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一种多晶硅生产用还原炉,包括底座和安装在底座上端的壳体,底座上端设置有行星环绕装置,行星环绕装置包括有驱动环、第一固定环、第二固定环、硅芯安装盘和驱动电机,第一固定环内侧开有齿面,第二固定环外侧开有齿面,驱动环内外两侧均开有齿面,驱动环与驱...该专利属于江苏康博新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏康博新材料科技有限公司授权不得商用。
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一种多晶硅生产用还原炉,包括底座和安装在底座上端的壳体,底座上端设置有行星环绕装置,行星环绕装置包括有驱动环、第一固定环、第二固定环、硅芯安装盘和驱动电机,第一固定环内侧开有齿面,第二固定环外侧开有齿面,驱动环内外两侧均开有齿面,驱动环与驱...