下载一种晶圆切割机的可调夹具的技术资料

文档序号:17640180

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本实用新型公开了一种晶圆切割机的可调夹具,所述底座开有放置槽,所述第三弹簧与楔块连接,楔块与限位环连接,楔块通过第一插槽活动连接有顶柱,顶柱滑动连接在凹槽内,顶柱连接有螺纹杆,螺纹杆固定在第一空腔的底面,第一齿轮与第二齿轮啮合,第二齿轮连接...
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