净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法制造方法及图纸

提供净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法，能够简化结构而实现小型化。具备：多个载置部(3)，供容器(F)载置，且被分组化；喷嘴(30)，形成为通过在载置部(3)载置容器(F)来开放朝容器(F)供给净化气体的流路；以及流量控制装置(32)，基于组(G)内的容器(F)的个数来调整朝组(G)内供给的净化气体的流量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法
本专利技术涉及净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法。
技术介绍
关于收容晶片或掩模等的前开式晶圆盒(FOUP)、标准机械接口晶圆盒(SMIFPod)、掩模盒(Pod)等容器，在保管时利用净化装置朝容器内填充洁净干燥空气或氮气等净化气体，抑制收容物的污染或氧化等。公知该净化装置装备于用于保管容器的净化储料器。若发生利用净化装置进行的净化气体的供给不足等净化的异常，则会产生收容物的污染等，因此，提出有测定朝容器供给的净化气体的流量，检测净化的异常的技术(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，利用传感器测定朝载置于载置部的容器内部供给的净化气体的流量或压力，判定是否进行了良好的净化。在这样的净化装置中，通过针对每个载置部配置电磁阀或流量控制装置来调整针对各容器的净化气体的流量。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第4670808号说明书
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，在针对每个载置部配置电磁阀或流量控制装置的结构中，需要用于配置这些设备的空间，因此各净化装置大型化。近年来，谋求确保净化储料器中能够收容的容器数、并且实现净化储料器的小型化，为此，谋求使在各载置部设置的净化装置小型化。鉴于以上状况，本专利技术的目的在于提供一种能够简化结构而实现小型化的净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法。用于解决课题的手段本专利技术所涉及的净化装置具备：多个载置部，供容器载置，且被分组化；喷嘴，形成为通过在载置部载置容器来开放朝容器供给净化气体的流路；以及流量控制装置，基于组内的容器的个数来调整朝组内供给的净化气体的流量。并且，也可以形成为，载置部分别具有检测是否载置有容器的检测部。并且，也可以形成为，喷嘴具有当在载置部未载置容器的状态下借助净化气体的压力来封闭流路的盖部，当在载置部载置有容器的情况下盖部借助容器的重量来开放流路。并且，也可以形成为，当在组内载置有新的容器的情况下，流量控制装置使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量。并且，也可以形成为，将沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部作为组。本专利技术所涉及的净化储料器具备多个上述的净化装置。并且，也可以形成为，具备输送装置，该输送装置能够沿着净化装置的多个载置部行进，相对于载置部移载容器，净化装置的流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧。本专利技术所涉及的净化气体的供给方法是对在被分组化的多个载置部载置的容器供给净化气体的方法，包括：通过在载置部载置容器来开放朝容器供给净化气体的流路；以及基于组内的容器的个数来调整朝组内供给的净化气体的流量。专利技术效果根据本专利技术所涉及的净化装置，在组内，在载置有容器的载置部的流路中流过净化气体，但在未载置容器的载置部的流路中并未流过净化气体。因而，通过基于组内的容器的个数来调整净化气体的流量，能够调整朝各容器供给的净化气体的流量。由此，无需针对每个载置部设置电磁阀或流量控制装置，通过作为整体简化结构，能够实现节省空间化，能够使净化装置小型化。并且，在载置部分别具有检测是否载置有容器的检测部的装置中，能够更可靠地检测组内的容器的个数。并且，喷嘴具有当在载置部未载置容器的状态下借助净化气体的压力来封闭流路的盖部，在当在载置部载置有容器的情况下盖部借助容器的重量来开放流路的装置中，能够利用盖部可靠地进行流路的开闭。并且，在当在组内载置有新的容器的情况下，流量控制装置使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量的装置中，能够抑制朝新载置的容器突然供给大量的净化气体这一情况，能够防止容器内的收容物的振动。并且，在将沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部作为组的装置中，针对沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部的每一个组分别设置流量控制装置即可，因此能够实现节省空间化。