一种具有无级变速功能的研磨抛光加工方法技术

一种具有无级变速功能的研磨抛光加工方法，包括以下步骤：(1)将线切割后的矩形薄片试样，沿着圆周方向粘贴在工件盘下表面；(2)将上研磨装置固定在下研磨装置的台面上；(3)使工件盘沿着Y向达到指定位置，与研磨盘实现固定偏心距，启动研磨盘驱动电机，使研磨盘工作；(4)加工开始时，向开有凹槽的研磨盘表面加研磨液，随后启动工件盘的驱动电机，使工件盘旋转，工件盘的驱动是工件盘驱动电机经过无级变速机构实现的，工件盘驱动电机通过联轴器带连接无级变速机构的圆锥滚轮大端轴径，并驱动圆锥滚轮旋转；研磨过程中定期向研磨盘表面加入研磨液。本发明专利技术实现一定范围内速度任意可调节的功能要求，保证实际中的速度大小需求。

A grinding and polishing method with continuously variable transmission function

A grinding and polishing processing method with a stepless variable speed function, which includes the following steps: (1) a rectangular thin slice specimen after a wire cutting is attached along the circumference direction to the surface of the workpiece disc; (2) the upper grinding device is fixed on the table of the lower grinding device; (3) the workpiece disk is up to the specified position along the Y, and the grinding disc is fixed. Set the eccentricity distance, start the grinding disc drive motor to make the grinding disc work. (4) when the machining begins, the grinding fluid is added to the surface of the grinding disc with the grooves, then the drive motor of the workpiece disc is started, the workpiece disk is rotated. The drive of the workpiece disc is realized by the stepless speed change mechanism of the workpiece disk drive motor, and the workpiece disk drives the motor. The over coupling carries the large end diameter of the tapered roller that connects the stepless speed transmission mechanism and drives the cone roller to rotate. In the grinding process, the abrasive liquid is added to the surface of the grinding disc regularly. The invention realizes arbitrary speed adjustable function requirements within a certain range, and ensures the actual speed and size requirements.

【技术实现步骤摘要】
一种具有无级变速功能的研磨抛光加工方法
本专利技术属于超精密研磨抛光加工
，涉及一种具有无级变速功能的研磨抛光加工方法。
技术介绍
当前的超精密加工技术，以不改变工件材料物理特性为前提，以获得极限的形状精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性为目标，在电子、通信、计算机、激光、航空航天等领域有广泛应用。其中，超光滑抛光加工技术作为是一门重要的超精密加工技术，是获取光学元件、蓝宝石衬底、单晶硅衬底等高精度表面的重要手段之一。平面研磨是超光滑抛光加工技术的前期工序，其加工精度对最终产品的质量有至关重要的影响，抛光将进一步使工件表面粗糙度降低，提高工件的表面完整性。平面研磨抛光中研磨盘和工件盘的转速比对工件被加工表面的质量如平面度和粗糙度有着重要的影响。传统的平面研磨抛光机只可以通过电机转速调节实现简单的转速比变动，对于一些特殊的转速比值，比如无理数很难实现，并且采用有理数转速比进行研磨抛光加工，存在被加工工件表面的研磨轨迹重复问题，容易导致工件表面的粗糙度下降、抛光表面形成波纹以及橘皮等缺陷。因此，创新平面研磨加工运动学方法实现任意转速比值的获取，提高平面研磨加工的表面质量，逐步提升本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有无级变速功能的研磨抛光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将线切割后的矩形薄片试样，通过石蜡沿着圆周方向粘贴在工件盘下表面，为防止塌边，并在试样的两边贴有钢片，将贴有试样的工件盘通过双膜片弹性联轴器连接在旋转主轴上；(2)通过龙门架螺孔和下研磨装置台面螺孔的螺栓连接，将上研磨装置固定在下研磨装置的台面上；(3)启动二维线性丝杠滑台，通过Y轴精密伺服驱动电机，驱动Y轴丝杠滑台，使工件盘沿着Y向达到指定位置，与研磨盘实现固定偏心距，再通过Z轴精密伺服驱动电机，驱动Z轴丝杠滑台，使工件盘沿着Z向下降，快接近研磨盘时停止下降，随后启动研磨盘驱动电机，使研磨盘工作；(4)加工开始时，向开有...

【技术特征摘要】
1.一种具有无级变速功能的研磨抛光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将线切割后的矩形薄片试样，通过石蜡沿着圆周方向粘贴在工件盘下表面，为防止塌边，并在试样的两边贴有钢片，将贴有试样的工件盘通过双膜片弹性联轴器连接在旋转主轴上；(2)通过龙门架螺孔和下研磨装置台面螺孔的螺栓连接，将上研磨装置固定在下研磨装置的台面上；(3)启动二维线性丝杠滑台，通过Y轴精密伺服驱动电机，驱动Y轴丝杠滑台，使工件盘沿着Y向达到指定位置，与研磨盘实现固定偏心距，再通过Z轴精密伺服驱动电机，驱动Z轴丝杠滑台，使工件盘沿着Z向下降，快接近研磨盘时停止下降，随后启动研磨盘驱动电机，使研磨盘工作；(4)加工开始时，向开有凹槽的研磨盘表面加研磨液，随后启动工件盘的驱动电机，使工件盘旋转，工件盘的驱动是工件盘驱动电机经过无级变速机构实现的；所述无级变速机构包括机架、摩擦传动轮组件、花键轴和丝杠滑块调节器，所述机架包括下安装底座、左固定板和右固定板，所述左固定板位于所述下安装底座的左侧，所述右固定板位于所述下安装底座的右侧；所述摩擦传动轮组件包括圆锥滚轮和圆柱滚轮，所述圆锥滚轮与所述圆柱滚轮压紧摩擦配合，所述圆锥滚轮的两端分别通过轴承安装在所述左固定板和右固定板上，其中一端的圆锥滚轮的转轴与所述工件盘驱动电机的输入轴连接；所述圆柱滚轮的内孔为内花键，所述圆柱滚轮套装在所述花键轴上，所述花键轴的两端分别通过轴承安装在所述左固定板和右固定板上，其中一端的花...

【专利技术属性】
技术研发人员：文东辉，吴晓峰，陈珍珍，杨杰，王扬渝，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江,33