The invention relates to the field of mechanical technology, in particular to a single crystal furnace heater lifting device. Including servo motor, servo motor connects the input end of reducer and the output end of reducer connects lifting device; lifting device includes bottom plate, commutator and screw rod; commutator is fixed on the bottom plate, one end of commutator is connected with the output end of reducer, and one end is connected with the lower end of screw rod; screw nut is arranged on the screw rod, and screw nut is connected with sealing device through support plate; The fixed plate is connected with the furnace bottom plate, and the heater is arranged on the furnace bottom plate; the sealing seat is connected with the supporting plate, and the lower end of the lifting rod is arranged in the sealing seat; the upper end of the lifting rod passes through the furnace bottom plate and is connected with the heater. The invention improves the disadvantage that the main chamber heater in the previous single crystal furnace equipment can not be lifted, and ensures the sealing between the main chamber heater and the whole single crystal furnace. The heater rises with the crucible, and the heat transferred to the crucible is more uniform, and the energy loss is reduced.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉加热器提升装置
本专利技术涉及机械
,具体涉及一种单晶炉加热器提升装置。
技术介绍
单晶炉,即全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。拉晶炉的主炉室为圆柱形炉体,主炉室包括内筒和外筒,外筒套设在内筒的外部,在中炉体的内筒内设置石墨加热器,以提供热场。在现有技术中,加热器不可移动,而坩埚在拉晶过程中是不断上升的,这就导致加热器的部分热量无法辐射到坩埚上,造成能量的浪费,而且加热器随着坩埚一起提升,能使受热更均匀。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于,克服现有技术中的不足,提供一种单晶炉加热器提升装置。本专利技术所采用的技术方案为:提供一种单晶炉加热器提升装置,包括动力装置、提升装置和密封装置;动力装置包括伺服电机与减速机;伺服电机连接减速机的输入端,减速机安装在减速机支座上,减速机的输出端连接提升装置;提升装置包括底板、换向器与丝杆;换向器固定在底板上,换向器一端与减速机输出端连接,一端连接丝杆下端;丝杆上设有丝杆螺母,丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连;丝杆上端连接固定板,固定板上设有炉底板,炉底板上设有加热器;密封装置包括密封座,密封座与支撑板相连,提升杆下端装设于密封座内;提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接,波纹管套设于提升 ...
【技术保护点】
1.一种单晶炉加热器提升装置,其特征在于,包括动力装置、提升装置和密封装置;所述动力装置包括伺服电机与减速机;伺服电机连接减速机的输入端,减速机安装在减速机支座上,减速机的输出端连接提升装置;所述提升装置包括底板、换向器与丝杆;换向器固定在底板上,换向器一端与减速机输出端连接,一端连接丝杆下端;丝杆上设有丝杆螺母,丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连;丝杆上端连接固定板,固定板上设有炉底板,炉底板上设有加热器;所述密封装置包括密封座,密封座与所述支撑板相连,提升杆下端装设于密封座内;提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接,波纹管套设于提升杆外部,波纹管顶端与炉底板相连。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉加热器提升装置,其特征在于,包括动力装置、提升装置和密封装置;所述动力装置包括伺服电机与减速机;伺服电机连接减速机的输入端,减速机安装在减速机支座上,减速机的输出端连接提升装置;所述提升装置包括底板、换向器与丝杆;换向器固定在底板上,换向器一端与减速机输出端连接,一端连接丝杆下端;丝杆上设有丝杆螺母,丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连;丝杆上端连接固定板,固定板上设有炉底板,炉底板上设有加热器;所述密封装置包括密封座,密封座与所述支撑板相连,提升杆下端装设于密封座内;提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接,波纹管套设于...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟,傅林坚,胡建荣,高宇,倪军夫,叶钢飞,春伟博,谭庆,黄伟,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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