温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种硅片化学减薄设备，包括盛装混酸液体的箱体，其特征在于：箱体底面利用立柱固定有水平支撑板，水平支撑板下方固定有气体鼓泡盒且水平支撑板上开设有与气体鼓泡盒相通的矩阵状气泡通孔，水平支撑板上方设有支架且所述支架上支撑有用于装夹硅片的...
该专利属于宫朝光所有，仅供学习研究参考，未经过宫朝光授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。