一种环保的等离子光阻去除机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体，所述光阻机本体内部通过螺栓固定连接有真空罐，所述真空罐的内部通过绝缘架设置有阴极置物板，所述进气管靠近真空罐的一侧设置有电磁阀，所述真空罐远离阳电极的一侧设置有排气管，所述排气管远离真空罐的一侧设置有过滤器，所述过滤器位于过滤盒的内部，所述高压气罐位于气罐盒的内部，本实用新型专利技术设置了可净化真空罐内含有杂质的气体装置，避免了传统的光阻去除机在将真空罐气体直接排出会对环境及人体产生危害的问题，设置了可放置小型高压气罐的装置，使光阻机便于移动和携带，降低了移动重量，更适于需要频繁移动工作位置的条件下使用。

A kind of environment-friendly plasma photoresist remover

The utility model discloses a kind of environment-friendly plasma photoresist remover, including an optical resistance machine, which is connected with a vacuum tank through a bolt. The inside of the vacuum tank is provided with a cathode material plate through an insulating frame, and the inlet pipe is close to one side of the vacuum tank, and the vacuum tank is arranged on one side of the vacuum tank. The exhaust pipe far away from the anode is provided with an exhaust pipe. The exhaust pipe is located away from the side of the vacuum tank. The filter is located inside the filter box. The high pressure gas tank is located inside the gas tank box. The utility model provides a gas body device containing impurities in the vacuum tank to avoid the traditional optical resistance removal. The machine can put the vacuum tank gas directly out of the environment and the harm to the human body, set up a small high pressure gas tank device, so that the optical resistance machine is easy to move and carry, reduce the moving weight, more suitable for frequent mobile working position.

