The utility model discloses an adjustable clamp wafer cutting machine, the base has placed the third connecting groove, and a wedge spring, wedge block is connected with a spacing ring, wedge through the first slot and movably connected with a top pillar pillar in sliding connection with the groove, the top column is connected with the screw thread rod, threaded rod fixed on the bottom surface of the cavity, the first gear and the second gear, second gear connected to the first shaft, a first shaft through the bottom of the first cavity, and is connected with the third gear, third gear meshing with the fourth gear, fourth gear is fixedly connected with the second rotating shaft, the utility model by using the limiting ring fixed from four directions, so as to ensure the stability of the wafer, will not tilt in the cutting process, further fixed on the bottom of the plate, can be adjusted by the splint, wedge The extension distance is used to adapt to the wafer without the coarse and fine size, and it is convenient to operate and clamp, and improve the efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割机的可调夹具
本技术涉及芯片制造
,具体为一种晶圆切割机的可调夹具。
技术介绍
随着科技的发展,集成电路的集成度越来越高,种类也越来越多,所使用的晶圆也越来越多,晶圆是指是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆,晶圆是制造半导体芯片的基本材料,晶圆是通过切割机把晶圆柱切割后剖光打磨后的产品,为了确保成品率需要对晶圆柱进行固定,目前有的夹具在夹紧的过程中不能保证晶圆柱的稳定,不能从多个方向进行固定,且不能适用于粗细不用的晶圆柱,从而不能生产出不用大小的晶圆,有的夹具虽能夹紧,但是拆装麻烦,影响工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆切割机的可调夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种晶圆切割机的可调夹具,包括底座,所述底座顶部中心开有放置槽,所述放置槽内壁的顶部周向开有四个第一滑槽,所述第一滑槽的内壁上均与第三弹簧的一端固定连接,所述第三弹簧的另一端与楔块的一端固定连接,所述楔块的另一端与限位环固定连接,所述楔块靠近第三弹簧的一端开有第一插槽,楔块通过第一插槽活动连接有顶柱,所述顶柱滑动连接在凹槽内,所述凹槽开在底座的内部,所述顶柱通过螺纹连接有螺纹杆,所述螺纹杆的底部贯穿第一齿轮固定连接在第一空腔的底面,所述第一空腔位于底座内,所述第一齿轮与第二齿轮啮合,所述第二齿轮的中心固定连接有第一转轴,所述第一转轴贯穿第一空腔的底面,且伸入第二空腔的一端固定连接有第三齿轮,所述第二空腔位于底座内,且位于第一空腔的下方,所述第三齿轮与第四齿轮啮合,所述第四齿轮的中心固定连接有第 ...
【技术保护点】
一种晶圆切割机的可调夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部中心开有放置槽(15),所述放置槽(15)内壁的顶部周向开有四个第一滑槽(29),所述第一滑槽(29)的内壁上均与第三弹簧(2)的一端固定连接,所述第三弹簧(2)的另一端与楔块(3)的一端固定连接,所述楔块(3)的另一端与限位环(27)固定连接,所述楔块(3)靠近第三弹簧(2)的一端开有第一插槽(28),楔块(3)通过第一插槽(28)活动连接有顶柱(4),所述顶柱(4)滑动连接在凹槽(5)内,所述凹槽(5)开在底座(1)的内部,所述顶柱(4)通过螺纹连接有螺纹杆(6),所述螺纹杆(6)的底部贯穿第一齿轮(7)固定连接在第一空腔(8)的底面,所述第一空腔(8)位于底座(1)内,所述第一齿轮(7)与第二齿轮(9)啮合,所述第二齿轮(9)的中心固定连接有第一转轴(10),所述第一转轴(10)贯穿第一空腔(8)的底面,且伸入第二空腔(11)的一端固定连接有第三齿轮(12),所述第二空腔(11)位于底座(1)内,且位于第一空腔(8)的下方,所述第三齿轮(12)与第四齿轮(13)啮合,所述第四齿轮(13)的中心固定连接有第二转 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割机的可调夹具,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)顶部中心开有放置槽(15),所述放置槽(15)内壁的顶部周向开有四个第一滑槽(29),所述第一滑槽(29)的内壁上均与第三弹簧(2)的一端固定连接,所述第三弹簧(2)的另一端与楔块(3)的一端固定连接,所述楔块(3)的另一端与限位环(27)固定连接,所述楔块(3)靠近第三弹簧(2)的一端开有第一插槽(28),楔块(3)通过第一插槽(28)活动连接有顶柱(4),所述顶柱(4)滑动连接在凹槽(5)内,所述凹槽(5)开在底座(1)的内部,所述顶柱(4)通过螺纹连接有螺纹杆(6),所述螺纹杆(6)的底部贯穿第一齿轮(7)固定连接在第一空腔(8)的底面,所述第一空腔(8)位于底座(1)内,所述第一齿轮(7)与第二齿轮(9)啮合,所述第二齿轮(9)的中心固定连接有第一转轴(10),所述第一转轴(10)贯穿第一空腔(8)的底面,且伸入第二空腔(11)的一端固定连接有第三齿轮(12),所述第二空腔(11)位于底座(1)内,且位于第一空腔(8)的下方,所述第三齿轮(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆孙华,
申请(专利权)人:苏州英尔捷微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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