根据本专利技术所涉及的净化储料器，由于具备多个能够实现节省空间化的净化装置，因此能够缩小各载置部的进深尺寸，能够形成为小型的净化储料器。并且，在具备能够沿净化装置的多个载置部行进、并相对于载置部移载容器的输送装置，净化装置的流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧的装置中，由于将流量控制装置集中配置在净化储料器的一部分，因此能够实现净化储料器的小型化，并且对于作业者来说能够容易进行流量控制装置的设置或维护等。根据本专利技术所涉及的净化气体的供给方法，当在载置部载置有容器的情况下，形成为在载置有容器的载置部的流路中流过净化气体，但在未载置容器的载置部的流路中并未流过净化气体的状态。因而，通过基于组内的容器的个数来调整净化气体的流量，能够适当地调整朝各容器供给的净化气体的流量。由此，无需针对每个载置部设置电磁阀或流量控制装置，不需要进行各电磁阀或各流量控制装置的控制，能够容易进行净化气体的供给中的控制。附图说明图1是示出本实施方式所涉及的净化储料器的一例的图。图2是示出本实施方式所涉及的净化装置的一例的图。图3是示出在载置部载置有容器的状态的图。图4是示出在喷嘴中使用的盖部的一例的立体图。图5是示出具备图4所示的盖部的供给喷嘴的一例的图。图6是示出变形例所涉及的喷嘴的盖部的立体图。图7是示出具备图6所示的盖部的供给喷嘴的一例的图。图8是示出流量控制装置的配置的一例的图。图9是示出本实施方式所涉及的净化气体的供给方法的一例的流程图。图10是示出变形例所涉及的净化储料器的图。图11是示出变形例所涉及的流量控制装置的配置的图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行说明。并且，在附图中，为了对实施方式进行说明，将一部分放大或者强调记载等而适当地变更比例尺来进行表现。在以下的各图中，使用XYZ坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将铅垂方向设为Z方向，将水平方向设为X方向、Y方向。假设X方向、Y方向以及Z方向分别以图中的箭头的方向作为+方向、以与箭头方向相反的方向作为－方向而进行说明。图1是示出本实施方式所涉及的净化储料器1的一例的图。净化储料器1是保管收容例如在半导体元件的制造中使用的晶片、掩模等物品的容器F的自动仓库。容器F例如是FOUP、SMIFPod、掩模盒等。如图1所示，净化储料器1具备：形成外轮廓的储料器框体2；设置在储料器框体2内的搁架状的多个载置部3；多个净化装置4；作为容器F的输送装置的堆装起重机5；以及控制装置6。另外，载置部3有时例如被称为保管搁架。储料器框体2具有能够相对于外部隔离的内部空间2a。储料器框体2具备在储料器框体2的外部与内部空间2a之间交接容器F的出入库口(未图示)。多个载置部3、多个净化装置4以及堆装起重机5配置在储料器框体2的内部空间2a。另外，多个载置部3也可以分别配置在堆装起重机5的行进范围(X方向)的两侧(+Y侧以及－Y侧)。控制装置6控制净化装置4以及堆装起重机5。另外，控制净化装置4的控制装置和控制堆装起重机5的控制装置也可以分开设置。堆装起重机5能够沿X方向、Y方向以及Z方向的各方向输送容器F，例如能够在出入库口与载置部3之间、或从载置部3朝其他载置部3输送容器F。堆装起重机5例如具备行进台车10、支承柱11、支承台12以及移载装置13。行进台车10具有多个车轮14，且沿着设置于地面的轨道15而在水平方向(X方向)移动。支承柱11设置成从行进台车10的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种净化装置，具备：多个载置部，供容器载置，且被分组化；喷嘴，形成为通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及流量控制装置，基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.04 JP 2015-1537571.一种净化装置，具备：多个载置部，供容器载置，且被分组化；喷嘴，形成为通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及流量控制装置，基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量。2.根据权利要求1所述的净化装置，其中，上述载置部分别具有检测是否载置有上述容器的检测部。3.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，上述喷嘴具有当在上述载置部未载置上述容器的状态下借助上述净化气体的压力来封闭流路的盖部，当在上述载置部载置有上述容器的情况下，上述盖部借助上述容器的重量来开放上述流路。4.根据权利要求1～3中任一项所述的净化装置，其中，当在上述组内载置有新的上述...

【专利技术属性】
技术研发人员：大西真司，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP