一种用于真空泵旁通阀的排气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于真空泵旁通阀的排气装置，包括底座，所述底座上垂直设置有导向杆，所述导向杆上套设有浮球，所述浮球能够沿着导向杆的轴向移动，所述导向杆上在浮球和底座之间套设有弹簧，所述弹簧一端与底座连接，另一端与浮球连接。本实用新型专利技术通过设置弹簧，一方面能够避免弹簧过度上升与底座接触，另一方面在浮球下降时，由于弹簧具有回复力和一定的长度，能够缩短浮球下降的时间和距离，并且浮球下降平稳，能够避免真空度波动，进而提高了真空泵旁通阀的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空泵旁通阀的排气装置
本技术涉及晶硅太阳能制造
，具体涉及一种用于真空泵旁通阀的排气装置。
技术介绍
在晶硅太阳能制造过程中，工艺舟需跳步，重新进管工艺，设备需清洁真空泵旁路，在旁路中需要设置真空泵旁通阀，在真空泵旁通阀内设置有用于排气的排气阀。现有的排气阀主要包括圆盘和浮球，通过浮球的上升与下降实现真空泵旁通阀的排气与密封。现有的排气阀在排气后，落下时位置偏差导致真空度波动，使得真空泵旁通阀的密封性差，不能保证炉管工艺时恒定的压力。
技术实现思路
本实用的目的在于提供一种用于真空泵旁通阀的排气装置，解决现有的排气阀在排气后导致真空泵旁通阀密封性差的问题。本技术通过下述技术方案实现：一种用于真空泵旁通阀的排气装置，包括底座，所述底座上垂直设置有导向杆，所述导向杆上套设有浮球，所述浮球能够沿着导向杆的轴向移动，所述导向杆上在浮球和底座之间套设有弹簧，所述弹簧一端与底座连接，另一端与浮球连接。现有的排气阀在排气后，落下时位置偏差导致真空度波动，使得真空泵旁通阀的密封性差，不能保证炉管工艺时恒定的压力。本技术的工作原理：当真空泵旁通阀压力过大，需要排气时，真空泵旁通阀内的气流将浮球往上顶，进行排气，排气结束后，浮球在自重和弹簧回复力的共同作用下下落回到原位将真空泵旁通阀密封。本技术通过设置弹簧，一方面能够避免弹簧过度上升与底座接触，另一方面在浮球下降时，由于弹簧具有回复力和一定的长度，能够缩短浮球下降的时间和距离，并且浮球下降平稳，能够避免真空度波动，进而提高了真空泵旁通阀的密封性。进一步地，导向杆为圆形杆。进一步地，浮球的内壁设置有导向槽，所述导向槽与浮球的轴向平行设置，所述导向杆上设置有与导向槽配合的凸起。所述导向槽在凸起外壁滑动，对浮球的上升和下降起到导向作用，能够有效避免浮球在上升和下降过程中出现偏差，进一步提高了真空泵旁通阀的密封性。进一步地，导向槽为弧形槽，所述凸起的弧形凸起。具体地，所述弧形凸起具体是指在径向上截面的圆弧结构。弧形槽与弧形凸起的配合在滑动时具有较小的阻力。进一步地，导向槽对称设置有2个。设置2个导向槽有利于提高导向的稳定性。进一步地，底座和浮球上均设置有与弹簧配合的卡槽，所述弹簧与卡槽过盈配合实现弹簧与底座、浮球连接。进一步地，弹簧的两端设置有挂钩，所述底座和浮球上均设置有与挂钩配合的挂环，通过挂钩卡入挂环内实现弹簧与底座、浮球连接。进一步地，底座的内侧设置有减震片，所述减震片套设在导向杆外壁，所述弹簧与减震片连接。所述减震片的设置能够避免浮球在上升过程中冲击底座，有利于保护底座。提高整个排气装置的使用寿命。进一步地，减震片的尺寸小于底座的尺寸。进一步地，底座和浮球采用生铁制成。生铁物美价廉，有利于节约成本。本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：本技术通过设置弹簧，一方面能够避免弹簧过度上升与底座接触，另一方面在浮球下降时，由于弹簧具有回复力和一定的长度，能够缩短浮球下降的时间和距离，并且浮球下降平稳，能够避免真空度波动，进而提高了真空泵旁通阀的密封性。