一种多晶硅生产用还原炉制造技术

一种多晶硅生产用还原炉，包括底座和安装在底座上端的壳体，底座上端设置有行星环绕装置，行星环绕装置包括有驱动环、第一固定环、第二固定环、硅芯安装盘和驱动电机，第一固定环内侧开有齿面，第二固定环外侧开有齿面，驱动环内外两侧均开有齿面，驱动环与驱动装置机械连接，且与第一固定环之间、第二固定环之间分别啮合有若干硅芯安装盘，硅芯安装盘上均安装有一对紧固件，紧固件上固定有U形加热器。行星环绕装置的设置能够有效提高还原炉内硅料沉积效率，提升了生产效率，且硅料沉积更加均匀、稳定，产品更为美观，规格更加统一。

A reduction furnace for polysilicon production

A reduction furnace for polysilicon production, which comprises a base and a casing is arranged at the upper end of the base, the base is provided with a planet device comprises a driving device, a first fixing ring, second ring, a fixed ring, silicon core installation disc and the drive motor around the planet, the first fixed rings are arranged on the inner side of the tooth surface, second fixed on the outer side of the ring a tooth, a driving ring on both sides are provided with tooth surface, the drive ring and drive the mechanical connection between the first and second fixed ring fixing ring are respectively engaged with several silicon core installation disk, silicon core installation disk are arranged on a pair of fasteners, U shaped heater fixed fasteners. The installation of the planetary surround device can effectively improve the deposition efficiency of silicon material in the reduction furnace and increase the production efficiency, and the silicon material deposition is more uniform and stable, and the product is more beautiful and the specifications are more uniform.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用还原炉
本技术属于多晶硅生产技术和设备领域，具体涉及一种多晶硅生产用还原炉。
技术介绍
在多晶硅生产行业现多采用改良西门子法，其主要原理就是通过氢气还原三氯氢硅得到所需的多晶硅原料，在这一过程中，涉及到最主要的化工设备即为还原炉，随着还原炉的开发和研究技术的不断成熟，对于如何进一步提升硅料沉积速率以及沉积均匀程度的课题逐渐陷入瓶颈。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术提供一种生产效率高、沉积均匀的多晶硅生产用还原炉。本技术是通过以下技术方案实现的：一种多晶硅生产用还原炉，包括底座和安装在所述底座上端的壳体，所述底座上端设置有行星环绕装置，所述行星环绕装置包括有驱动环、第一固定环、第二固定环、硅芯安装盘和驱动电机，所述第一固定环内侧开有齿面，所述第二固定环外侧开有齿面，所述驱动环内外两侧均开有齿面，所述驱动环与所述驱动装置机械连接，且与所述第一固定环之间、第二固定环之间分别啮合有若干所述硅芯安装盘，所述硅芯安装盘上均安装有一对紧固件，所述紧固件上固定有U形加热器。所述驱动装置安装于所述底座底部。所述壳体包括内隔热筒和外保温罩。所述壳体上开设有观察窗。所述驱动电机输本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：包括底座(1)和安装在所述底座(1)上端的壳体(2)，所述底座(1)上端设置有行星环绕装置(3)，所述行星环绕装置(3)包括有驱动环(4)、第一固定环(5)、第二固定环(6)、硅芯安装盘(7)和驱动电机(8)，所述第一固定环(5)内侧开有齿面，所述第二固定环(6)外侧开有齿面，所述驱动环(4)内外两侧均开有齿面，所述驱动环(4)与所述驱动电机(8)机械连接，且与所述第一固定环(5)之间、第二固定环(6)之间分别啮合有若干所述硅芯安装盘(7)，所述硅芯安装盘(7)上均安装有一对紧固件(9)，所述紧固件(9)上固定有U形加热器(10)。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：包括底座(1)和安装在所述底座(1)上端的壳体(2)，所述底座(1)上端设置有行星环绕装置(3)，所述行星环绕装置(3)包括有驱动环(4)、第一固定环(5)、第二固定环(6)、硅芯安装盘(7)和驱动电机(8)，所述第一固定环(5)内侧开有齿面，所述第二固定环(6)外侧开有齿面，所述驱动环(4)内外两侧均开有齿面，所述驱动环(4)与所述驱动电机(8)机械连接，且与所述第一固定环(5)之间、第二固定环(6)之间分别啮合有若干所述硅芯安装盘(7)，所述硅芯安装盘(7)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐小萍，何其金，迮德娟，张靖，方艺霖，何飞，
申请(专利权)人：江苏康博新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32