具有双热电子源的离子源制造技术

本实用新型专利技术公开一种具有双热电子源的离子源，包含一电弧室及一电源供应装置；其中该电源供应装置的一低压电弧电源供应单元耦接并输出一电压至该电弧室的本体及其两侧的第一及第二热电子源；该电压落在20V至45V电压范围之间，令热电子及离子通过由此电压建立的加速电场后，其能量减弱；该低能量的离子对各该第一及第二热电子源造成的喷溅效应可较和缓，以延长了各该第一及第二热电子源的使用寿命，而低能量的热电子则可避免热电子多次撞击已离子化的离子，有效减少不必要的二价或三价带正电的离子，相对提高离子束(萃取电流)中所需要离子的比例。

Ion source with dual heat source

The utility model discloses an ion source with double hot electron source, contains an arc chamber and a power supply device; wherein the power supply device of a low-voltage arc power supply unit is coupled to the output voltage and the arc chamber body and on both sides of the first and two power Zi Yuan; the voltage drop between 20V to 45V voltage range, so that the thermal electrons and ions are accelerated by an electric field which voltage is established, its energy is reduced; the low energy ion on the effect of the first and two spray hot electron sources can be more gentle, to extend the first and the two heat source of electronic service life, and low hot electrons energy can avoid the repeated impact of hot electron ions have been ionized, effectively reduce the two divalent positively charged ions unnecessary, relative increase of ion beam (extraction current) required ratio of ion Cases.

【技术实现步骤摘要】
具有双热电子源的离子源
本技术涉及一种离子布植机的离子源，尤其涉及一种具有双热电子源的离子源。
技术介绍
离子布植机在半导体工艺中是用以对半导体晶圆中的待掺杂区进行离子布植，而该离子布植机中的离子源是用来产生离子布植用的离子束，而目前离子源依照不同的热电子产生方式概有二种：其中一种伯纳式离子源(BernasIonSource)，另一种为间接加热阴极式离子源(Indirectly-Heated-CathodeIonSource；IHCIonSource)。请配合参阅图6A所示，伯纳式离子源的热电子源直接采用一灯丝62，该灯丝62自一电弧室60外壳61一侧向内穿经并固定于该侧的内板611。当该灯丝62通电后，灯丝62温度会升高，当灯丝62温度升高至达到一定高温后会产生电子。此时，再提供一高压(一般为60至150V)予该电弧室60的内板611，使得电弧室60内构成一电子的加速电场，以吸引该灯丝62的电子至该电弧室60中，使该电弧室60内的掺杂源气体离子化而产生不同种类的离子。惟，在离子化过程中该灯丝62经常性被离子喷溅，故该灯丝62容易损坏而需更换。为提高灯丝62的使用寿命，如图6B所示的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有双热电子源的离子源，其特征在于，包括：一电弧室，包含有：一本体，具有一放电空间；一第一热电子源，自该本体的一第一侧穿入并电绝缘固定于该第一侧，以曝露于该本体的放电空间中；及一第二热电子源，自该本体的一第二侧穿入并电绝缘固定于该第二侧，以曝露于该本体的放电空间中；以及一电源供应装置，包含有：一加热电源供应单元，耦接至该第一及第二热电子源，构成一电流回路；及一产生20V至45V输出电压的低压电弧电源供应单元，耦接至该电弧室的本体及该第一及第二热电子源，并同时输出电压至该第一及第二热电子源。

【技术特征摘要】
2016.07.18 TW 1051225871.一种具有双热电子源的离子源，其特征在于，包括：一电弧室，包含有：一本体，具有一放电空间；一第一热电子源，自该本体的一第一侧穿入并电绝缘固定于该第一侧，以曝露于该本体的放电空间中；及一第二热电子源，自该本体的一第二侧穿入并电绝缘固定于该第二侧，以曝露于该本体的放电空间中；以及一电源供应装置，包含有：一加热电源供应单元，耦接至该第一及第二热电子源，构成一电流回路；及一产生20V至45V输出电压的低压电弧电源供应单元，耦接至该电弧室的本体及该第一及第二热电子源，并同时输出电压至该第一及第二热电子源。2.根据权利要求1所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于：该第一热电子源包含有一灯丝；该第二热电子源包含有一灯丝，其一端连接至该第一热电子的灯丝的一端；该加热电源供应单元包含一灯丝电源供应单元，其正、负电极分别连接至该第一及第二热电子源的灯丝的另一端，以构成该电流回路；以及该低压电弧电源供应单元的负电极连接至该电流回路，以与该第一及第二热电子源的灯丝耦接，而正电极则连接至该本体。3.根据权利要求1所述的具有双热电子源的离子源，其特征在于：该第一热电子源包含有一灯丝及一覆盖该第一热电子源的灯丝的阴极；该第二热电子源包含有一灯丝及一覆盖该第二热电子源的灯丝的阴极；其中该第二热电子源的灯丝的其中一端连接至该第一热电子的灯丝的其中一端，且该第二热电子源的阴极连接至该第一热电子源的阴极；该加热电源供应单元包含：一灯丝电源供应单元，其正、负电极分别连接至该第一及第二热电子源的灯丝的另一端，以构成该电流回路；以及一偏流电源供应单元，其正电极连接至其中一阴极，其负电极则连接至该电流回路，以与该第一及第二热电子源的灯丝耦接；以及该低压电弧电源供应单元的负电极连接至该偏流电源供应单元的正电...

【专利技术属性】
技术研发人员：粘俊能，
申请(专利权)人：粘俊能，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71