电感元件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种电感元件及其制造方法，能够提高Q值。电感元件具有：基体，该基体包含相互对置的2个端面以及连接在2个端面之间的底面；线圈，该线圈设置在基体内，并卷绕成螺旋状；以及2个外部电极，该2个外部电极设置于基体，并与线圈电连接。一方的外部电极遍及一方的端面与底面地形成，另一方的外部电极遍及另一方的端面与底面地形成。线圈配置为其轴向沿着2个端面以及底面。线圈包括沿着与轴向正交的平面卷绕的线圈布线。线圈布线的深宽比在1.0以上且不足8.0。

Inductor and its manufacturing method

The present invention provides an inductance element and a manufacturing method, which can improve the Q value. Inductance element has a base, the bottom surface of the substrate comprises 2 end surfaces opposite to each other and connected between the 2 end of the coil, the coil is arranged; in the matrix, and wound into a spiral shape; and 2 external electrodes, the 2 external electrodes arranged on the substrate, and electrically connected with the coil. The external electrode of one side is formed throughout the end face of one side and the external electrode of the other is formed throughout the end face and bottom surface of the other side. The coil is arranged in the axial direction along the 2 end faces and the bottom. A coil consists of a coil that is coiled along a plane that is perpendicular to the axis. The depth and width ratio of the coil wiring is above 1 and less than 8.

【技术实现步骤摘要】
电感元件及其制造方法
本公开涉及电感元件及其制造方法。
技术介绍
以往，作为电感元件，存在日本特开2014-107513号公报(专利文献1)所记载的电感元件。该电感元件具有：包括安装面的部件主体；以及形成于安装面的外部电极。部件主体具有：由多个绝缘体层构成的基体；以及设置在基体内并卷绕成螺旋状的线圈。线圈由形成在绝缘体层上的线圈布线、以及贯通绝缘体层并将多个线圈布线串联地电连接的通孔布线构成。线圈的轴相对于安装面大致平行。通孔布线仅形成于距安装面最远的边。由此，能够增大外部电极与通孔布线的距离，减小外部电极与线圈导体之间的杂散电容，从而实现Q特性的提高。专利文献1：日本特开2014-107513号公报然而，在上述现有的电感元件中，Q值的提高还不够充分，特别是在高频下的Q值的提高方面存在改善的余地。
技术实现思路
因此，本公开的课题在于提供一种能够提高Q值的电感元件。为了解决上述课题，作为本公开的一个方式的电感元件具备：基体，该基体包括相互对置的2个端面以及连接在上述2个端面之间的底面；线圈，该线圈设置在上述基体内，并卷绕成螺旋状；以及2个外部电极，该2个外部电极设置于上述基体，并与上述线圈电连接，一方的上述外部电极遍及一方的上述端面与上述底面地形成，另一方的上述外部电极遍及另一方的上述端面与上述底面地形成，上述线圈配置为其轴向沿着上述2个端面以及上述底面，上述线圈包括沿着与上述轴向正交的平面卷绕的线圈布线，上述线圈布线的深宽比在1.0以上且不足8.0。这里，线圈布线的深宽比是指(线圈布线的线圈的轴向的厚度)/(线圈布线的布线宽度)。