The utility model provides a wafer grinding wheel dressing machine, the lifting frame comprises a worktable, a ring gear, a sun wheel, grinding disc, grinding wheel, planetary wheel, dressing wheel, drive mechanism arranged in the working table and the work table is provided with the inner gear ring and the sun wheel are coaxially arranged on the workbench, the lower grinding discs are disposed between the inner ring gear and the sun gear is between the planetary wheel or dressing gear, gear ring and the sun wheel, grinding disc lifting arranged on the lifting frame, the driving mechanism drives the inner gear ring and the sun gear; the planetary wheel a hole is arranged on the chip, the dressing wheel is provided with a plurality of dressing through hole, the through hole of the center of dressing are distributed on the same circumference, revolution direction and repair disk grinding wafer dressing wheel when the revolution direction of the star wheel on tour. The chip grinding machine with a dressing wheel has the advantages of scientific design, strong practicality, simple structure, convenient use and high efficiency.
【技术实现步骤摘要】
带有修整轮的晶片研磨机
本技术涉及了一种带有修整轮的晶片研磨机。
技术介绍
晶片作为成像设备的一种透光器材,在加工过程中需要对晶片的表面进行研磨抛光处理,在对晶片进行研磨抛光处理时,通常需要用到研磨机。现有的研磨机一般均是采用单面研磨的方式来对晶片表面进行研磨抛光处理,而晶片的正反两面通常均需要进行研磨抛光处理,这就需要两道工序,效率不高。此外,晶片长时间研磨后,造成研磨盘表面不平整,此时需要将游星轮换下,放入修整轮对研磨盘进行修整,但是现有的修整轮在研磨盘上扫过的面积不同,修盘效果差。为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种设计科学、实用性强、使用方便、修盘高效的带有修整轮的晶片研磨机。为了实现上述目的,本技术所采用的技术方案是:一种带有修整轮的晶片研磨机,包括工作台、内齿圈、太阳轮、下研磨盘、上研磨盘、游星轮、修整轮、设置在所述工作台内的驱动机构和设置在所述工作台上的升降架,所述内齿圈和所述太阳轮同轴设置在所述工作台上,所述下研磨盘设置在所述内齿圈与所述太阳轮之间的下方,所述游星轮或所述修整轮啮合在所述内齿圈与所述太阳轮之间,所述上研磨盘可升降设置在所述升降架上,所述驱动机构驱动所述内齿圈、所述下研磨盘和所述太阳轮旋转;其中,所述游星轮上设置有晶片装设孔,所述修整轮的每一端面上沿径向开设有多个修整凹槽,所述修整轮上对应所述晶片装设孔还开设有多个修整通孔,所述修整通孔的圆心均布在同一圆周上,修盘时所述修整轮的公转方向与研磨晶片时所述游星轮的公转方向相反。基于上述,所述修整通孔 ...
【技术保护点】
一种带有修整轮的晶片研磨机,其特征在于:包括工作台、内齿圈、太阳轮、下研磨盘、上研磨盘、游星轮、修整轮、设置在所述工作台内的驱动机构和设置在所述工作台上的升降架,所述内齿圈和所述太阳轮同轴设置在所述工作台上,所述下研磨盘设置在所述内齿圈与所述太阳轮之间的下方,所述游星轮或所述修整轮啮合在所述内齿圈与所述太阳轮之间,所述上研磨盘可升降设置在所述升降架上,所述驱动机构驱动所述内齿圈、所述下研磨盘和所述太阳轮旋转;其中,所述游星轮上设置有晶片装设孔,所述修整轮的每一端面上沿径向开设有多个修整凹槽,所述修整轮上对应所述晶片装设孔还开设有多个修整通孔,所述修整通孔的圆心均布在同一圆周上,修盘时所述修整轮的公转方向与研磨晶片时所述游星轮的公转方向相反。
【技术特征摘要】
1.一种带有修整轮的晶片研磨机,其特征在于:包括工作台、内齿圈、太阳轮、下研磨盘、上研磨盘、游星轮、修整轮、设置在所述工作台内的驱动机构和设置在所述工作台上的升降架,所述内齿圈和所述太阳轮同轴设置在所述工作台上,所述下研磨盘设置在所述内齿圈与所述太阳轮之间的下方,所述游星轮或所述修整轮啮合在所述内齿圈与所述太阳轮之间,所述上研磨盘可升降设置在所述升降架上,所述驱动机构驱动所述内齿圈、所述下研磨盘和所述太阳轮旋转;其中,所述游星轮上设置有晶片装设孔,所述修整轮的每一端面上沿径向开设有多个修整凹槽,所述修整轮上对应所述晶片装设孔还开设有多个修整通孔,...
【专利技术属性】
技术研发人员:董振峰,王修新,翟艳飞,
申请(专利权)人:济源石晶光电频率技术有限公司,
类型:新型
国别省市:河南,41
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