硅片化学减薄设备制造技术

本发明专利技术涉及一种硅片化学减薄设备，包括盛装混酸液体的箱体，其特征在于：箱体底面利用立柱固定有水平支撑板，水平支撑板下方固定有气体鼓泡盒且水平支撑板上开设有与气体鼓泡盒相通的矩阵状气泡通孔，水平支撑板上方设有支架且所述支架上支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，旋转提篮由两个圆形固定板、横向布置于两个圆形固定板之间的四根提篮杆组成，四根提篮杆以圆形固定板的中心线为对称中心均匀分布，提篮杆沿其长度方向均匀设有多个径向环形槽，四根提篮杆的径向环形槽位置相互对应且形成多个垂直方向的硅片装夹槽。其结构设计合理、操作简单，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
硅片化学减薄设备
本专利技术涉及硅片单面减薄技术，特别是一种适用于功率半导体器件生产过程中的硅片化学减薄设备。
技术介绍
硅片单面减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺，单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数，以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前，国内其他企业都采用常规减薄工艺，即用磨床减薄，其存在如下问题：减薄的均匀性差，减去的厚度难以精确控制，容易碎片，而且经过金刚砂研磨，又引入杂质，造成硅片表面态难以控制。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了提供一种解决上述问题的结构设计合理、操作简单的硅片化学减薄设备，实现硅片单面化学减薄，不仅生产批量大，而且提高了成品率，节省资源，降低生产成本。本专利技术的技术方案是：一种硅片化学减薄设备，包括盛装混酸液体的箱体，其特征在于：所述箱体底面利用立柱固定有水平支撑板，所述水平支撑板下方固定有气体鼓泡盒且水平支撑板上开设有与气体鼓泡盒相通的矩阵状气泡通孔，所述水平支撑板上方设有支架且所述支架上支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，所述旋转提篮由两个圆形固定板、横向布置于两个圆形固定板之间的四根提篮杆组成，四根提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片化学减薄设备，包括盛装混酸液体的箱体，其特征在于：所述箱体底面利用立柱固定有水平支撑板，所述水平支撑板下方固定有气体鼓泡盒且水平支撑板上开设有与气体鼓泡盒相通的矩阵状气泡通孔，所述水平支撑板上方设有支架且所述支架上支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，所述旋转提篮由两个圆形固定板、横向布置于两个圆形固定板之间的四根提篮杆组成，四根提篮杆以圆形固定板的中心线为对称中心均匀分布，所述提篮杆沿其长度方向均匀设有多个径向环形槽，四根提篮杆的径向环形槽位置相互对应且形成多个垂直方向的硅片装夹槽，所述圆形固定板外侧设有支撑在支架上的同心转轴，所述同心转轴利用传动机构与设于箱体外侧的驱动电机相连，所述箱体内...

【技术特征摘要】
1.一种硅片化学减薄设备，包括盛装混酸液体的箱体，其特征在于：所述箱体底面利用立柱固定有水平支撑板，所述水平支撑板下方固定有气体鼓泡盒且水平支撑板上开设有与气体鼓泡盒相通的矩阵状气泡通孔，所述水平支撑板上方设有支架且所述支架上支撑有用于装夹硅片的旋转提篮，所述旋转提篮由两个圆形固定板、横向布置于两个圆形固定板之间的四根提篮杆组成，四根提篮杆以圆形固定板的中心线为对称中心均匀分布，所述提篮杆沿其长度方向均匀设有多个径向环形槽，四根提篮杆的径向环形槽位置相互对应且形成多个垂直方向的硅片装夹槽，所述圆形固定板外侧设有支撑在支架上的同心转轴，所述同心转轴利用传动机构与设于箱体外侧的驱动电机相连，所述箱体内另设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫朝光，
申请(专利权)人：宫朝光，
类型：发明
国别省市：辽宁,21