附图说明此处所说明的附图用来提供对本技术实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本技术实施例的限定。在附图中：图1是排气装置的结构示意图；图2是浮球的结构示意图。附图中标记及对应的零部件名称：1-底座，2-弹簧，3-浮球，4-导向杆，31-导向槽。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本技术作进一步的详细说明，本技术的示意性实施方式及其说明仅用于解释本技术，并不作为对本技术的限定。实施例1：如图1所示，一种用于真空泵旁通阀的排气装置，包括底座1，所述底座1上垂直设置有导向杆4，所述导向杆4为圆形杆，所述导向杆4上套设有浮球3，所述浮球3能够沿着导向杆4的轴向移动，所述导向杆4上在浮球3和底座1之间套设有弹簧2，所述弹簧2一端与底座1连接，另一端与浮球3连接，具体地，所述底座1和浮球3上均设置有与弹簧2配合的卡槽，所述弹簧2与卡槽过盈配合实现弹簧2与底座1、浮球3连接。实施例2：如图1所示，本实施例基于实施例1，与实施例1的区别在于：所述弹簧2的两端设置有挂钩，所述底座1和浮球3上均设置有与挂钩配合的挂环，通过挂钩卡入挂环内实现弹簧2与底座1、浮球3连接。实施例3：如图1、图2所示，本实施例基于实施例1或实施例2，所述浮球3的内壁设置有导向槽31，所述导向槽31与浮球3的轴向平行设置，所述导向杆4上设置有与导向槽31配合的凸起。实施例4：如图1、图2所示，本实施例基于实施例3，所述导向槽31为弧形槽，所述凸起的弧形凸起；所述导向槽31对称设置有2个。实施例5：如图1、图2所示，本实施例基于实施例1至实施例3任一项，所述底座1的内侧设置有减震片，所述减震片套设在导向杆4外壁，所述弹簧2与减震片连接；所述减震片的尺寸小于底座1的尺寸；所述底座1和浮球3采用生铁制成。以上所述的具体实施方式，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施方式而已，并不用于限定本技术的保护范围，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空泵旁通阀的排气装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上垂直设置有导向杆(4)，所述导向杆(4)上套设有浮球(3)，所述浮球(3)能够沿着导向杆(4)的轴向移动，所述导向杆(4)上在浮球(3)和底座(1)之间套设有弹簧(2)，所述弹簧(2)一端与底座(1)连接，另一端与浮球(3)连接。

【技术特征摘要】
1.一种用于真空泵旁通阀的排气装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上垂直设置有导向杆(4)，所述导向杆(4)上套设有浮球(3)，所述浮球(3)能够沿着导向杆(4)的轴向移动，所述导向杆(4)上在浮球(3)和底座(1)之间套设有弹簧(2)，所述弹簧(2)一端与底座(1)连接，另一端与浮球(3)连接。2.根据权利要求1所述的一种用于真空泵旁通阀的排气装置，其特征在于，所述导向杆(4)为圆形杆。3.根据权利要求1所述的一种用于真空泵旁通阀的排气装置，其特征在于，所述浮球(3)的内壁设置有导向槽(31)，所述导向槽(31)与浮球(3)的轴向平行设置，所述导向杆(4)上设置有与导向槽(31)配合的凸起。4.根据权利要求3所述的一种用于真空泵旁通阀的排气装置，其特征在于，所述导向槽(31)为弧形槽，所述凸起的弧形凸起。5.根据权利要求3所述的一种用于真空泵旁通阀的排气装置，其特征在于，所述导向槽(31...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱雷，
申请(专利权)人：四川英发太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51