此外，线圈的轴向是指与线圈卷绕的螺旋的中心轴平行的方向。另外，线圈布线的布线宽度是指与线圈布线的延伸方向正交的截面(横截面)中的与线圈的轴向正交的方向的宽度。根据上述电感元件，能够提高Q值。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈布线的深宽比在1.5以上且不足6.0。根据上述实施方式，能够进一步提高Q值。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈布线由相互面接触而层叠的多个线圈导体层构成。根据上述实施方式，能够形成深宽比高且矩形度高的线圈布线。另外，在电感元件的一个实施方式中，构成上述线圈布线的上述多个线圈导体层形成为：彼此的布线长度相等，且遍及该布线长度地相互面接触。根据上述实施方式，能够遍及线圈布线整体地提高深宽比以及矩形度。此外，布线长度是指沿着线圈导体层的延伸形状的长度。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈布线的布线宽度在60μm以下。根据上述实施方式，能够确保线圈的内径，从而能够提高Q值。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈布线的布线宽度沿着上述轴向而发生变化，上述线圈布线的内表面的一部分向上述线圈布线的内侧突出，上述内表面的突出量e相对于上述线圈布线的最大布线宽度c的比例(e/c)在20％以下。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述比例(e/c)在5％以下。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈布线的布线宽度沿着上述轴向而发生变化，上述线圈布线的最大布线宽度c与最小布线宽度之差a相对于上述最大布线宽度c的比例(a/c)在40％以下。根据上述实施方式，能够抑制高频下的电阻损失，从而提高Q值。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈导体层的深宽比在2.0以下。根据上述实施方式，能够稳定地形成深宽比高的线圈布线。另外，在电感元件的一个实施方式中，在上述面接触的线圈导体层彼此之间以及上述线圈导体层与上述基体之间没有夹层。根据上述实施方式，能够防止线圈导体层之间以及线圈导体层与基体之间的紧贴强度的降低。另外，在电感元件的一个实施方式中，在上述面接触的线圈导体层彼此之间以及上述线圈导体层与上述基体之间的至少一部分存在夹层。根据上述实施方式，在线圈布线的形成中能够允许使用了夹层的工艺方法。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈布线的横截面是T字状、I字状或者将T字状层叠而成的形状。根据上述实施方式，能够稳定地形成深宽比高的线圈布线。另外，在电感元件的一个实施方式中，在构成上述线圈布线的上述多个线圈导体层，存在线圈径向的宽度相同的第1线圈导体层以及第2线圈导体层，上述第1线圈导体层的布线宽度的中心与上述第2线圈导体层的布线宽度的中心之间的偏离量d相对于上述第1线圈导体层以及上述第2线圈导体层的布线宽度c的比例(d/c)在20％以下。根据上述实施方式，能够抑制高频下的电阻损失，从而提高Q值。另外，在电感元件的一个实施方式中，上述线圈的上述轴向的长度在上述基体的上述轴向的宽度的50％以上。根据上述实施方式，能够增大线圈长度，从而能够提高Q值。此外，线圈长度是指线圈的轴向的长度。另外，在电感元件的制造方法的一个实施方式中，通过半加成法形成上述多个线圈导体层的一部分。另外，在电感元件的制造方法的一个实施方式中，通过半加成法形成上述多个线圈导体层的全部。另外，在电感元件的制造方法的一个实施方式中，通过镀覆生长形成上述多个线圈导体层的一部分。另外，在电感元件的制造方法的一个实施方式中，进一步通过镀覆生长形成上述多个线圈导体层的一部分。另外，在电感元件的制造方法的一个实施方式中，进一步通过镀覆生长形成上述多个线圈导体层的全部。另外，在电感元件的制造方法的一个实施方式中，具备：在构成上述基体的第1绝缘层形成第1槽的工序；在上述第1槽内涂覆感光性导电糊料，并通过光刻法而在上述第1槽内形成第1线圈导体层的工序；在上述第1绝缘层上形成构成上述基体的第2绝缘层，并在上述第2绝缘层形成第2槽的工序；以及在上述第2槽内涂覆感光性导电糊料，并通过光刻法而在上述第2槽内形成与上述第1线圈导体层面接触的第2线圈导体层的工序。