一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置
本技术涉及磨料或微粒材料的喷射装置领域，具体而言，涉及一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置。
技术介绍
在蓝宝石衬底晶片单面研磨过程中，使用的金刚石研磨液一般有两种喷洒方法：一种是用蠕动泵提供动力，将研磨液滴到铜盘上，然后使用陶瓷环将研磨液平铺均匀；另一种是使用研磨液喷头，利用气压将研磨液喷洒在铜盘表面。这两种方式各有优缺点，蠕动泵滴液的方式液流量均匀，但缺点是用量大，且需要配备安装陶瓷环，成本极大的升高；普通的喷液喷头喷洒量稳定性很难保证，忽大忽小或者容易出现喷头堵塞等问题产生异常。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置，将蠕动泵式滴液装置和气压式喷液装置结合，分别采用各自的优势形成一种更适用于蓝宝石衬底晶片研磨的喷液装置。为了实现上述目的，本技术采用以下的技术方案：一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置，包括研磨液瓶、流液管、蠕动泵、供气管和研磨液暂存器，流液管的进液口伸入研磨液瓶中，出液口穿过蠕动泵伸入研磨液暂存器中，出液口上设置有单向止流阀，供气管一端连通高压气，另一端伸入研磨液暂存器中，供气管上设置有数控气阀，研磨液暂存器底部设置有自力式截止阀和喷头。进一步的，数控气阀打开，向研磨液暂存器中吹气时，单向止流阀关闭，自力式截止阀打开，喷头喷液。进一步的，喷液结束后，数控气阀和自力式截止阀关闭，单向止流阀打开。本技术具有以下有益效果：本技术将蠕动泵式滴液装置和气压式喷液装置相结合，通过气压将特定容器内的少量研磨液瞬间全部喷洒到铜盘表面，喷洒稳定均匀，而且不需要配备陶瓷环，同时又...
【技术保护点】
一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置，其特征在于，包括研磨液瓶(1)、流液管(2)、蠕动泵(3)、供气管(4)和研磨液暂存器(5)，流液管(2)的进液口伸入研磨液瓶(1)中，出液口穿过蠕动泵(3)伸入研磨液暂存器(5)中，出液口上设置有单向止流阀(6)，供气管(4)一端连通高压气，另一端伸入研磨液暂存器(5)中，供气管(4)上设置有数控气阀(7)，研磨液暂存器(5)底部设置有自力式截止阀(8)和喷头(9)。
【技术特征摘要】
1.一种用于蓝宝石晶片加工的研磨液喷洒装置，其特征在于，包括研磨液瓶(1)、流液管(2)、蠕动泵(3)、供气管(4)和研磨液暂存器(5)，流液管(2)的进液口伸入研磨液瓶(1)中，出液口穿过蠕动泵(3)伸入研...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓强，
申请(专利权)人：青岛嘉星晶电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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