硅片制绒槽制造技术

技术编号:17871228 阅读:202 留言:0更新日期:2018-05-05 18:39
本发明专利技术公开了一种能够保证槽体内溶液温度,便于制绒温度控制的硅片制绒槽。该硅片制绒槽,包括槽体、加热控制器;所述槽体的一端设置有入水槽,另一端设置有出水槽;所述入水槽一端通过第一匀流板与槽体连通,另一端的上方设置有入水箱;所述入水槽内由一端向另一端依次设置有横向加热电阻、竖向加热电阻以及搅拌装置;所述横向加热电阻位于入水箱的下方;且在竖直方向上均匀分布;所述竖向加热电阻沿水平方向上均匀分布;所述出水槽的一端通过第二匀流板与槽体连通,另一端设置有出水口;所述槽体的底部设置有保温加热电阻,所述槽体内设置有温度传感器。采用该硅片制绒槽,温度控精度高,整个工艺槽内化学反应稳定,可控,便于工艺调整。

Silicon cashmere trough

The invention discloses a silicon wafer making trough capable of ensuring the temperature of the solution in the tank body and easy to control the temperature of the production. The cashmere trough is composed of a tank and a heating controller. One end of the tank is provided with an water sink and the other end is provided with an outlet. One end of the water sink is connected with the tank through a first homogenizing plate, and a water tank is arranged above the other end; and a transverse heating resistance is arranged from one end to the other end from one end to the other end. A vertical heating resistor and a stirring device; the horizontal heating resistance is located below the water tank and is evenly distributed in the vertical direction; the vertical heating resistance is evenly distributed along the horizontal direction; one end of the outlet is connected to the tank through a second uniform flow plate, and the other end is set with a water outlet; the bottom of the tank is at the bottom of the tank. A heat insulation resistance is arranged in the part, and a temperature sensor is arranged in the groove body. Using the silicon wafer to make the flask, the temperature control precision is high, the chemical reaction in the whole process tank is stable, controllable, and convenient for process adjustment.