根据上述实施方式，对高深宽比的线圈布线的形成、线圈布线的低电阻化更加有利。根据本公开的电感元件，能够提高Q值。附图说明图1是表示电感元件的第1实施方式的示意立体图。图2是电感元件的示意剖视图。图3是图2所示的线圈布线的截面的放大图。图4是表示线圈布线的深宽比与电感元件的Q值的关系的图表。图5是表示电感元件的第2实施方式的线圈布线的示意剖视图。图6A是对通过感光性糊料法来形成1段高深宽比的线圈布线的情况进行说明的说明图。图6B是对通过半加成法来形成1段高深宽比的线圈布线的情况进行说明的说明图。图7是表示电感元件的第3实施方式的透视立体图。图8是电感元件的分解立体图。图9是线圈布线的示意剖视图。图10A是表示比例(a/c)为20％时的信号频率与电感元件的Q值的关系的图表。图10B是表示比例(a/c)为5％时的信号频率与电感元件的Q值的关系的图表。图10C是表示比例(a/c)为30％时的信号频率与电感元件的Q值的关系的图表。图11A是表示I字状的截面形状的线圈布线的截面照片。图11B是表示T字状的截面形状的线圈布线的截面照片。图12A是对在使线圈导体层的宽度比绝缘层的槽的宽度大的状态下形成线圈导体层的方法进行说明的说明图。图12B是对在使线圈导体层的宽度比绝缘层的槽的宽度大的状态下形成线圈导体层的方法进行说明的说明图。图12C是对在使线圈导体层的宽度比绝缘层的槽的宽度大的状态下形成线圈导体层的方法进行说明的说明图。图12D是对在使线圈导体层的宽度比绝缘层的槽的宽度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电感元件，其中，具备：基体，该基体包括相互对置的2个端面以及连接在所述2个端面之间的底面；线圈，该线圈设置在所述基体内，并卷绕成螺旋状；以及2个外部电极，所述2个外部电极设置于所述基体，并与所述线圈电连接，一方的所述外部电极遍及一方的所述端面与所述底面地形成，另一方的所述外部电极遍及另一方的所述端面与所述底面地形成，所述线圈配置为其轴向沿着所述2个端面以及所述底面，所述线圈包括沿着与所述轴向正交的平面卷绕的线圈布线，所述线圈布线的深宽比在1.0以上且不足8.0。

【技术特征摘要】
2016.09.23 JP 2016-1861721.一种电感元件，其中，具备：基体，该基体包括相互对置的2个端面以及连接在所述2个端面之间的底面；线圈，该线圈设置在所述基体内，并卷绕成螺旋状；以及2个外部电极，所述2个外部电极设置于所述基体，并与所述线圈电连接，一方的所述外部电极遍及一方的所述端面与所述底面地形成，另一方的所述外部电极遍及另一方的所述端面与所述底面地形成，所述线圈配置为其轴向沿着所述2个端面以及所述底面，所述线圈包括沿着与所述轴向正交的平面卷绕的线圈布线，所述线圈布线的深宽比在1.0以上且不足8.0。2.根据权利要求1所述的电感元件，其中，所述线圈布线的深宽比在1.5以上且不足6.0。3.根据权利要求1所述的电感元件，其中，所述线圈布线由相互面接触而层叠的多个线圈导体层构成。4.根据权利要求3所述的电感元件，其中，构成所述线圈布线的所述多个线圈导体层形成为：彼此的布线长度相等，且遍及该布线长度地相互面接触。5.根据权利要求1所述的电感元件，其中，所述线圈布线的布线宽度在60μm以下。6.根据权利要求1所述的电感元件，其中，所述线圈布线的布线宽度沿着所述轴向而发生变化，所述线圈布线的内表面的一部分向所述线圈布线的内侧突出，所述内表面的突出量e相对于所述线圈布线的最大布线宽度c的比例(e/c)在20％以下。7.根据权利要求6所述的电感元件，其中，所述比例(e/c)在5％以下。8.根据权利要求1所述的电感元件，其中，所述线圈布线的布线宽度沿着所述轴向而发生变化，所述线圈布线的最大布线宽度c与最小布线宽度之差a相对于所述最大布线宽度c的比例(a/c)在40％以下。9.根据权利要求3所述的电感元件，其中，所述线圈导体层的深宽比在2.0以下。10.根据权利要求3所述的电感元件，其中，在所述面接触的线圈导体层彼此之间以及所述线圈导体层与所述基体之...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野力也，太田由士行，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP