一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液制造技术

技术编号:17811996 阅读:46 留言:0更新日期:2018-04-28 05:05
本发明专利技术公布了一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,包括以下重量百分比的组合物:有机醇胺10%~16%;三乙醇胺溶液12%~20%;邻氟苯甲酸1.2%~2.8%;乙稀基正丁醚5%~15%;酯基季铵氢氧化物2.5%~6.9%;非质子性溶剂0.2%~0.6%;其余为去离子水。本发明专利技术提供的钼铝光阻剥离液,能够提高薄膜晶体管液晶面板产品的光阻剥离性能,降低工艺条件温度,并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。

【技术实现步骤摘要】
一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液
本专利技术涉及一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液。
技术介绍
目前,低温水系正胶剥离液,透明易挥发性液体,易燃,密度(25℃)约为1.0g/ml。钼铝光阻剥离液主要用于晶体管液晶触摸屏面板生产的光阻剥离,其使用工艺温度为80℃左右;目前正胶剥离液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)和超纯水组成,该产品主要存在以下几点缺点:1)用该低温水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击,导致产品良率降低;2)该低温水系正胶剥离液的使用工艺温度要求较高,需加热到80℃左右,能耗较大;3)乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)对环境污染大且对人体健康有较大伤害。因此有必要提供一种改良的钼铝光阻剥离液及其制备方法,提高晶体管液晶触摸屏制造工艺中的光阻剥离性能,降低工艺条件温度,并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
技术实现思路
本专利技术目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液。本专利技术为实现上述目的,采用如下技术方案:一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,包括以下重量百分比的组合物:进一步的,所述剥离液包括以下重量百分比的组合物:进一步的,所述剥离液包括以下重量百分比的组合物:进一步的,所述剥离液包括以下重量百分比的组合物:进一步的,所述有机醇胺的浓度为82~89%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为85~95%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为90~98%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为85~95%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为76~88%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为98.8~99.9%(重量百分比)。进一步的,所述有机醇胺的浓度为82%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为85%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为90%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为85%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为76%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为98.8%(重量百分比)。进一步的,所述有机醇胺的浓度为86%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为90%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为94%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为90%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为82%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为99.5%(重量百分比)。进一步的,所述有机醇胺的浓度为89%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为95%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为98%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为95%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为88%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为99.9%(重量百分比)。本专利技术的有益效果:本专利技术提供的晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,能够提高液晶触摸屏产品的光阻剥离性能,降低工艺条件温度,并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。具体实施方式下面通过实施例进一步描述本专利技术,但不限于所举的实施例。实施例1、称取10kg的有机醇胺,然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中,并充分搅拌,搅拌温度为40度,搅拌气压为1.2Mpa,搅拌时间为10分钟,搅拌的速度为45转/分;然后称取12kg的三乙醇胺溶液、1.2kg的邻氟苯甲酸、5kg的乙稀基正丁醚、2.5kg的异丙基正硫醚、0.2kg的非质子性溶剂和适当去离子水,并充分搅拌,搅拌温度为30度,搅拌气压为2.2Mpa,搅拌时间为15分钟,搅拌的速度为55转/分;最后开动隔膜泵,将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤2小时,再经0.12μm的过滤器过滤,以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子,即得钼铝光阻剥离液。其中,所述有机醇胺的浓度为82%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为85%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为90%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为85%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为76%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为98.8%(重量百分比)。实施例2、称取13kg的有机醇胺,然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中,并充分搅拌,搅拌温度为50度,搅拌气压为1.7Mpa,搅拌时间为12分钟,搅拌的速度为45转/分;然后称取17kg的三乙醇胺溶液、2.2kg的邻氟苯甲酸、10kg的乙稀基正丁醚、4.5kg的异丙基正硫醚、0.4kg的非质子性溶剂和适当去离子水,并充分搅拌,搅拌温度为35度,搅拌气压为2.9Mpa,搅拌时间为20分钟,搅拌的速度为65转/分;最后开动隔膜泵,将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤2.5小时,再经0.12μm的过滤器过滤,以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子,即得钼铝光阻剥离液。其中,所述有机醇胺的浓度为86%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为90%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为94%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为90%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为82%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为99.5%(重量百分比)。实施例3、称取16kg的有机醇胺,然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中,并充分搅拌,搅拌温度为60度,搅拌气压为2.3Mpa,搅拌时间为15分钟,搅拌的速度为45转/分;然后称取20kg的三乙醇胺溶液、2.8kg的邻氟苯甲酸、15kg的乙稀基正丁醚、6.9kg的异丙基正硫醚、0.6kg的非质子性溶剂和适当去离子水,并充分搅拌,搅拌温度为40度,搅拌气压为3.3Mpa,搅拌时间为25分钟,搅拌的速度为75转/分;最后开动隔膜泵,将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤3小时,再经0.12μm的过滤器过滤,以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子,即得钼铝光阻剥离液。其中,所述有机醇胺的浓度为89%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为95%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为98%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为95%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为88%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为99.9%(重量百分比)。综上所述,本专利技术提供的钼铝光阻剥离液,不改变客户使用效果的前提下,通过配方的改变,提高产品的光阻剥离性能,降低工艺条件温度,并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害,本方法能适用于大规模生产。具体优点如下:1)本专利技术的钼铝光阻剥离液在进行光阻剥离时不会攻击金属层;2)本专利技术的低温型水系正胶剥离液工艺温度条件为60℃,低于原来的工艺温度80℃,能耗降低;3)本专利技术的钼铝光阻剥离液中的组份对人体健康危害和环境污染小;4)采用微乳技术:采用微乳化技术,加入特殊添加剂,产品在乳化后形成了各向同性和较好的分散性,使产品在使用过程中能够有效去除光阻。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例,并不用以限制本专利技术,凡在本专利技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:

【技术特征摘要】
1.一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:2.如权利要求1所述的一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:3.如权利要求1所述的一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:4.如权利要求1所述的一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,包括以下重量百分比的组合物:5.如权利要求1所述的晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,所述有机醇胺的浓度为82~89%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓度为85~95%(重量百分比);所述邻氟苯甲酸的浓度为90~98%(重量百分比);所述乙稀基正丁醚的浓度为85~95%(重量百分比);所述酯基季铵氢氧化物的浓度为76~88%(重量百分比);所述非质子性溶剂的浓度为98.8~99.9%(重量百分比)。6.如权利要求5所述的晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液,其特征在于,所述有机醇胺的浓度为82%(重量百分比);所述三乙醇胺溶液的浓...

【专利技术属性】
技术研发人员:殷德军陈昊朱德意
申请(专利权)人:无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:江苏,32

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