【技术实现步骤摘要】
硅片制绒槽
本专利技术涉及硅片的制绒,尤其是一种硅片制绒槽。
技术介绍
众所周知的:硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗,清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物,并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构,且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。制绒是制造晶硅电池的第一道工艺,又称“表面织构化”。有效的绒面结构使得入射光在硅片表面多次反射和折射,增加了光的吸收,降低了反射率,有助于提高电池的性能。考虑到制绒工艺段对整个生产线的重要作用,针对影响制绒反应的因素,对设备工艺段的设计进行更加精细的调整:制绒作为化学反应,首先应考虑反应的条件,即化学液的温度及各组分的浓度等。现在的工业生产对制绒工艺温度控制提出了较高的要求,为了保证反应条件的一致性,温控精度要在±1℃内,整个工艺槽内化学反应才能更稳定和可控,实现有效控制溶液的反应速度和挥发量,便于工艺调整。现有的制绒槽对溶液温度的控制不够稳定,无法保证制绒对溶液温度的要求。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种能够保证槽体内溶液温度,便于制绒温度控制的硅片制绒槽。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:硅片制绒槽,包括槽体、加热控制器;所述槽体的一端设置有入水槽,另一端设置有出水槽;所述入水槽一端通过第一匀流板与槽体连通,另一端的上方设置有与入水槽连通的入水箱;所述入水箱具有入水口,所述入水槽内由入水槽的一端向另一端依次设置有横向加热电阻、竖向加热电阻以及搅拌装置;所述横向加热电阻位于入水箱的下方;且在竖直方向上均匀分布;所述竖向加热电阻沿水平方向上均匀分布;所述搅拌装置位于第一匀流板的一侧;所述出水槽的一端通过第二匀流板与槽体连通,另一端设置有出水口;所述槽体的底部设置有保温加热电阻,所述槽体内设置有温度传感器,所述温度传感器、横向加热电阻、竖向加热电阻以及保温加热电阻均与加热控制器电连接。进一步的,所述槽体具有的开槽口的上端上设置有保温加热装置。进一步的,所述竖向加热电阻端延伸到槽体内,另一端设置有固定安装板,所述竖向加热电阻穿过固定安装板且与固定安装板螺纹配合。进一步的,所述搅拌装置包括驱动电机、搅拌轴;所述搅拌轴竖直插入到槽体内,所述搅拌轴上设置有搅拌叶片,所述搅拌轴通过驱动电机驱动转动。进一步的,所述搅拌叶片在搅拌轴上沿轴线方向均匀分布,且沿搅拌轴的圆周方向均匀分布。进一步的,所述搅拌轴的轴线方向上同一高度的搅拌叶片为搅拌叶片组;每组搅拌叶片组至少包括三片搅拌叶片。进一步的,在搅拌轴上至少具有三组搅拌叶片组。本专利技术的有益效果是:本专利技术所述的硅片制绒槽由于在工艺槽的一端设置有入水槽,并且在入水槽内设置竖向均匀分布的横向加热电阻,在横向设置均匀分布的竖向加热电阻,并且通过搅拌装置对循环的溶液加热后进行搅拌,然后通过匀流板进入到槽体内,从而保证了循环溶液的加热温度均匀,保证了制绒的温度。因此本专利技术所述的硅片制绒槽温度控精度高,整个工艺槽内化学反应稳定,可控,能够实现有效控制溶液的反应速度和挥发量,便于工艺调整。附图说明图1为本专利技术实施例中硅片制绒槽的立体图;图2为本专利技术实施例中硅片制绒槽的俯视图;图3为本专利技术实施例中硅片制绒槽的侧视图;图4为图2中A-A剖视图图5为图2中的B-B剖视图;图6为图2中的C-C剖视图;图中标示:1-槽体,2-入水槽,3-出水槽,4-入水箱,5-竖向加热电阻,6-搅拌装置,7-第一匀流板,8-第二匀流板,9-横向加热电阻,10-保温加热电阻,11-保温加热装置。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。如图1至图6所示,本专利技术所述的硅片制绒槽,包括槽体1、加热控制器9;所述槽体1的一端设置有入水槽2,另一端设置有出水槽3;所述入水槽2一端通过第一匀流板7与槽体1连通,另一端的上方设置有与入水槽2连通的入水箱4;所述入水箱4具有入水口41,所述入水槽2内由入水槽2的一端向另一端依次设置有横向加热电阻9、竖向加热电阻5以及搅拌装置6;所述横向加热电阻9位于入水箱4的下方;且在竖直方向上均匀分布;所述竖向加热电阻5沿水平方向上均匀分布;所述搅拌装置6位于第一匀流板7的一侧;所述出水槽3的一端通过第二匀流板8与槽体1连通,另一端设置有出水口31;所述槽体1的底部设置有保温加热电阻10,所述槽体1内设置有温度传感器,所述温度传感器、横向加热电阻9、竖向加热电阻5以及保温加热电阻10均与加热控制器9电连接。在工作过程中:首先溶液通过入水箱4进入到入水槽2内,在入水箱4的下方进过横向加热电阻9进行加热,然后再经过竖向加热电阻5的加热,由于所述横向加热电阻9位于入水箱4的下方;且在竖直方向上均匀分布;所述竖向加热电阻5沿水平方向上均匀分布;因此保证了对溶液加热的均匀性,保证溶液各个部位的温度一直;同时通过搅拌装置的搅拌使得溶液内部各个部位的温度一致;然后通过匀流板7进入到槽体1内在槽体1内实现对硅片的制绒。并且在槽体1的底部设置有均匀分布的保温加热电阻10,能够避免溶液在槽体1内温度较低,包装槽内1内溶液的温度。在槽体1内设置有温度传感器,通过温度传感器实时监测槽体1内的温度,然后通过加热控制器9对竖向加热电阻5、横向加热电阻9以及保温加热电阻10进行控制,包装槽体内溶液的温度符合工艺要求。综上所述,本专利技术所述的硅片制绒槽由于在工艺槽的一端设置有入水槽,并且在入水槽内设置竖向均匀分布的横向加热电阻,在横向设置均匀分布的竖向加热电阻,并且通过搅拌装置对循环的溶液加热后进行搅拌,然后通过匀流板进入到槽体内,从而保证了循环溶液的加热温度均匀,保证了制绒的温度。因此本专利技术所述的硅片制绒槽温度控精度高,整个工艺槽内化学反应稳定,可控,能够实现有效控制溶液的反应速度和挥发量,便于工艺调整。为了保证槽体1内的温度保持稳定,进一步的,所述槽体1具有的开槽口的上端上设置有保温加热装置11。具体的,保温加热装置11可以采用加热电阻,且嵌入到槽体1的内壁内;由于槽体1内溶液的温度从槽体1的开槽口散发,因此槽体1具有的开槽口的上端上设置有保温加热装置11从而能够补充散失掉的热量,包装槽体1内溶液的温度。为了便于竖向加热电阻5的维护和更换,进一步的,所述竖向加热电阻5端延伸到槽体1内,另一端设置有固定安装板,所述竖向加热电阻5穿过固定安装板且与固定安装板螺纹配合。具体的,所述搅拌装置6包括驱动电机、搅拌轴;所述搅拌轴竖直插入到槽体1内,所述搅拌轴上设置有搅拌叶片,所述搅拌轴通过驱动电机驱动转动。为了能够使得加热后的溶液被充分进行搅拌,包装溶液内部温度的一致性,进一步的,所述搅拌叶片在搅拌轴上沿轴线方向均匀分布,且沿搅拌轴的圆周方向均匀分布。更进一步的,所述搅拌轴的轴线方向上同一高度的搅拌叶片为搅拌叶片组;每组搅拌叶片组至少包括三片搅拌叶片。更进一步的,在搅拌轴上至少具有三组搅拌叶片组。本文档来自技高网...
硅片制绒槽

