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一种无收尾直拉单晶硅生产装置制造方法及图纸
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下载一种无收尾直拉单晶硅生产装置的技术资料
文档序号:22123616
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本实用新型公开了一种无收尾直拉单晶硅生产装置,包括底座,所述底座的顶部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直放置的支撑柱,且两个支撑柱相对的一侧外壁均通过轴承转动连接有连接杆,两个连接杆通过螺栓连接有同一个炉体,所述炉体的通过螺栓连接有石英坩埚,所述...
该专利属于江西豪安能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西豪安能源科技有限公司授权不得商用。
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