【技术实现步骤摘要】
一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法
本专利技术涉及集成电路制造技术的
,尤其涉及侧墙刻蚀的
技术介绍
现有的堆栈式感光元件完全把电路层放到了像素层的下方,这样的进光量会更加大,而且堆栈式在R(红)G(绿)B(蓝)的三原色像素点中加入了W(白)像素,这样使得在暗的环境中拍摄到亮度更高的照片。而在目前55纳米UTS(UltraThinStack)图像传感器既超薄堆栈式图像传感器的制作工艺中,刻蚀步骤对器件的性能影响很大。刻蚀过程造成的损伤会导致缺陷,从而容易产生漏电流,最终形成whitepixel(白色像素是屏幕上出现故障的彩色像素),影响使用。
技术实现思路
针对上述不足,本专利技术的目的是提供一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,减少不必要的刻蚀区域,降低刻蚀损伤,改善白色像素。为了达到上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其中,包括:步骤一、对晶圆的上表面涂布光刻胶;步骤二、对所述光刻胶图形化,露出第一工艺窗和第二工艺窗;步骤三、通过所述第一工艺窗和所述第二工艺窗将第二侧墙去除;步骤四、对所述第二侧墙去除后露出的部分进行离子注入;步骤五、对所述光刻胶进行去胶。上述一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其中,所述第一工艺窗和所述第二工艺窗分别位于栅极的两侧,并且所述第一工艺窗和所述第二工艺窗位于源极和漏极的上方。上述一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其中,所述第一工艺窗和所述第二工艺窗贯穿至所述第二侧墙的上方。上述一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其中,所述步骤二的去除第二侧墙的工艺为等离子体刻蚀,所述等离子 ...
【技术保护点】
一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其特征在于,包括:步骤一、对晶圆的上表面涂布光刻胶;步骤二、对所述光刻胶图形化,露出第一工艺窗和第二工艺窗;步骤三、通过所述第一工艺窗和所述第二工艺窗将第二侧墙去除;步骤四、对所述第二侧墙去除后露出的部分进行离子注入;步骤五、对所述光刻胶进行去胶。
【技术特征摘要】
1.一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其特征在于,包括:步骤一、对晶圆的上表面涂布光刻胶;步骤二、对所述光刻胶图形化,露出第一工艺窗和第二工艺窗;步骤三、通过所述第一工艺窗和所述第二工艺窗将第二侧墙去除;步骤四、对所述第二侧墙去除后露出的部分进行离子注入;步骤五、对所述光刻胶进行去胶。2.根据权利要求1所述一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其特征在于,所述第一工艺窗和所述第二工艺窗分别位于栅极的两侧,并且所述第一工艺窗和所述第二工艺窗位于源极和漏极的上方。3.根据权利要求1所述一种部分侧墙刻蚀改善白色像素的方法,其特征在于,所述第一工艺窗和所述第二工艺窗贯穿至所述第二侧...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙赛,俞敏,曹亚民,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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