【技术保护点】
硅片制绒槽,其特征在于:包括槽体(1)、加热控制器(9);所述槽体(1)的一端设置有入水槽(2),另一端设置有出水槽(3);所述入水槽(2)一端通过第一匀流板(7)与槽体(1)连通,另一端的上方设置有与入水槽(2)连通的入水箱(4);所述入水箱(4)具有入水口(41),所述入水槽(2)内由入水槽(2)的一端向另一端依次设置有横向加热电阻(9)、竖向加热电阻(5)以及搅拌装置(6);所述横向加热电阻(9)位于入水箱(4)的下方;且在竖直方向上均匀分布;所述竖向加热电阻(5)沿水平方向上均匀分布;所述搅拌装置(6)位于第一匀流板(7)的一侧;所述出水槽(3)的一端通过第二匀流板(8)与槽体(1)连通,另一端设置有出水口(31);所述槽体(1)的底部设置有保温加热电阻(10),所述槽体(1)内设置有温度传感器,所述温度传感器、横向加热电阻(9)、竖向加热电阻(5)以及保温加热电阻(10)均与加热控制器(9)电连接。

【技术特征摘要】
1.硅片制绒槽,其特征在于:包括槽体(1)、加热控制器(9);所述槽体(1)的一端设置有入水槽(2),另一端设置有出水槽(3);所述入水槽(2)一端通过第一匀流板(7)与槽体(1)连通,另一端的上方设置有与入水槽(2)连通的入水箱(4);所述入水箱(4)具有入水口(41),所述入水槽(2)内由入水槽(2)的一端向另一端依次设置有横向加热电阻(9)、竖向加热电阻(5)以及搅拌装置(6);所述横向加热电阻(9)位于入水箱(4)的下方;且在竖直方向上均匀分布;所述竖向加热电阻(5)沿水平方向上均匀分布;所述搅拌装置(6)位于第一匀流板(7)的一侧;所述出水槽(3)的一端通过第二匀流板(8)与槽体(1)连通,另一端设置有出水口(31);所述槽体(1)的底部设置有保温加热电阻(10),所述槽体(1)内设置有温度传感器,所述温度传感器、横向加热电阻(9)、竖向加热电阻(5)以及保温加热电阻(10)均与加热控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈五奎刘强冯加保
申请(专利权)人:乐山新天源太阳能科技有限公司
类型:发明
国别省市:四川,51

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