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本实用新型公开一种具有双热电子源的离子源，包含一电弧室及一电源供应装置；其中该电源供应装置的一低压电弧电源供应单元耦接并输出一电压至该电弧室的本体及其两侧的第一及第二热电子源；该电压落在20V至45V电压范围之间，令热电子及离子通过由此电压...
该专利属于粘俊能所有，仅供学习研究参考，未经过粘俊能授权不得商用。

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