The invention relates to a pressure sensor (10) for sensing the pressure of a fluid medium in a measuring chamber and a method for the manufacture of the pressure sensor. The pressure sensor includes a pressure joint (12) and a sensor element (24) for sensing the pressure of the fluid medium. With pressure connector, the pressure sensor (10) can be installed on the measuring room or installed in the measuring chamber. An input channel (18) is constructed in the pressure joint (12). A sensor element (24) is arranged on a substrate (20). The input channel (18) is closed by a substrate (20) and is constructed for input of a fluid medium to a sensor element (24). The pressure joint (12) and the substrate (20) are constructed one piece in one piece, and the sensor elements (24) are printed on the substrate (20).
【技术实现步骤摘要】
感测流体介质压力的压力传感器和其制造方法
本专利技术涉及一种用于感测测量室中的流体介质的压力的压力传感器和一种用于制造该压力传感器的方法。
技术介绍
由现有技术已知用于感测流体介质、例如气体和液体的压力的不同的装置和方法。压力这样的测量参数是在气体和液体中出现的、全面作用的、没有指向的力作用。为了测量压力,存在动态地和静态地起作用的测量值接收器或传感器。动态地起作用的压力传感器仅用于测量气态或液态介质中的压力波动。压力测量可以例如直接地、经由膜片变形或通过力传感器实现。尤其为了测量非常高的压力原则上可能的是,将电阻暴露给介质,因为许多已知的电阻显示出压力相关性。然而在此,对同时的电阻与温度的相关性的抑制和电接头从压力介质中压力密封的穿出表现为困难的。因此,一个广泛传播的压力感测方法为了获取信号首先使用薄的膜片作为机械的中间级,该膜片在一侧暴露给压力并且在该压力的影响下弯曲。该膜片可以在宽的界限内根据厚度和直径适配于相应的压力范围。小的压力测量范围导致相对大的膜片,该膜片具有可以处于0.1mm至1mm范围内的弯曲。然而,高的压力要求有小直径的较厚的膜片,这些膜片大部分仅仅弯曲几微米。例如在KonradReif(编者):SensorenimKraftfahrzeug,2010第一版,第80-82页和第134-136中描述了这种压力传感器。为了将压力传感器安装在测量室中或安装在该测量室上,该压力传感器通常具有压力接头。压力接头可以例如实施为螺纹接头并且被旋入到测量室的壁中。真正的测量值接收器或真正的传感器元件要么直接地要么间接地通过中间载体布置在支座上。支座与压 ...
【技术保护点】
压力传感器(10),用于感测测量室中的流体介质的压力,所述压力传感器包括压力接头(12)和用于感测所述流体介质的压力的传感器元件(24),借助于该压力接头能够将所述压力传感器(10)安装在所述测量室上或安装在所述测量室中,其中,在所述压力接头(12)中构造有输入通道(18),其中,所述传感器元件(24)布置在衬底(20)上,其中,所述输入通道(18)由所述衬底(20)来封闭并且构造用于将所述流体介质输入至所述传感器元件(24),其特征在于,所述压力接头(12)和所述衬底(20)一件式地构造,并且所述传感器元件(24)被印刷到所述衬底(20)上。
【技术特征摘要】
2016.09.22 DE 102016218211.01.压力传感器(10),用于感测测量室中的流体介质的压力,所述压力传感器包括压力接头(12)和用于感测所述流体介质的压力的传感器元件(24),借助于该压力接头能够将所述压力传感器(10)安装在所述测量室上或安装在所述测量室中,其中,在所述压力接头(12)中构造有输入通道(18),其中,所述传感器元件(24)布置在衬底(20)上,其中,所述输入通道(18)由所述衬底(20)来封闭并且构造用于将所述流体介质输入至所述传感器元件(24),其特征在于,所述压力接头(12)和所述衬底(20)一件式地构造,并且所述传感器元件(24)被印刷到所述衬底(20)上。2.根据权利要求1所述的压力传感器(10),其中,所述压力接头(12)和所述衬底(20)整体式地构造。3.根据权利要求1或2所述的压力传感器(10),其中,所述传感器元件(24)构造为结构化的层(26)。4.根据权利要求3所述的压力传感器(10),其中,所述结构化的层(26)由金属制造。5.根据权利要求1至4中任一项所述的压力传感器(10),其中,在所述传感器元件(24)和所述衬底(20)...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·埃特,
申请(专利权)人:罗伯特·博世有限公司,
类型:发明
国别省市:德国,DE
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