方硅芯铸锭炉炉体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种方硅芯铸锭炉炉体，它包括炉体（1），所述炉体（1）左右两侧设置有支撑座（2），所述炉体（1）包括底板（1.1），所述底板（1.1）四周设置有侧板（1.2），所述侧板（1.2）内侧设置有衬板（1.3），所述衬板（1.3）顶部设置有顶板（1.4），所述顶板（1.4）左右两侧设置有吊耳（3），所述顶板（1.4）上设置有左中右三对进气孔（4），每个排气孔（4）内均设置有氩气导流管（5），所述氩气导流管（5）的材质为钼。本实用新型专利技术一种方硅芯铸锭炉炉体，它增加了氩气在硅锭表面的覆盖及吹扫面积，降低了硅芯的碳含量，提高了产品品质。

Square silicon core ingot furnace body

The utility model relates to a square silicon core ingot furnace body, which comprises a furnace body (1), and a supporting seat (2) is arranged on both sides of the furnace body (1), the furnace body (1) includes a floor (1.1), and a side plate (1.2) is arranged around the floor (1.1), and a lining board (1.3) is arranged on the inside of the side plate (1.2), and the lining of the lining (1.3) is arranged on the inside of the side plate (1.2). A roof (1.4) is provided on the top of the board (1.3), and the left and right sides (3) are arranged on the left and right sides of the top plate (1.4), and the top plate (1.4) is provided with a left middle right three pair of inlet (4), each of the exhaust holes (4) is provided with an argon Guide (5), and the material of the argon gas diversion pipe (5) is molybdenum. The utility model is a square silicon core ingot furnace body, which increases the cover and sweep area of the argon on the surface of the silicon ingot, reduces the carbon content of the silicon core and improves the quality of the product.

【技术实现步骤摘要】
方硅芯铸锭炉炉体
本技术涉及一种方硅芯铸锭炉炉体，属于多晶硅生产

技术介绍
硅芯，是在西门子法和硅烷法多晶硅生产中作为还原炉中进行还原反应沉积（CVD）多晶硅的热载体。在还原反应结束后，硅沉积在硅芯周围，硅芯连同硅通过破碎一起作为多晶硅原料使用，因此，硅芯是作为多晶硅生产过程中非常重要的辅材使用和消耗的。硅芯作为还原反应沉积（CVD）多晶硅的热载体，先后经历了如下几个发展阶段：第一阶段是用钼丝或钽管：用钼丝或钽管做热载体，使用方便设备简单，用钽管是为了中间可以用酸腐蚀掉钽管用以制备区熔法单晶硅的硅料。但高温下金属原子扩散影响多晶硅纯度和品质，这一工艺很快被硅芯热载体取而代之。第二阶段是区熔法生产的硅芯（圆硅芯）：硅是半导体，具有温度越高电阻越低的负阻效应，用区熔法拉制的硅芯在加热后或高压击穿后低压加热成为热载体在还原炉内进行CVD生长多晶硅，生产的多晶硅质量明显提高。区熔法硅芯的生产工艺也几经变革，从一次拉一根到一炉次拉数根以节省拆炉开炉消耗的时间，进而发展到用一次拉多根，一炉次拉数次，使一炉次可以生产十多根硅芯，生产效率大大提高。但区熔法硅芯生产对操作工要求较高，多根工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方硅芯铸锭炉炉体，其特征在于：它包括炉体（1），所述炉体（1）左右两侧设置有支撑座（2），所述炉体（1）包括底板（1.1），所述底板（1.1）四周设置有侧板（1.2），所述侧板（1.2）内侧设置有衬板（1.3），所述衬板（1.3）顶部设置有顶板（1.4），所述顶板（1.4）左右两侧设置有吊耳（3），所述顶板（1.4）上设置有左中右三对进气孔（4），每个排气孔（4）内均设置有氩气导流管（5），所述氩气导流管（5）的材质为钼。

【技术特征摘要】
1.一种方硅芯铸锭炉炉体，其特征在于：它包括炉体（1），所述炉体（1）左右两侧设置有支撑座（2），所述炉体（1）包括底板（1.1），所述底板（1.1）四周设置有侧板（1.2），所述侧板（1.2）内侧设置有衬板（1.3），所述衬板（1.3）顶部设置有顶板（1.4），所述顶板（1.4）左右两侧设置有吊耳（3），所述顶板（1.4）上设置有左中右三对进气孔（4），每个排气孔（...

【专利技术属性】
技术研发人员：武东伟，张礼铭，殷硕，徐溢，
申请(专利权)人：江阴东升新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32