固定扣A和固定扣B,可以让石墨热场便捷的固定在支架上,不用在螺栓以及一系列固定方式进行固定,而且方便拆卸,提高了石墨热场的功能性和便捷性,有利于更为便捷的连接安装支架,较为实用,适合广泛推广与使用。

A graphite heat field for the growth of N type single crystal

The utility model discloses a graphite heat field for N type single crystal growth, including the main body of the graphite heat field, the base of the heat field and the heat preservation tube. The bottom end of the main body of the graphite heat field is installed with a heat field base, and the heat field is installed on both sides of the top of the base of the heat field, and the heater is installed inside the heat preservation barrel. By providing a first graphite heat field, a second graphite heat field and a sliding strip A, the utility model can easily open the main body of the graphite heat field without affecting the connection room, improve the function and convenience of the graphite heat field, and facilitate a more convenient cleaning of the heat field inside the graphite, by setting a fixed buckle A and a fixed buckle B, It is convenient to fix the graphite heat field on the bracket. It is not fixed in the bolt and a series of fixed ways, and it is convenient to disassemble. It improves the function and convenience of the graphite heat field. It is beneficial to the more convenient connection and installation support. It is more practical and suitable for extensive popularization and use.

【技术实现步骤摘要】
一种N型单晶生长用石墨热场
本技术涉及一种石墨热场,特别涉及一种N型单晶生长用石墨热场。
技术介绍
目前在单晶硅的生产当中单晶硅生长炉是必不可少的一样生产工具,在单晶硅生长炉中主要设备为石墨热场,石墨热场一般由保温筒、加热器、石墨坩埚和石英坩埚组成,石墨热场在使用完成后都要清理内部残留的渗硅以及氧化物,但是现有的石墨热场不仅在清理时很不便捷,而且保温性能不是太好,因此,我们提出一种N型单晶生长用石墨热场。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种N型单晶生长用石墨热场,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体、热场底座和保温筒,所述石墨热场主体内部底端安装有热场底座,所述热场底座顶部左右两端均安装有保温筒,所述保温筒内部安装有加热器,所述加热器内部安装有石墨坩埚,所述石墨坩埚内部安装有石英坩埚,所述石英坩埚底部安装有坩埚轴,所述石英坩埚内部安装有单晶棒,所述单晶棒顶部连接有籽晶,所述籽晶外侧安装有连接室。进一步的,所述连接室底部设有环形滑槽。进一步的,所述石墨热场主体分为第一石墨热场和第二石墨热场。进一步的,所述第一石墨热场顶部连接有滑动条A,所述第二石墨热场顶部连接有滑动条B。进一步的,所述石墨热场主体左右两侧分别安装有固定扣A和固定扣B。进一步的,所述石墨坩埚表面、石英坩埚表面、保温筒表面和加热器表面均涂有保温涂层。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:通过设有第一石墨热场、第二石墨热场和滑动条A,可以在不影响连接室的前提下便捷的打开石墨热场主体,提高了石墨热场的功能性和便捷性,有利于更为便捷的清理石墨热场内部,通过设有固定扣A和固定扣B,可以让石墨热场便捷的固定在支架上,不用在螺栓以及一系列固定方式进行固定,而且方便拆卸,提高了石墨热场的功能性和便捷性,有利于更为便捷的连接安装支架,通过设有保温涂层,可以增加石墨热场内部的保温性能,提高了石墨热场的功能性和实用性,有利于增加石墨热场整体的保温能力。附图说明图1为本技术N型单晶生长用石墨热场的整体结构示意图;图2为本技术N型单晶生长用石墨热场的主体结构示意图;图3为本技术N型单晶生长用石墨热场的连接室结构示意图。图中:1、石墨热场主体;2、热场底座;3、保温筒;4、加热器;5、石墨坩埚;6、石英坩埚;7、坩埚轴;8、单晶棒;9、籽晶;10、连接室;11、固定扣A;12、固定扣B;13、滑槽;14、第一石墨热场;15、第二石墨热场;16、滑动条A;17、滑动条B。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本技术。如图1-3所示,一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体1、热场底座2和保温筒3,所述石墨热场主体1内部底端安装有热场底座2,所述热场底座2顶部左右两端均安装有保温筒3,所述保温筒3内部安装有加热器4,所述加热器4内部安装有石墨坩埚5,所述石墨坩埚5内部安装有石英坩埚6,所述石英坩埚6底部安装有坩埚轴7,所述石英坩埚6内部安装有单晶棒8,所述单晶棒8顶部连接有籽晶9,所述籽晶9外侧安装有连接室10。其中,所述连接室10底部设有环形滑槽13。其中,所述石墨热场主体1分为第一石墨热场14和第二石墨热场15。其中,所述第一石墨热场14顶部和第二石墨热场15顶部分别连接有滑动条A16和滑动条B17。其中,所述石墨热场主体1左右两侧分别安装有固定扣A11和固定扣B12。其中,所述石墨坩埚5表面、石英坩埚6表面、保温筒3表面和加热器4表面均涂有保温涂层。工作原理:通过设有石墨热场主体1、热场底座2和保温筒3,在想清理石墨热场主体1时,先用手握住第一石墨热场14和第二石墨热场15,接着同时向后侧用力让第一石墨热场14后侧进入第二石墨热场15后侧内,由于在连接室底部设有环形的滑槽13,以及在第一石墨热场14顶部和第二石墨热场15顶部连接有滑动条A16和滑动条B17,所以在移动时不会影响到连接室10,在石墨热场主体1左右两端分别安装有固定扣A11和固定扣B12,可以在石墨热场主体1连接支架时,通过固定扣A11和固定扣B12固定石墨热场主体1,而且便于拆装,在石墨坩埚5表面、石英坩埚6表面、保温筒3表面和加热器4表面均涂有保温涂层,保温涂层可以进一步的提高石墨热场主体1内的保温性能。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解,本技术不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理,在不脱离本技术精神和范围的前提下,本技术还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。本文档来自技高网...
一种N型单晶生长用石墨热场

【技术保护点】
一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体(1)、热场底座(2)和保温筒(3),其特征在于:所述石墨热场主体(1)内部底端安装有热场底座(2),所述热场底座(2)顶部左右两端均安装有保温筒(3),所述保温筒(3)内部安装有加热器(4),所述加热器(4)内部安装有石墨坩埚(5),所述石墨坩埚(5)内部安装有石英坩埚(6),所述石英坩埚(6)底部安装有坩埚轴(7),所述石英坩埚(6)内部安装有单晶棒(8),所述单晶棒(8)顶部连接有籽晶(9),所述籽晶(9)外侧安装有连接室(10)。

【技术特征摘要】
1.一种N型单晶生长用石墨热场,包括石墨热场主体(1)、热场底座(2)和保温筒(3),其特征在于:所述石墨热场主体(1)内部底端安装有热场底座(2),所述热场底座(2)顶部左右两端均安装有保温筒(3),所述保温筒(3)内部安装有加热器(4),所述加热器(4)内部安装有石墨坩埚(5),所述石墨坩埚(5)内部安装有石英坩埚(6),所述石英坩埚(6)底部安装有坩埚轴(7),所述石英坩埚(6)内部安装有单晶棒(8),所述单晶棒(8)顶部连接有籽晶(9),所述籽晶(9)外侧安装有连接室(10)。2.根据权利要求1所述的N型单晶生长用石墨热场,其特征在于:所述连接室(10)底部设有环形滑槽(...

【专利技术属性】
技术研发人员:张忠安张忠华凌继贝
申请(专利权)人:江西豪安能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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