带电粒子显微镜的观察辅助单元以及使用该观察辅助单元的试料观察方法技术

为了以良好的便利性在大气气氛或气体气氛或所希望的压力下观察含水试料，本发明专利技术提供一种观察辅助单元，其用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离。该观察辅助单元包括形成观察试料(6)的观察区域的孔部(501a)、以及将所述试料覆盖的主体部(502b)，并在所述试料(6)与所述隔膜之间，直接放置在所述试料上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带电粒子显微镜的观察辅助单元以及使用该观察辅助单元的试料观察方法
本专利技术涉及能在大气压下、所希望的气体压力下或者气体种类下对试料进行观察的带电粒子束装置以及针对该带电粒子束装置的观察辅助单元。
技术介绍
为了观察物体的微小区域，使用扫描型电子显微镜(SEM)、透射型电子显微镜(TEM)等。通常，这些装置中，对用于配置试料的壳体进行抽真空，使试料气氛变为真空状态来拍摄试料。然而，在生物试料、液体试料等含水试料的情况下，会因真空而受到损坏，或者状态发生改变。另一方面，由于想要用电子显微镜观察这种试料的需求较大，因此迫切需要能在大气压下、所希望的气体压力下或者气体种类下对观察对象试料进行观察的SEM装置。为此，近年来已知一种SEM装置，在电子光学系统与试料之间设置能供电子束透射的隔膜、微孔来将电子束飞行的真空状态与试料气氛下隔开，从而能将试料配置于大气压下、所希望的气体压力下或者气体种类下。专利文献1中，公开了使用配置在隔膜正下方的试料平台，在隔膜与试料非接触的状态下对大气压下的试料进行SEM观察，以及为了观察而调整试料的位置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2012-22本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种观察辅助单元，用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：孔部，该孔部形成对所述试料进行观察的观察区域；以及主体部，该主体部覆盖所述试料，该观察辅助单元在所述试料与所述隔膜之间，并直接放置在所述试料上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种观察辅助单元，用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：孔部，该孔部形成对所述试料进行观察的观察区域；以及主体部，该主体部覆盖所述试料，该观察辅助单元在所述试料与所述隔膜之间，并直接放置在所述试料上。2.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，该观察辅助单元确保所述隔膜与所述试料处于非接触的状态。3.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，所述孔部的大小在所述隔膜的供带电粒子束透过的部分、即窗部的大小以上。4.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，所述主体部的大小大于对所述隔膜进行保持的隔膜保持构件的大小。5.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，所述孔部小于对所述隔膜进行保持的隔膜保持构件的大小。6.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，所述主体部的所述孔部周围的厚度恒定。7.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，所述主体部的所述孔部周围的厚度比所述带电粒子束所涉及的观察条件下的该带电粒子束的平均自由程要小。8.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，该观察辅助单元的外周部比所述主体部的所述孔部周围更厚或者更硬。9.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，包括密封构件，该密封构件对所述主体部与供所述试料放置的试料台之间的空间进行密封。10.如权利要求9所述的观察辅助单元，其特征在于，由所述密封构件密封的所述主体部与供所述试料放置的试料台之间的空间通过面积比所述孔部...

【专利技术属性】
技术研发人员：大南祐介，久田明子，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：日本,JP