一种单晶炉加热器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉加热器，涉及单晶硅制备技术领域，包括加热器本体以及加热电源，所述加热器本体包括若干个竖直环形排列的加热板，若干个所述加热板通过上连接板以及下连接板依次连接，所述加热器本体下端设置有用于与加热电源连接的连接座，所述连接座上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有加热器螺栓，所述连接座上设置有用于将加热器螺栓包覆的螺栓护盖。本实用新型专利技术中设置有螺栓护盖，螺栓护盖将加热器螺栓包覆住，隔绝了硅蒸汽，避免硅蒸汽直接与加热器螺栓接触，从而避免了加热器螺栓被硅蒸汽粘死，降低了加热器本体的拆取时间。

A Single Crystal Furnace Heater

The utility model discloses a single crystal furnace heater, which relates to the technical field of monocrystalline silicon preparation, including a heater body and a heating power supply. The heater body comprises several vertical annular heating plates, several heating plates are connected sequentially through an upper connecting plate and a lower connecting plate. The lower end of the heater body is provided with a connecting seat for connecting with a heating power supply. A threaded hole is arranged on the connecting seat, a heater bolt is arranged in the threaded hole, and a bolt cover for covering the heater bolt is arranged on the connecting seat. The utility model is provided with a bolt cover, which covers the heater bolt, isolates the silicon steam, avoids the direct contact between the silicon steam and the heater bolt, thus avoids the sticking of the heater bolt by the silicon steam, and reduces the disassembly time of the heater body.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉加热器
本技术涉及单晶硅制备
，特别是涉及一种单晶炉加热器。
技术介绍
直拉单晶制造法是把原料多硅晶块放入石英坩埚中，在单晶炉中加热熔化，再将晶种浸入溶液中。在合适的温度下，溶液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶，成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升，溶液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶，并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定，就可以周而复始的形成结晶。直拉法制备单晶硅时须使用石墨加热器对硅料进行加热熔化。石墨加热器中的加热器一般是通过加热器螺栓与加热电源连接。拉制单晶过程中由于硅液在高温时产生硅蒸汽，在氩气吹拂、主泵抽力作用下硅蒸汽向下运动，加热器螺栓容易被硅蒸汽粘死，使用现有方法敲加热器螺栓、锯加热器主腿导致石墨件有损伤，并且处理时间长，浪费工时，甚至导致石墨加热器直接报废。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种单晶炉加热器。为了解决以上技术问题，本技术的技术方案如下：一种单晶炉加热器，包括加热器本体以及加热电源，所述加热器本体包括若干个竖直环形排列的加热板，若干个所述加热板通过上连接板以及下连接板依次连接，所述加热器本体下端设置有用于与加热电源连接的连接座，所述连接座上开设有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有加热器螺栓，所述连接座上设置有用于将加热器螺栓包覆的螺栓护盖。进一步地，螺栓护盖包括盖板以及设置在盖板下端的圆筒状侧板，连接座上开设有与侧板相匹配的环形凹槽。前所述的一种单晶炉加热器，侧板上相对的两侧均开设有沿盖板轴线方向的开槽，开槽由侧板的下端向上延伸且开槽的上端与盖板不接触，侧板上开设有水平方向的限位槽，限位槽的槽口与开槽连通，环形凹槽内对应于限位槽设置有限位块。前所述的一种单晶炉加热器，侧板上开设有两条限位槽，两条所述限位槽位于侧板相对的两侧。前所述的一种单晶炉加热器，螺栓护盖采用石墨制成。