一种简易抛光液流量控制供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种简易抛光液流量控制供给装置，包括抛光液抽取部分、控制部分、流量控制装置、涡轮流量计和执行装置；所述控制部分通过数据线连接抛光液抽取部分、流量控制装置、涡轮流量计，执行装置通过闸线与流量控制装置连接，执行装置套在抛光液抽取部分的导管Ⅱ外。本实用新型专利技术装置结构简单、经济实用、使用方便；能有效实现抛光液吸取、流量控制；部分装置可以拆卸、替换，可以减少清洗困难。

A simple flow control supply device for polishing liquid

The utility model relates to a simple polishing fluid flow control device includes a polishing liquid supply, extraction, control, flow control, turbine flowmeter and execution device; the control part is connected with the polishing liquid extraction, flow control, vortex rotation amount through a data line, which is connected with the device through a flow control device to perform and the execution device set in the catheter II part of the external polishing liquid extraction. The utility model has the advantages of simple structure, economic and practical use and convenient operation, and can effectively absorb and control the flow of the polishing liquid. Some devices can be dismantled and replaced, and the cleaning difficulty can be reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种简易抛光液流量控制供给装置
本技术涉及一种简易抛光液流量控制供给装置，属于材料机械加工

技术介绍
随着绿色能源、集成电路等技术的不断提高，对衬底材的表面平整度的要求愈发严格，同时，抛光行为中对材料去除率等要求也在增加，化学机械抛光技术的广泛应用。在化学机械抛光过程中，抛光液对表面质量及材料去除率等要求有很大的影响。为得到效果较好的抛光液需要进行大量的实验，在大量的实验过程中，对抛光液流量，添加时间等因素有着严格的要求，同时，一种配比实验结束后装置清洗困难。市场上相关的装置只能实现对抛光液影响实验因素的部分控制，且造价较高。有必要存在一种造价便宜并且能够对上述因素实现全面控制的装置。
技术实现思路
本技术提供了一种简易抛光液流量控制供给装置，以用于在实验中实现对抛光液吸取、流量控制等问题。本技术的技术方案是：一种简易抛光液流量控制供给装置，包括抛光液抽取部分、控制部分11、流量控制装置12、涡轮流量计13和执行装置15；所述控制部分11通过数据线连接抛光液抽取部分、流量控制装置12、涡轮流量计13，执行装置15通过闸线26与流量控制装置12连接，执行装置15套在抛光液抽取部分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种简易抛光液流量控制供给装置，其特征在于：包括抛光液抽取部分、控制部分（11）、流量控制装置（12）、涡轮流量计（13）和执行装置（15）；所述控制部分（11）通过数据线连接抛光液抽取部分、流量控制装置（12）、涡轮流量计（13），执行装置（15）通过闸线（26）与流量控制装置（12）连接，执行装置（15）套在抛光液抽取部分的导管Ⅱ（14）外；所述抛光液抽取部分包括试验台（1）、抛光液容器（2）、导管Ⅰ（4）、缓冲容器（5）、塞盖（6）、气管Ⅰ（7）、电磁换向阀（8）、气管Ⅱ（9）、气泵（10）、导管Ⅱ（14）、导管Ⅲ（16）；所述控制部分（11）通过数据线连接电磁换向阀（8）、气泵（10）...

【技术特征摘要】
1.一种简易抛光液流量控制供给装置，其特征在于：包括抛光液抽取部分、控制部分（11）、流量控制装置（12）、涡轮流量计（13）和执行装置（15）；所述控制部分（11）通过数据线连接抛光液抽取部分、流量控制装置（12）、涡轮流量计（13），执行装置（15）通过闸线（26）与流量控制装置（12）连接，执行装置（15）套在抛光液抽取部分的导管Ⅱ（14）外；所述抛光液抽取部分包括试验台（1）、抛光液容器（2）、导管Ⅰ（4）、缓冲容器（5）、塞盖（6）、气管Ⅰ（7）、电磁换向阀（8）、气管Ⅱ（9）、气泵（10）、导管Ⅱ（14）、导管Ⅲ（16）；所述控制部分（11）通过数据线连接电磁换向阀（8）、气泵（10），缓冲容器（5）悬挂在试验台（1）上，缓冲容器（5）上端开口处装有塞盖（6），导管Ⅰ（4）、气管Ⅰ（7）的一端分别从塞盖（6）上的两个口插入缓冲容器（5），导管Ⅰ（4）的另一端插入置于试验台（1）上的抛光液容器（2）中，气管Ⅰ（7）的另一端与电磁换向阀（8）连接，缓冲容器（5）下端连接导管Ⅲ（16），导管Ⅲ（16）下端安装涡轮流量计（13），涡轮流量计（13）下端连接导管Ⅱ（14），气泵（10）安装在安装座（25）上，气管Ⅱ（9）的一端插在气泵（10）的吸气口上，气管Ⅱ（9）的另一端插在电磁换向阀（8）上...

【专利技术属性】
技术研发人员：冷智毅，杨晓京，袁锐波，蒋红海，钱俊兵，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：新型
国别省市：云南,53