一种无收尾直拉单晶硅生产装置制造方法及图纸

技术编号:22123616 阅读:106 留言:0更新日期:2019-09-18 03:35
本实用新型专利技术公开了一种无收尾直拉单晶硅生产装置,包括底座,所述底座的顶部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直放置的支撑柱,且两个支撑柱相对的一侧外壁均通过轴承转动连接有连接杆,两个连接杆通过螺栓连接有同一个炉体,所述炉体的通过螺栓连接有石英坩埚,所述炉体的顶部一侧外壁通过铰链铰接有封盖,且封盖的顶部外壁通过螺栓连接有提升壳体,封盖的顶部一侧外壁通过螺栓连接有把手,所述提升壳体的顶部内壁通过螺栓连接有步进电机。本实用新型专利技术中,设置有石墨加热器,能够对炉体内的石英坩埚进行预热,提高接下来的融化速率,设置有电磁感应加热器,能够对石英坩埚内的多晶硅原料及杂质进行快速融化,提高了工作效率。

A No-Ending Czochralski Single Crystal Silicon Production Device

【技术实现步骤摘要】
一种无收尾直拉单晶硅生产装置
本技术涉及单晶硅生产
,尤其涉及一种无收尾直拉单晶硅生产装置。
技术介绍
直拉单晶硅工艺学是研究用直拉方法获得硅单晶的一门科学,它研究的主要内容:硅单晶生长的一般原理,直拉硅单晶生长工艺过程,改善直拉硅单晶性能的工艺方法。太阳能电池是光伏行业的主导产品,单晶硅是一种半导体材料,随着单晶硅在太阳能电池应用面的不断扩大,太阳能电池的需求量越来越大,单晶硅材料的需求量也就越来越大,单晶硅拉制一般在单晶炉中进行,但是现在的炉体在将多晶硅原料及杂质的融化时需要较长的时间,使得生产效率较低,使得单晶硅的生长速度缓慢,不便于工作人员使用。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种无收尾直拉单晶硅生产装置,可以有效的解决
技术介绍
提出来的问题。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种无收尾直拉单晶硅生产装置,包括底座,所述底座的顶部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直放置的支撑柱,且两个支撑柱相对的一侧外壁均通过轴承转动连接有连接杆,两个连接杆通过螺栓连接有同一个炉体,所述炉体的通过螺栓连接有石英坩埚,所述炉体的顶部一侧外壁通过铰链铰接有封盖,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无收尾直拉单晶硅生产装置,包括底座(5),其特征在于,所述底座(5)的顶部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直放置的支撑柱(4),且两个支撑柱(4)相对的一侧外壁均通过轴承转动连接有连接杆(16),两个连接杆(16)通过螺栓连接有同一个炉体(6),所述炉体(6)的通过螺栓连接有石英坩埚(7),所述炉体(6)的顶部一侧外壁通过铰链铰接有封盖(15),且封盖(15)的顶部外壁通过螺栓连接有提升壳体(14),封盖(15)的顶部一侧外壁通过螺栓连接有把手(11),所述提升壳体(14)的顶部内壁通过螺栓连接有步进电机(13),且步进电机(13)的输出端通过螺栓连接有电动伸缩杆(17),电动伸缩杆(17)...

【技术特征摘要】
1.一种无收尾直拉单晶硅生产装置,包括底座(5),其特征在于,所述底座(5)的顶部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直放置的支撑柱(4),且两个支撑柱(4)相对的一侧外壁均通过轴承转动连接有连接杆(16),两个连接杆(16)通过螺栓连接有同一个炉体(6),所述炉体(6)的通过螺栓连接有石英坩埚(7),所述炉体(6)的顶部一侧外壁通过铰链铰接有封盖(15),且封盖(15)的顶部外壁通过螺栓连接有提升壳体(14),封盖(15)的顶部一侧外壁通过螺栓连接有把手(11),所述提升壳体(14)的顶部内壁通过螺栓连接有步进电机(13),且步进电机(13)的输出端通过螺栓连接有电动伸缩杆(17),电动伸缩杆(17)延伸到石英坩埚(7)的内部,电动伸缩杆(17)的底部外壁通过螺栓连接有籽晶夹具(12),所述炉体(6)的底部内壁通过螺钉连接有电磁感应加热器(3),且炉体(6)的内壁通过螺钉连接有石墨加热器(8),所述炉体(6)一端外壁通过螺栓连接有安装块(19)。2.根据权利要求1所述的一种无收尾直拉单晶硅生产装置,其特征在于,所述底座(5)顶部一端外壁通过铰链铰接有液压缸(18),且液压缸(18)的顶部外壁与安装块(19)的底部外壁相铰接。...

【专利技术属性】
技术研发人员:张忠安张忠华张俊凌继贝
申请(专利权)人:江西豪安能源科技有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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