本技术的有益效果是：（1）本技术在加热器螺栓外套接有螺栓护盖，螺栓护盖将加热器螺栓包覆住，隔绝了硅蒸汽，避免硅蒸汽直接与加热器螺栓接触，从而避免了加热器螺栓被硅蒸汽粘死，降低了加热器本体的拆取时间，同时也保护了加热器本体，延长了单井路加热器的使用寿命；（2）本技术中螺栓护盖包括盖板和侧板，盖板与侧板形成一个密闭的空间，将加热器螺栓包覆在内，提高了螺栓护盖对加热器螺栓的保护效果；又在连接座上开设有与侧板相匹配的环形凹槽，侧板可嵌入环形凹槽内，进一步减小了螺栓护盖与连接座形成的间隙，进一步提高了螺栓护盖对硅蒸汽的防护效果，同时，提高了螺栓护盖与连接座连接的稳定性；（3）本技术在螺栓护盖的侧板上开设有开槽以及限位槽，并在环形凹槽内设置有限位块，安装时将侧板嵌入环形凹槽内，使限位槽与限位块对齐，然后旋转螺栓护盖即可将螺栓护盖与连接板稳定连接，限位槽与限位块配合对螺栓护盖进行竖直方向的限位，而侧板与环形凹槽配合对螺栓护盖进行水平方向的限位，连接稳定性高；（4）本技术在侧板上开设有两条限位槽，进一步提高了螺栓护盖与连接座之间连接的稳定性；（5）本技术中螺栓护盖采用石墨制成，降低了生产成本；（6）通过对加热器螺栓外设置螺栓护盖，使加热器本体的平均寿命从120天延长至230天。附图说明图1为加热器本体的结构示意图；图2为连接座安装螺栓护盖后的剖面图；图3为螺栓护盖的主视图；图4为图3的左视图；图5为连接座的俯视图。其中：1、加热器本体；2、加热板；3、上连接板；4、下连接板；5、连接座；6、螺纹孔；7、加热器螺栓；8、螺栓护盖；9、盖板；10、侧板；11、环形凹槽；12、开槽；13、限位槽；14、限位块。具体实施方式为使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施方式并结合附图，对本技术作出进一的说明。本实施例提供了一种单晶炉加热器，包括加热器本体1以及加热电源。加热器本体1包括若干个竖直环形排列的加热板2，这些加热板2通过上连接板3以及下连接板4依次连接。加热器本体1的下端设置有用于与加热电源连接的连接座5，在连接座5上开设有螺纹孔6，加热器本体1与加热电源连接时在螺纹孔6内设置加热器螺栓7。在连接座5上设置有螺栓护盖8，该螺栓护盖8将加热器螺栓7的上部包覆在内。其中，螺栓护盖8采用废旧石墨件制成。螺栓护盖8包括盖板9以及设置在盖板9下端的圆筒状侧板10，在连接座5上开设有与侧板10相匹配的环形凹槽11，侧板10可嵌入环形凹槽11中。在螺栓护盖8的侧板10上开设有两个沿竖直方向的开槽12，这两个开槽12相对设置在侧板10的两侧，该开槽12由侧边的下端向上延伸，且该开槽12的上端与盖板9不接触，即开槽12与盖板9之间有一定高度的侧板10，这段侧板10的高度大于加热器螺栓7上端与连接座5之间的距离，使螺栓护盖8与连接座5连接时在连接座5的上方形成一个密闭的空间，从而提高了螺栓护盖8对加热器螺栓7的保护效果。在侧板10上还开设有两条沿水平方向的限位槽13，这两条限位槽13相对设置在侧板10上，限位槽13的槽口与开槽12相连通。在环形凹槽11内部相对应限位槽13处设置有限位块14，限位块14的长度小于或等于开槽12的宽度，使螺栓护盖8的侧板10可嵌入环形凹槽11内，并将限位槽13与限位块14对齐。具体工作说明如下：在安装加热器本体1时，先将加热器本体1下端的连接座5的螺纹孔6与加热电源对齐，然后将加热器螺栓7安装在螺纹孔6内。然后将螺栓护盖8的侧板10与连接座5上的环形凹槽11对齐，将侧板10嵌入环形凹槽11中。在嵌入过程中，使侧板10上的开槽12与环形凹槽11内的限位块14对齐，使侧板10向下嵌入环形凹槽11内，嵌入过程中限位块14位于开槽12中。当侧板10嵌入环形凹槽11后，侧板10上的限位槽13与环形凹槽11内的限位块14处于同一水平面内，此时旋转螺栓护盖8，使限位块14嵌入限位槽13，限位槽13与限位块14配合对螺栓护盖8进行竖直方向的限位，侧板10与环形凹槽11配合对螺栓护盖8进行水平方向的限位，使螺栓护盖8稳定连接在连接座5上。当需要拆下加热器本体1时，只需反方向旋转螺栓护盖8，使限位块14位于开槽12中，然后向上提起螺栓护盖8，再将加热器螺栓7拧下即可。除上述实施例外，本技术还可以有其他实施方式；凡采用等同替换或等效变换形成的技术步详细方案，均落在本技术要求的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉加热器，包括加热器本体(1)以及加热电源，所述加热器本体(1)包括若干个竖直环形排列的加热板(2)，若干个所述加热板(2)通过上连接板(3)以及下连接板(4)依次连接，所述加热器本体(1)下端设置有用于与加热电源连接的连接座(5)，所述连接座(5)上开设有螺纹孔(6)，所述螺纹孔(6)内设置有加热器螺栓(7)，其特征在于：所述连接座(5)上设置有用于将加热器螺栓(7)包覆的螺栓护盖(8)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加热器，包括加热器本体(1)以及加热电源，所述加热器本体(1)包括若干个竖直环形排列的加热板(2)，若干个所述加热板(2)通过上连接板(3)以及下连接板(4)依次连接，所述加热器本体(1)下端设置有用于与加热电源连接的连接座(5)，所述连接座(5)上开设有螺纹孔(6)，所述螺纹孔(6)内设置有加热器螺栓(7)，其特征在于：所述连接座(5)上设置有用于将加热器螺栓(7)包覆的螺栓护盖(8)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉加热器，其特征在于：所述螺栓护盖(8)包括盖板(9)以及设置在盖板(9)下端的圆筒状侧板(10)，所述连接座(5)上开设有与侧板(10)相匹配的环形凹槽(11)。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永和，孟涛，王海庆，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15