【技术实现步骤摘要】
一种环保的等离子光阻去除机
本技术属于光阻去除机
，具体涉及一种环保的等离子光阻去除机。
技术介绍
等离子光阻去除机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。但是目前市场上的光阻去除机不仅结构复杂，而且功能单一，传统的光阻去除机在将真空罐内含有杂质的气体排出时，并没有通过净化处理，直接将气体排出会对环境及人体产生危害，没有设置可放置电离气体的装置，携带和移动都十分不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种环保的等离子光阻去除机，以解决上述
技术介绍
中提出的传统的光阻去除机在将真空罐内含有杂质的气体排出时，并没有通过净化处理，直接将气体排出会对环境及人体产生危害，没有设置可放置电离气体的装置，携带和移动都十分不便的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体，所述光阻机本体内部通过螺栓固定连接有真空罐，所述真空罐的内部通过绝缘架设置有阴极置物板，且真空罐的顶部设置有阳电极，所述真空罐通过进气管连接有高压气罐，所述进气管靠近真空罐的一侧设置有电磁阀，所述真空罐远离阳电极的一侧设置有排气管，所述排气管远离真空罐的一侧设置有过滤器，所述过滤器远离排气管的一侧设置有气泵接口，所述真空罐的上方分别设置有气罐盒和过滤盒，所述过滤器位于过滤盒的内部，所述高压气罐位于气罐盒的内部，所述光阻机本体的前表面通过铰链旋合连接有密封门，且光阻机本体的中间位置处设置有MVC-196光阻机控制器，所述光阻机本体远离密封门的一侧上下分别设置有压力表和电源开关，所述电磁阀、阳电极、绝缘架、MVC-196光阻机控制器和压力表均与电源开关电性连接。优选的，所述过滤器的内部设置有多层过滤网。优选的，所述过滤器与排气管通过螺纹旋合连接。优选的，所述密封门的中心位置开设有观察窗。优选的，所述高压气罐与进气管通过螺纹旋合连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）本技术结构科学合理，使用安全方便，设置了可净化真空罐内含有杂质的气体装置，避免了传统的光阻去除机在将真空罐气体直接排出会对环境及人体产生危害的问题，具有降低污染的优点。（2）本技术设置了可放置小型高压气罐的装置，使光阻机便于移动和携带，降低了移动重量，提高了便携性，更适于需要频繁移动工作位置的条件下使用。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的正视图；图中：1-过滤器、2-过滤盒、3-排气管、4-气罐盒、5-高压气罐、6-进气管、7-电磁阀、8-阳电极、9-密封门、10-真空罐、11-光阻机本体、12-阴极置物板、13-绝缘架、14-气泵接口、15-电源开关、16-MVC-196光阻机控制器、17-压力表。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1和图2，本技术提供一种技术方案：一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体11，光阻机本体11内部通过螺栓固定连接有真空罐10，真空罐10的内部通过绝缘架13设置有阴极置物板12，绝缘架13可防止阴极置物板12与阳电极8直接接触，且真空罐10的顶部设置有阳电极8，真空罐10通过进气管6连接有高压气罐5，进气管6靠近真空罐10的一侧设置有电磁阀7，可控制高压气罐5内部的气体进入真空罐10的速率，真空罐10远离阳电极8的一侧设置有排气管3，排气管3远离真空罐10的一侧设置有过滤器1，可对排出的气体进行过滤，过滤器1远离排气管3的一侧设置有气泵接口14，真空罐10的上方分别设置有气罐盒4和过滤盒2，过滤器1位于过滤盒2的内部，高压气罐5位于气罐盒4的内部，光阻机本体11的前表面通过铰链旋合连接有密封门9，且光阻机本体11的中间位置处设置有MVC-196光阻机控制器16，光阻机本体11远离密封门9的一侧上下分别设置有压力表17和电源开关15，可实时显示真空罐10内的气压，电磁阀7、阳电极8、绝缘架13、MVC-196光阻机控制器16和压力表17均与电源开关15电性连接。为了能够高效过滤掉排出气体中的杂质，本实施例中，优选的过滤器1的内部设置有多层过滤网。为了便于更换过滤器1，本实施例中，优选的过滤器1与排气管3通过螺纹旋合连接。为了便于观察光阻机工作时真空罐10内的工作状态，本实施例中，优选的密封门9的中心位置开设有观察窗。为了便于更换安装高压气罐5，本实施例中，优选的高压气罐5与进气管6通过螺纹旋合连接。本技术的工作原理及使用流程：该环保的等离子级光阻去除机在使用时，将晶圆放置在阴极置物板12上并加以固定，然后闭合密封门9，将气泵接口14连接真空泵后启动装置，将真空罐10内部的空气排出，当到达一定气压时，启动电磁阀7将高压气罐5内的电离气体通过进气管6排入真空罐10内，到达设定气压后，启动光阻机将高频电压通过阳电极8释放到真空罐10内部，接地的阴极置物板12接受电压，击穿二者之间的电离气体并同光辉放电而发生离子化和产生等离子体，让真空罐10内产生的等离子体完全笼罩在被处理物件中，开始去光阻作业，清洗完毕后切断高频电压，将气体通过排气管3排出，其中过滤器1可将汽化的物质过滤下来，保证排出的空气经过净化对人体和环境不会产生负面影响，待真空罐10内气压与外界大气压处于同一水平时，即可将密封门9打开取出晶圆，同时设置的气罐盒4可将小型的高压气罐放置其中，便于移动和使用。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体（11），其特征在于：所述光阻机本体（11）内部通过螺栓固定连接有真空罐（10），所述真空罐（10）的内部通过绝缘架（13）设置有阴极置物板（12），且真空罐（10）的顶部设置有阳电极（8），所述真空罐（10）通过进气管（6）连接有高压气罐（5），所述进气管（6）靠近真空罐（10）的一侧设置有电磁阀（7），所述真空罐（10）远离阳电极（8）的一侧设置有排气管（3），所述排气管（3）远离真空罐（10）的一侧设置有过滤器（1），所述过滤器（1）远离排气管（3）的一侧设置有气泵接口（14），所述真空罐（10）的上方分别设置有气罐盒（4）和过滤盒（2），所述过滤器（1）位于过滤盒（2）的内部，所述高压气罐（5）位于气罐盒（4）的内部，所述光阻机本体（11）的前表面通过铰链旋合连接有密封门（9），且光阻机本体（11）的中间位置处设置有MVC‑196光阻机控制器（16），所述光阻机本体（11）远离密封门（9）的一侧上下分别设置有压力表（17）和电源开关（15），所述电磁阀（7）、阳电极（8）、绝缘架（13）、MVC‑196光阻机控制器（16）和压力表（17）均与电源开关（15）电性连接。...

【技术特征摘要】
1.一种环保的等离子光阻去除机，包括光阻机本体（11），其特征在于：所述光阻机本体（11）内部通过螺栓固定连接有真空罐（10），所述真空罐（10）的内部通过绝缘架（13）设置有阴极置物板（12），且真空罐（10）的顶部设置有阳电极（8），所述真空罐（10）通过进气管（6）连接有高压气罐（5），所述进气管（6）靠近真空罐（10）的一侧设置有电磁阀（7），所述真空罐（10）远离阳电极（8）的一侧设置有排气管（3），所述排气管（3）远离真空罐（10）的一侧设置有过滤器（1），所述过滤器（1）远离排气管（3）的一侧设置有气泵接口（14），所述真空罐（10）的上方分别设置有气罐盒（4）和过滤盒（2），所述过滤器（1）位于过滤盒（2）的内部，所述高压气罐（5）位于气罐盒（4）的内部，所述光阻机本体（11）的前表面通过铰链旋合连接有密封门...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄涛，袁泉，孙健，张慧，朱威莉，韩伟，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32