凸轮致动丝极夹钳制造技术

一种离子源丝极夹钳(100)具有夹钳构件(102)，其具有第一端部(104)及第二端部(106)。第一端部具有凸轮表面(132)以及凸轮从动件(134)中的一个并且具有彼此相对且由开槽(114)分隔开的第一部分(110)及第二部分(112)，该开槽具有界定于其中的引线开口(116)，用以容置离子源丝极的引线。致动器销(120)沿致动器销轴线(126)延伸并且具有第一区段(122)及第二区段。第一区段(122)被耦接至夹钳构件的第一部分(110)。致动器销延伸贯穿夹钳构件的第二部分中的通孔(128)并且与其滑动啮合。凸轮构件(108)操作式耦接至致动器销(120)的第二区段(124)。凸轮构件具有握柄(13)以及凸轮表面及凸轮从动件中的另一个并且被配置成在夹紧位置与松开位置之间旋转。凸轮从动件(134)滑动接触凸轮表面(132)。在夹紧位置中，凸轮从动件以第一预定方式啮合凸轮表面，因此选择性将夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)压向彼此并且在引线开口内的引线上施加夹持压力，同时引发夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力。在松开位置中，凸轮从动件以第二预定方式啮合凸轮表面，其中，弹性张力使夹钳构件的第一部分与第二部分(110、112)彼此分开地扩张，其中释放引线开口内的引线上的夹持压力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】凸轮致动丝极夹钳
本专利技术大体上涉及离子注入系统，更具体涉及一种用于选择性夹持离子源阴极组件中的丝极的设备。
技术介绍
离子注入系统广泛用于半导体加工中，用于将正离子扩散或注入到半导体工件的区域上。典型地，离子源产生用于注入半导体工件的离子束。离子源通常包括非直接加热的阴极组件，该阴极组件具有用于加热阴极的丝极。具有非直接加热的阴极的常规离子源通常包括有电弧腔室(亦称为电浆腔室)、阴极组件、丝极、绝缘子块、石墨支撑板以及丝极夹钳组件，其中丝极位于由阴极界定的空腔内。阴极借由来自丝极的电子撞击加热，借此阴极在电弧腔室内热电子化地发射电子。相关阴极的组件及丝极位置直接关系到离子源的性能、效率及使用寿命。离子注入系统的阴极组件中所采用的典型丝极包括两条引线与在引线之间延伸的丝极圈。引线通常由相应的丝极夹钳分别保持就位，借此，丝极夹钳的夹爪经由一对旋入相应丝极夹钳的孔眼中的螺丝而围绕引线紧固。至少部分是由于离子源中的极高温度，丝极中的材料会沉积在螺丝的螺纹上，因此使螺丝难以旋入孔眼。类似地，会发生螺纹拉毛，这就可能导致螺纹熔合，因而失去紧固或松开丝极夹钳与引线的能力。此外，离子源中涉及的高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子源丝极夹钳，其包括：夹钳构件，其具有第一端部及第二端部，其中，所述第一端部包括凸轮表面以及凸轮从动件中的一个，以及其中，该夹钳构件包括与其第一端部相关联的彼此相对且由开槽分隔开的第一部分及第二部分，其中，引线开口被进一步界定于所述开槽中并且配置用于容置离子源丝极的引线；致动器销，其沿致动器销轴线延伸，其中，该致动器销的第一区段被耦接至所述夹钳构件的第一部分，以及其中，该致动器销延伸贯穿所述夹钳构件的第二部分中的通孔并且与该通孔滑动啮合；以及凸轮构件，其操作式耦接至所述致动器销的第二区段，其中，该凸轮构件包括握柄以及所述凸轮表面及所述凸轮从动件中的另一个，其中，该凸轮构件被配置成在夹紧位...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.26 US 14/835,7801.一种离子源丝极夹钳，其包括：夹钳构件，其具有第一端部及第二端部，其中，所述第一端部包括凸轮表面以及凸轮从动件中的一个，以及其中，该夹钳构件包括与其第一端部相关联的彼此相对且由开槽分隔开的第一部分及第二部分，其中，引线开口被进一步界定于所述开槽中并且配置用于容置离子源丝极的引线；致动器销，其沿致动器销轴线延伸，其中，该致动器销的第一区段被耦接至所述夹钳构件的第一部分，以及其中，该致动器销延伸贯穿所述夹钳构件的第二部分中的通孔并且与该通孔滑动啮合；以及凸轮构件，其操作式耦接至所述致动器销的第二区段，其中，该凸轮构件包括握柄以及所述凸轮表面及所述凸轮从动件中的另一个，其中，该凸轮构件被配置成在夹紧位置与松开位置之间旋转，其中，所述凸轮从动件被配置成滑动接触所述凸轮表面，以及其中，在夹紧位置中，所述凸轮从动件被配置成以第一预定方式啮合所述凸轮表面，以及其中，在松开位置中，所述凸轮从动件被配置成以第二预定方式啮合所述凸轮表面，其中，在夹紧位置中，所述夹钳构件的第一部分与第二部分被迫使朝向彼此，其中在所述引线开口内的引线上施加夹持压力，以及其中，在松开位置中，所述夹钳构件的第一部分与第二部分被迫使彼此分开，其中释放所述引线开口内的引线上的夹持压力，其中，所述第一预定方式及所述第二预定方式中的一个包括引发所述夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力，以及其中，所述第一预定方式及所述第二预定方式中的另一个包括释放所述夹钳构件的第一部分与第二部分之间的弹性张力。2.如权利要求1所述的离子源丝极夹钳，其中，所述致动器销包括径向延伸贯穿所述致动器销的所述第二区段的连接孔眼，以及其中，所述凸轮构件沿着连接轴线经由延伸贯穿所述连接孔眼的连接销可操作地耦接至所述致动器销。3.如权利要求2所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮构件经由所述连接销旋转式耦接至所述致动器销，以及其中，所述凸轮从动件啮合所述凸轮表面的所述第一预定方式是绕所述连接轴线的旋转式滑动啮合。4.如权利要求3所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮构件包括所述凸轮表面，并且所述夹钳构件的所述第一端部界定所述凸轮从动件。5.如权利要求4所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮表面是由所述凸轮构件的相对于所述握柄的倒圆部分所界定。6.如权利要求5所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮构件的所述倒圆部分绕所述连接轴线形成倒圆。7.如权利要求2所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮构件经由所述连接销固定地耦接至所述致动器销，以及其中，所述凸轮从动件啮合所述凸轮表面的所述第一预定方式是绕所述致动器销轴线的旋转式滑动啮合。8.如权利要求7所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮构件包括所述凸轮从动件，并且所述夹钳构件的所述第一端部界定所述凸轮表面。9.如权利要求8所述的离子源丝极夹钳，其中，所述凸轮表面包括界定于所述夹钳构件的所述第一端部上的楔形件，其中，所述凸轮从动件啮合所述凸轮表面的所述第一预定方式是所述凸轮从动件沿所述楔形件的成角部分随着所述凸轮构件绕所述致动器销轴线的旋转而旋转式滑动啮合。10.如权利要求2所述的离子源丝极夹钳，其中，其中，所述凸轮构件经由所述连接销固定耦接至所述致动器销，以及其中，所述凸轮从动件由自所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·巴格特，杰森·贝灵哲，
申请(专利权)人：艾克塞利斯科技公司，
类型：发明
国别省市：美国,US