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为了以良好的便利性在大气气氛或气体气氛或所希望的压力下观察含水试料，本发明提供一种观察辅助单元，其用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离。该观察辅助单元包...
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